流体流通装置的制作方法

本发明涉及流体流通装置。

背景技术：

以往，已知有作为使流体流通到内部的流体流通装置、在内部设置有使流体流通的许多微通道的结构。例如，在下述专利文献1中，公开了这样的流体流通装置的一例。

具体而言，在专利文献1中，公开了作为流体流通装置的一例的微通道热交换器。该微通道热交换器具备层叠体，所述层叠体夹着隔壁层叠着高温部层和低温部层，所述高温部层排列有使高温流体流通的多个微通道，所述低温部层排列有使低温流体流通的多个微通道。并且，在前述层叠体中，在流过高温部层的微通道的高温流体与流过低温部层的微通道的低温流体之间进行热交换。

专利文献1：日本特开2010－286229号公报。

在以往的流体流通装置中，通过在微通道内发生闭塞，在闭塞的部位以后的流路中不再流过流体，结果，该流体流通装置的运转率有可能大幅下降。

具体而言，例如在流体中混入有粘性较高的机械油或锈等异物的情况下，有因为该异物而在微通道内发生闭塞的情况。此外，在通过热交换而流体降温到非常低温的情况下，也有因该流体的冻结而在微通道内发生闭塞的情况。在微通道内发生了闭塞的情况下，不再能够使流体流通到该微通道中，所以使流体流通而进行的处理的效率下降。在流体流通装置中，虽然想要在某个一定期间中持续使流体流通而实施处理，但在这样因为发生了闭塞而由流体的流通带来的处理的效率下降的情况下，需要进行将闭塞除去的维护作业。在此情况下，不得不使流体的流通停止，结果，流体流通装置的运转率大幅下降。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种流体流通装置，即使在微通道中发生了闭塞的情况下，也能够防止由流体的流通带来的处理的效率大幅下降，能够防止运转率的下降。

由本发明提供的是一种使流体流通的流体流通装置，具备在内部形成有多个微通道和至少1个连通部的构造体，所述多个微通道在某个方向上延伸，并且以在相对于该方向交叉的方向上并排的方式排列，分别使前述流体流通，所述至少1个连通部在该多个微通道的排列方向上将相邻的微通道彼此相连而使其连通。

在该流体流通装置中，在被连通部连通的相邻的2个微通道中的一方的微通道中在比连通部靠上游的位置发生了闭塞的情况下，能够将流体从另一方的微通道经由连通部向该一方的微通道导入。因此，发生了闭塞的前述一方的微通道中的比连通部的连接部位靠下游的部分能够在由流体的流通进行的处理中发挥作用。因此，能够防止由流体的流通进行的处理的效率大幅下降，结果，能够在一定期间中不使流体的流通停止而持续实施由该流体的流通进行的处理。因此，能够防止流体流通装置的运转率的下降。

在前述流体流通装置中，优选的是，前述多个微通道包括：多个第1微通道，其在前述构造体内在某个方向上延伸，并且以在相对于该方向交叉的方向上并排的方式排列，分别使第1流体流通；多个第2微通道，其在前述构造体内，在相对于前述第1流路延伸的方向及该第1流路的排列方向两者垂直的并列方向上、从前述多个第1微通道的列隔开间隔而配置，并且与该第1微通道的列并列地排列，分别使第2流体流通；前述构造体在从前述并列方向观察该构造体的情况下，具有排列范围和非排列范围，所述排列范围排列有前述多个第1微通道，所述非排列范围位于前述排列范围的外侧，未排列有前述第1微通道；前述至少1个连通部包括非排列范围连通部，其被设置在前述非排列范围中，使相邻的前述第2微通道彼此连通。

根据该方案，非排列范围连通部在前述并列方向上不与第1微通道重叠，所以前述并列方向上的构造体的壁厚不会除了第1微通道以外再因为该非排列范围连通部而局部地减小。因此，能够防止构造体的强度局部地下降。

在此情况下，优选的是，前述各第2微通道具有导入部，所述导入部是被配置在前述非排列范围中的部分，是从该第2微通道的入口跨至下游侧的既定的范围的部分；前述非排列范围连通部使相邻的前述第2微通道的前述导入部彼此连通。

根据该方案，对于第2微通道中的作为容易发生闭塞的入口的下游侧的附近的部分的导入部，能够从旁边的第2微通道的导入部经由非排列范围连通部导入第2流体。因此，能够使第2微通道中的容易发生闭塞的入口的下游侧的区域在由第2流体的流通进行的处理中发挥作用。

