用于加工太阳能电池硅片的烧结炉的模块化分区结构的制作方法

文档序号:11045738阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及用于加工太阳能电池硅片的烧结炉的模块化分区结构,烧结炉包括炉体;炉体包括至少五个独立的烧结单元,该至少五个独立的烧结单元依次串联拼接形成一个连通的风道;每个烧结单元均包括相同的上下单元,上下单元上下对合布置;每相邻两个烧结单元之间设有一隔热条,该隔热条设在相邻两个烧结单元之间的保温层中,将相邻两个烧结单元隔开;每个上单元内部均设有若干加热管,每个烧结区中加热管的间隔距离均小于烘干区中加热管的间距。本实用新型结构简单,把整个风道划分为多个独立区域,每个区域独立控温,能够实现各区域上、下、左、右温度的精确控制,使得各温区具备独立的热风系统并且相邻两温区可设定大于200度的温度极差。

技术研发人员:刘品德;朱速锋
受保护的技术使用者:苏州南北深科智能科技有限公司
文档号码:201621099503
技术研发日:2016.10.07
技术公布日:2017.05.24

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