技术特征：
技术总结
提供一种处理腔室，该处理腔室包含连接在一起以限定空间的顶部、底部与侧壁。基板支撑件设置于该空间。该处理腔室进一步包含面向该基板支撑件的一个或多于一个灯头，每一灯头都包括沿着平面设置的灯具布置。该灯具布置由中心与多个同心环形区域所限定。每一环形区域都由内部边缘与外部边缘所限定，且每一环形区域都包含一个或多于一个灯具的三或多于三个定向线。一个或多于一个灯具的每一定向线都具有第一端部，该第一端部线性延伸至第二端部，该第一端部与第二端部绕着该中心以至少10度分开。该第一端部与第二端部两者都位于一个环形区域内。位于相同环形区域内的每一定向线则相距该中心等距离。
技术研发人员：穆罕默德·图格鲁利·萨米尔;舒伯特·S·楚
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.01.04
技术公布日：2017.09.26