在前述流体流通装置中，优选的是，前述各微通道具有曲折部、和与该曲折部的下游侧连续的下游部；前述至少1个连通部包括下游部连通部，其使相邻的前述微通道的前述下游部彼此连通。

根据该方案，对于微通道中的与容易发生闭塞的曲折部的下游侧连续的下游部，能够从旁边的微通道的下游部经由下游部连通部导入流体。因此，能够使微通道中的容易发生闭塞的曲折部的下游侧的区域在由流体的流通进行的处理中发挥作用。

在前述流体流通装置中，优选的是，前述多个微通道包括：多个第1微通道，其在前述构造体内在某个方向上延伸，并且以在相对于该方向交叉的方向上并排的方式排列，分别使第1流体流通；多个第2微通道，其在前述构造体内，在相对于前述第1流路延伸的方向及该第1流路的排列方向两者垂直的并列方向上、从前述多个第1微通道的列隔开间隔而配置，并且与该第1微通道的列并列地排列，分别使第2流体流通；前述构造体在从前述并列方向观察该构造体的情况下，具有排列范围和非排列范围，所述排列范围排列有前述多个第1微通道，所述非排列范围位于前述排列范围的外侧，未排列有前述第1微通道；前述至少1个连通部包括多个排列范围连通部，其被设置在前述排列范围中，使相邻的前述第2微通道中的配置在前述排列范围中的部分彼此连通；前述多个排列范围连通部从前述并列方向观察在与前述第1流路交叉的方向上排列，所述第1流路和该排列范围连通部重叠。

根据该方案，能够防止如多个排列范围连通部在与和它们重叠的第1流路延伸的方向一致的方向上并排的情况那样、由该多个排列范围连通部和第1流路在构造体内形成强度局部地下降的部位。

在前述流体流通装置中，优选的是，前述连通部具有小于等于前述微通道的流路宽度的宽度。

根据该方案，能够防止在连通部的部位处流体流通装置的构造体的耐压性能下降。

如以上说明，根据本发明，能够提供一种流体流通装置，即使在微通道中发生了闭塞的情况下，也能够防止由流体的流通带来的处理的效率大幅下降，防止运转率的下降。

附图说明

图1是根据本发明的一实施方式的流体流通装置的概略性的立体图。

图2是构成图1所示的流体流通装置的构造体的第1基板的俯视图。

图3是构成图1所示的流体流通装置的构造体的第2基板的俯视图。

图4是构造体中的形成有第1流路的第1基板与形成有第2流路的第2基板的层叠部分的局部剖视图。

图5是表示本发明的一实施方式的构造体的第2流路的入口及导入部的附近的结构和在该入口处发生了闭塞的情况下的第2流体的流动方式的图。

图6是表示图3中的A区域中的第2流路的结构和在第1曲折部处发生了闭塞的情况下的第2流体的流动方式的图。

图7是根据没有设置连通部的比较例的构造体的第2流路的入口及导入部的附近的相当于图5的图。

图8是根据没有设置连通部的比较例的构造体的第2流路的相当于图6的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。

在图1中，表示根据本发明的一实施方式的流体流通装置1的整体结构。根据本实施方式的流体流通装置1是热交换器，是一边使第1流体和第2流体流通到内部一边进行使这些流体彼此热交换的处理的装置。流体流通装置1具备构造体2、第1供给头3、第2供给头4、第1排出头5和第2排出头6。

构造体2是在内部形成有作为使第1流体流通的微通道的许多第1流路21（参照图2）、作为使第2流体流通的微通道的许多第2流路22（参照图3）、和将相邻的第2流路22彼此相连而连通的多个连通部30的块状的结构，呈长方体状。第1流路21是本发明的第1微通道的一例，第2流路22是本发明的第2微通道的一例。构造体2具有分别设有多个第1流路21的多个第1基板11、和分别设有多个第2流路22及多个连通部30的多个第2基板12。

第1基板11及第2基板12是从其厚度方向的一侧观察具有相同的长方形状的外形的平板。这些第1基板11及第2基板12例如由不锈钢板构成。构造体2是通过将第1基板11与第2基板12交替地层叠并相互接合而形成的层叠体。由此，在构造体2中，排列在第1基板11上的多个第1流路21和排列在第2基板12上的多个第2流路22在这些基板的层叠方向上交替地排列。构造体2具有相对于层叠的各基板11、12的板面垂直的4个侧面。该4个侧面由与各基板11、12的四边对应的各端面形成。

