用于加工太阳能电池硅片的烧结炉的模块化分区结构的制作方法

文档序号:11045738阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于加工太阳能电池硅片的烧结炉的模块化分区结构,所述烧结炉包括炉体;

其特征在于:所述炉体包括沿长度方向上的至少五个独立的烧结单元,该至少五个独立的烧结单元依次串联拼接形成一个连通的风道;所述的至少五个独立的烧结单元中,至少前两个为烘干区,至少后三个为烧结区,每个烘干区中的烧结单元的长度均大于烧结区中的烧结单元的长度;

其中,每个烧结单元均包括结构、形状、尺寸相同的上单元和下单元,上单元位于上方,下单元位于下方,下单元相对地面固定,上单元可相对下单元打开,所述上单元和下单元上下对合布置;

所述上单元和下单元对合拼接形成一独立的烧结单元,每相邻两个烧结单元之间设有一隔热条,该隔热条设在相邻两个烧结单元之间的保温层中,将相邻两个烧结单元隔离开;

每个上单元内部均设有若干上加热管,该若干上加热管沿上单元长度方向依次间隔布置,且设于上气室和风道之间;每个下单元内部均设有若干下加热管,该若干下加热管沿下单元长度方向依次间隔布置,且设于上风道和下气室之间;每个烧结区中上加热管的间隔距离均小于烘干区中上加热管的间隔距离,对应每个烧结区中下加热管的间隔距离均小于烘干区中下加热管的间隔距离。

2.根据权利要求1所述的用于加工太阳能电池硅片的烧结炉的模块化分区结构,其特征在于:每个上气室和下气室中均分别设有一热电偶,用于实时检测气室中的温度。

3.根据权利要求1所述的用于加工太阳能电池硅片的烧结炉的模块化分区结构,其特征在于:所述炉体中位于烘干区的入口端以及位于烧结区的出口端均设有一排废结构,该排废结构包括废气排出管道,该废气排出管道中设有风机。

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