具体而言，各基板11、12分别具有构成这些长方形状的外形的一对短边的一对短端面、和相对于该短端面垂直并构成长方形状的外形的一对长边的一对长端面。在构造体2的4个侧面中，包括一对短侧面7、8和一对长侧面9、10。一方的短侧面7通过层叠的各基板11、12的一方的短端面连续而形成，另一方的短侧面8通过层叠的各基板11、12的另一方的短端面连续而形成。一方的短侧面7和另一方的短侧面8是相互相反侧的侧面。此外，一方的长侧面9通过层叠的各基板11、12的一方的长端面连续而形成，另一方的长侧面10通过层叠的各基板11、12的另一方的长端面连续而形成。一方的长侧面9和另一方的长侧面10是相互相反侧的侧面。此外，短侧面7、8和长侧面9、10相互垂直地配置。各基板11、12的长边的延伸方向上的长侧面9、10的长度比各基板11、12的短边的延伸方向上的短侧面7、8的长度大。

在各第1基板11的一方的板面上，如图2所示，形成有构成多个第1流路21的多个第1槽23。各第1槽23例如通过蚀刻形成。在各第1基板11的一方的板面上，各第1槽23以在该第1基板11的短边的延伸方向上隔开间隔地并排的方式排列。此外，各第1槽23与第1基板11的长边平行地遍及从该第1基板11的一方的短端面到另一方的短端面直线地延伸。各第1槽23在相对于其延伸方向垂直的截面中，如图4所示那样呈圆弧状的截面。第1基板11的一方的板面上的各第1槽23的开口被层叠在该板面上的第2基板12封闭，由此，形成排列在该一方的板面上的多个第1流路21。

各第1流路21在构造体2内在与前述长侧面9、10平行的方向上直线地延伸，并且以在相对于其延伸方向正交的方向上隔开间隔地并排的方式排列。各第1流路21在相对于其延伸方向垂直的截面中呈半圆状的截面。各第1流路21在其一端上具有接纳第1流体的入口21a（参照图2），在与入口21a相反侧的端部上具有使流过该第1流路21的第1流体流出的出口21b。入口21a在构造体2的一方的短侧面7上开口，出口21b在构造体2的另一方的短侧面8上开口。

在各第2基板12（参照图3）的一方的板面上，形成有构成多个第2流路22的多个第2槽32。各第2槽32例如通过蚀刻形成。各第2槽32如图4所示那样具有与第1槽23的截面同样的圆弧状的截面。第2基板12的一方的板面上的各第2槽32的开口被层叠在该板面上的第1基板11封闭，由此，形成排列在该一方的板面上的多个第2流路22。

各第2流路22在本实施方式中为整体上较大地蜿蜒的形状。各第2流路22在其一端上具有接纳第2流体的入口22a，在与入口22a相反侧的端部具有使流过该第2流路22的第2流体流出的出口22b。入口22a在构造体2的一方的长侧面9中的靠近前述另一方的短侧面8的区域中开口。即，入口22a在构造体2的一方的长侧面9中被配置在靠近第1流路21的出口21b的位置。此外，出口22b在构造体2的另一方的长侧面10中的靠近前述一方的短侧面7的区域中开口。即，出口22b在构造体2的另一方的长侧面10中被配置在靠近第1流路21的入口21a的位置。

多个第2流路22在构造体2内，在相对于前述第1流路21的延伸方向及第1基板11上的多个第1流路21的排列方向的两者垂直的并列方向上，从第1基板11上的多个第1流路21的列隔开间隔而配置。前述并列方向是与基板11、12的层叠方向一致的方向。第2基板12上的多个第2流路22被与第1基板11上的多个第1流路21的列并列地排列，流过该第2流路22的第2流体和流过第1流路21的第1流体能够相互热交换。

各第2流路22如图3所示，具有第1～第7横直线部41、42、43、44、45、46、47、第1～第6纵直线部51、52、53、54、55、56和第1～第12曲折部61、62、63、64、65、66、67、68、69、70、71、72。

第1横直线部41是从入口22a朝向前述另一方的长侧面10并与前述短侧面7、8平行地直线延伸的部分。即，第1横直线部41的一端被设置在前述一方的长侧面9上，在其一端上设有入口22a。

第1曲折部61与第1横直线部41的靠近前述另一方的长侧面10的端部相连。第1曲折部61是第2流路22以从第1横直线部41延伸的方向到沿着与长侧面10平行的方向朝向前述一方的短侧面7的方式改变朝向的部分。

第1纵直线部51是与第1曲折部61的下游侧相连、与前述长侧面9、10平行地直线延伸的部分。

第2曲折部62与第1纵直线部51的靠近前述一方的短侧面7的端部相连。第2曲折部62是第2流路22以从第1纵直线部51延伸的方向到沿着与短侧面8平行的方向朝向前述一方的长侧面9的方式改变朝向的部分。

第2横直线部42是与第2曲折部62的下游侧相连、与前述短侧面7、8平行地直线延伸的部分。

第3曲折部63与第2横直线部42的靠近前述一方的长侧面9的端部相连。第3曲折部63是第2流路22以从第2横直线部42延伸的方向到沿着与长侧面9平行的方向朝向前述一方的短侧面7的方式改变朝向的部分。

第2纵直线部52是与第3曲折部63的下游侧相连、与前述长侧面9、10平行地直线延伸的部分。

第4曲折部64与第2纵直线部52的靠近前述一方的短侧面7的端部相连。第4曲折部64是第2流路22以从第2纵直线部52延伸的方向到沿着与短侧面8平行的方向朝向前述另一方的长侧面10的方式改变朝向的部分。

第3横直线部43是与第4曲折部64的下游侧相连、与前述短侧面7、8平行地直线延伸的部分。

并且，在第3横直线部43的靠近前述另一方的长侧面10的端部上连接着第5曲折部65。此外，从该第5曲折部65向下游侧依次连接着第3纵直线部53、第6曲折部66、第4横直线部44、第7曲折部67、第4纵直线部54、第8曲折部68、第5横直线部45、第9曲折部69、第5纵直线部55、第10曲折部70、第6横直线部46、第11曲折部71、第6纵直线部56、第12曲折部72、第7横直线部47。

由第5曲折部65、第3纵直线部53、第6曲折部66、第4横直线部44、第7曲折部67、第4纵直线部54、第8曲折部68及第5横直线部45构成的区域的结构与由前述第1曲折部61、前述第1纵直线部51、前述第2曲折部62、前述第2横直线部42、前述第3曲折部63、前述第2纵直线部52、前述第4曲折部64及前述第3横直线部43构成的区域的结构是同样的。此外，由第9曲折部69、第5纵直线部55、第10曲折部70、第6横直线部46、第11曲折部71、第6纵直线部56及第12曲折部72构成的区域的结构与由前述第1曲折部61、前述第1纵直线部51、前述第2曲折部62、前述第2横直线部42、前述第3曲折部63、前述第2纵直线部52及前述第4曲折部64构成的区域的结构是同样的。

第7横直线部47延伸到前述另一方的长侧面10，在其长侧面10上的一端设有第2流路22的出口22b。

构造体2具有：排列范围2a，在从前述并列方向（前述层叠方向）观察该构造体2的情况下，是多个第1流路21被排列的范围；一对非排列范围2b，在从其并列方向观察的情况下，位于排列范围2a的两外侧，未排列有第1流路21。排列范围2a在从前述并列方向观察的情况下，占构造体2的大部分，在第1流路21的排列方向上被配置在构造体2的中央。一方的非排列范围2b是从构造体2中的一方的长侧面9到该一方的长侧面9侧的排列范围2a的端部的范围。另一方的非排列范围2b是从构造体2中的另一方的长侧面10到该另一方的长侧面10侧的排列范围2a的端部的范围。

各第2流路22的入口22a被配置在一方的非排列范围2b中。各第2流路22具有导入部22c、导出部22d和有效区域22e。

导入部22c是第2流路22中的被配置在一方的非排列范围2b中的部分。即，导入部22c是第2流路22中的从入口22a跨至下游侧的既定的较小的范围的部分。换言之，导入部22c是前述第1横直线部41的上游端附近的部分，是入口22a附近的部分。具体而言，导入部22c是第2流路22中的从入口22a到前述一方的非排列范围2b与排列范围2a之间的边界的部分。

导出部22d是与出口22b的上游侧连续的部分，是被配置在另一方的非排列范围2b中的部分。即，该导出部22d是前述第7横直线部47的下游端附近的部分，是出口22b附近的部分。具体而言，导出部22d是第2流路22中的从出口22b到前述另一方的非排列范围2b与排列范围2a之间的边界的部分。

有效区域22e是使第2流体流通以便该第2流体在与第1流体之间热交换的部分，所述第1流体流过设在前述排列范围2a中的第1流路21。该有效区域22e是第2流路22中的导入部22c与导出部22d以外的部分，即导入部22c与导出部22d之间的部分。具体而言，有效区域22e是第2流路22中的被配置在排列范围2a中的部分。

各连通部30（参照图3、图5及图6）是将第2基板12中的在第2流路22的排列方向上相邻的第2流路22彼此相连而使其连通的结构。在多个连通部30中，包括多个导入部连通部75和多个有效区域连通部76。

导入部连通部75是将在第2基板12中相邻的第2流路22的导入部22c彼此相连而使其连通的结构。该导入部连通部75其整体被设置在非排列范围2b中。即，导入部连通部75是本发明的非排列范围连通部的一例。导入部连通部75分别被设置在各导入部22c的相邻者的彼此之间。被设置在第2基板12上的多个导入部连通部75在相对于导入部22c延伸的方向正交的方向上排列为一列。借助该多个导入部连通部75，将设在第2基板12上的全部的第2流路22的导入部22c相互连通。

多个导入部连通部75由导入部连通槽75a形成，所述导入部连通槽75a以在第2基板12的一方的板面上开口的方式形成在该第2基板12的非排列范围2b中。具体而言，在非排列范围2b中，以相对于各第2槽32正交的方式形成有1条导入部连通槽75a。导入部连通槽75a在相对于该导入部连通槽75a延伸的方向垂直的截面中呈圆弧状的截面。导入部连通槽75a具有与第2槽32的最大深度相同的最大深度。形成在第2基板12的前述一方的板面上的导入部连通槽75a的开口被层叠在该板面上的第1基板11封闭，由此，在相邻的导入部22c彼此之间形成导入部连通部75。导入部连通部75具有小于等于第2流路22的流路宽度Wa（导入部22c的流路宽度）的宽度Wi。另外，导入部连通部75的宽度Wi，是相对于多个第2流路22中的该导入部连通部75连通的部位（导入部22c）的排列方向及前述并列方向的两者正交的方向上的该导入部连通部75的两端间的距离。此外，相对于前述的排列方向及并列方向正交的方向、即导入部22c延伸的方向上的入口22a与导入部连通部75之间的距离，比第2流路22的流路宽度Wa大。

多个有效区域连通部76是在第2流路22的排列方向上将相邻的第2流路22的有效区域22e彼此相连而使其连通的结构。有效区域连通部76是本发明的排列范围连通部的一例。有效区域连通部76被设置在排列范围2a中。在本实施方式中，多个有效区域连通部76包括多个第1连通部78、多个第2连通部79和多个第3连通部80。第1连通部78在第1、第2及第3连通部53、54、55中使有效区域22e的最上游侧的部位连通。第2连通部79使有效区域22e中的比第1连通部78靠下游侧的部位连通。第3连通部80使有效区域22e中的比第2连通部79更靠下游侧的部位连通。

具体而言，第1连通部78将相邻的第2流路22中的与第1曲折部61的下游侧连续的第1纵直线部51彼此相连而使其连通。第1纵直线部51是本发明的下游部的一例，第1连通部78是本发明的下游部连通部的一例。第1连通部78分别被设置在各第1纵直线部51的相邻的部分彼此之间。被设置在第2基板12上的多个第1连通部78从前述并列方向观察在相对于第1纵直线部51延伸的方向正交的方向上并排为一列。此外，该多个第1连通部78从前述层叠方向观察在与这些重叠的第1流路21延伸的方向正交的方向上并排为一列。借助该多个第1连通部78，将设在第2基板12上的全部的第2流路22的第1纵直线部51相互连通。

多个第1连通部78由第1连通槽78a形成，所述第1连通槽78以在第2基板12的一方的板面上开口的方式形成在该第2基板12上。具体而言，在第2基板12上，以相对于各第2槽32的构成第1纵直线部51的部分正交的方式形成有1条第1连通槽78a。第1连通槽78a在相对于其延伸的方向垂直的截面中呈圆弧状的截面。此外，第1连通槽78a在沿着其延伸的方向的截面中呈图4所示那样的形状。第1连通槽78a具有与第2槽32的最大深度相同的最大深度。形成在第2基板12的前述一方的板面上的第1连通槽78a的开口被层叠在该板面上的第1基板11封闭，由此，在相邻的第1纵直线部51彼此之间形成第1连通部78。第1连通部78具有小于等于第2流路22的流路宽度Wa（第1纵直线部51的流路宽度）的宽度W1。另外，第1连通部78的宽度W1，是相对于多个第2流路22中的该第1连通部78连通的部位（第1纵直线部51）的排列方向及前述并列方向的两者正交的方向上的从该第1连通部78的一端到另一端的距离。

第2连通部79将相邻的第2流路22中的与第3曲折部63的下游侧连续的第2纵直线部52彼此相连而使其连通。被设置在第2基板12上的多个第2连通部19与前述多个第1连通部78同样地构成。第2纵直线部52是本发明的下游部的一例，第2连通部79是本发明的下游部连通部的一例。

第3连通部80将相邻的第2流路22中的与第5曲折部65的下游侧连续的第3纵直线部53彼此相连而使其连通。被设置在第2基板12上的多个第3连通部80与前述多个第1连通部78同样地构成。第3纵直线部53是本发明的下游部的一例，第3连通部80是本发明的下游部连通部的一例。

第1供给头3（参照图1及图2）被安装在构造体2上，是向设在该构造体2内的全部第1流路21的各入口21a分配供给第1流体的结构。第1流体例如是低温的流体。第1供给头3被安装在第1流路21的入口21a开口的前述一方的短侧面7上。第1供给头3将在前述一方的短侧面7上开口的全部的入口21a整体地覆盖。由此，第1供给头3的内侧的空间与各入口21a连通。在第1供给头3上连接着图略的供给配管，经由该供给配管被向第1供给头3供给的第1流体被从第1供给头3的内侧的空间向各入口21a分配。

第1排出头5（参照图1及图2）被安装在构造体2上，是接收从设在该构造体2内的全部的第1流路21的出口21b流出的第1流体的结构。第1排出头5被安装在第1流路21的出口21b开口的前述另一方的短侧面8上。第1排出头5将在前述另一方的短侧面8上开口的全部的出口21b整体地覆盖。由此，第1排出头5的内侧的空间与各出口21b连通。在第1排出头5上连接着图略的排出配管，从各出口21b流出到第1排出头5的内侧的空间中的第1流体经由该排出配管被排出。

第2供给头4（参照图1及图3）被安装在构造体2上，是向设在该构造体2内的全部的第2流路22的各入口22a分配供给第2流体的结构。第2流体例如是比第1流体高温的流体。第2供给头4被安装在第2流路22的入口22a开口的前述一方的长侧面9上。第2供给头4将在前述一方的长侧面9中开口的全部的入口22a整体地覆盖。由此，第2供给头4的内侧的空间与各入口22a连通。在第2供给头4上连接着图略的供给配管，经由该供给配管被向第2供给头4供给的第2流体被从第2供给头4的内侧的空间向各入口22a分配。

第2排出头6（参照图1及图3）被安装在构造体2上，是接收从设在该构造体2内的全部的第2流路22的出口22b流出的第2流体的结构。第2排出头6被安装在第2流路22的出口22b开口的前述另一方的长侧面10上。第2排出头6将在前述另一方的长侧面10中开口的全部的出口22b整体地覆盖。由此，第2排出头6的内侧的空间与各出口22b连通。在第2排出头6上连接着图略的排出配管，从各出口22b流出到第2排出头6的内侧的空间中的第2流体经由该排出配管被排出。

在根据本实施方式的流体流通装置1中，借助导入部连通部75将相邻的第2流路22的导入部22c彼此连通，所以在导入部22c中在比导入部连通部75靠上游的位置发生了闭塞的情况下，能够从发生了该闭塞的导入部22c的旁边的导入部22c经由导入部连通部75向导入部22c的闭塞部位的下游侧导入第2流体。

具体而言，例如有第2流体是高压气体、在该气体中作为异物而混入了高粘性的油的情况。此外，有第2流体是液体、在该液体中作为异物而混入了在外部的配管中产生的锈的情况。在这些情况下，当从第2供给头4向各第2流路22的入口22a分配了第2流体时，有因该第2流体中含有的异物而在某个第2流路22的导入部22c的入口22a处发生闭塞100（参照图5）的情况。此外，也有第2流体通过与第1流体的热交换被冷却而冻结、在入口22a处发生因该冻结带来的闭塞100的情况。在这些情况下，第2流体不再从发生了闭塞100的入口22a导入到与该入口22a的下游侧相连的导入部22c中。但是，在本实施方式中，发生了闭塞100的导入部22c与其旁边的导入部22c经由导入部连通部75连通，所以第2流体从其旁边的导入部22c经由导入部连通部75向发生了闭塞100的导入部22c导入。

另一方面，在如图7所示的比较例那样、相邻的第2流路22的导入部22c彼此没有连通的结构中，如果在导入部22c的入口22a处发生闭塞100，则第2流体不再流入到该导入部22c中。在此情况下，不再能够使第2流体流通到在其入口22a处发生了闭塞100的第2流路22中，所以该第2流路22完全不再能够对流体流通装置1的热交换的处理发挥作用。结果，流体流通装置1的热交换的处理的效率大幅地下降，所以需要进行使流体的流通停止而将闭塞100除去的维护作业，流体流通装置1的运转率下降。

相对于此，在本实施方式中，如前述那样第2流体经由导入部连通部75被从旁边的导入部22c导入到闭塞100的下游侧的导入部22c中，所以能够使第2流体流通到在入口22a处发生了闭塞100的第2流路22中，对与流过第1流路21的第1流体的热交换的处理发挥作用。因此，能够防止流体流通装置1的热交换的处理的效率大幅下降，即使在一定期间中不进行将闭塞100除去的维护作业，也能够持续实施热交换的处理。因此，能够防止流体流通装置1的运转率的下降。

此外，导入部连通部75被设置在非排列范围2b中，所以能够防止被设置在排列范围2a中的第1流路21与导入部连通部75在前述并列方向上重叠、在该重叠部分处流体流通装置1的构造体2的强度局部地下降。

此外，在本实施方式中，相邻的第2流路22的第1纵直线部51彼此被第1连通部78连通，所以在第2流路22中在比第1连通部78靠上游的位置发生了闭塞的情况下，能够从发生了该闭塞的第2流路22的旁边的第2流路22经由第1连通部78向第2流路22的闭塞部位的下游侧导入第2流体。

具体而言，例如有如图6所示那样在第2流路22的第1曲折部61处发生闭塞101的情况。在流路的曲折部，流体流动的朝向变化，所以例如高粘性的油等的异物不易向下游流动，容易发生闭塞。在像这样在第2流路22的第1曲折部61处发生了闭塞101的情况下，第2流体不再从该第2流路22的上游向下游流动，但在本实施方式中，在与第1曲折部61的下游侧连续的第1纵直线部51中，从旁边的第2流路22的第1纵直线部51经由第1连通部78导入第2流体。

另一方面，在如图8所示的比较例那样、相邻的第2流路22的第1纵直线部51彼此不连通的结构中，不再能够使第2流体流通到在第1曲折部61处发生了闭塞101的第2流路22中。因此，该第2流路22对流体流通装置1中的热交换的处理完全不再起作用。在此情况下，也与在前述的入口22a处发生了闭塞100的情况同样，需要进行使流体的流通停止而将闭塞101除去的维护作业，流体流通装置1的运转率下降。相对于此，在本实施方式中，如前述那样将第2流体经由第1连通部78从旁边的第2流路22的第1纵直线部51导入到闭塞101的下游侧的第1纵直线部51中，所以能够使第2流体流通到比发生了闭塞101的第2流路22的第1连通部78靠下游侧的区域中，对与流过第1流路21的第1流体的热交换的处理发挥作用。因此，在本实施方式中，能够防止流体流通装置1的运转率的下降。

此外，在本实施方式中，相邻的第2流路22的第2纵直线部52彼此被第2连通部79连通。因此，在第2流路22中在比第2连通部79靠上游的位置处发生了闭塞的情况下，例如在第3曲折部63处发生了闭塞的情况下，能够将第2流体从发生了该闭塞的第2流路22的旁边的第2流路22经由第2连通部79向第2流路22的闭塞部位（第3曲折部63）的下游侧导入。

此外同样，在本实施方式中，相邻的第2流路22的第3纵直线部53彼此被第3连通部80连通。因此，在第2流路22中在比第3连通部80靠上游的位置处发生了闭塞的情况下，例如在第5曲折部65处发生了闭塞的情况下，能够将第2流体从发生了该闭塞的第2流路22的旁边的第2流路22经由第3连通部80向第2流路22的闭塞部位（第5曲折部65）的下游侧导入。

通过由这些第2连通部79及第3连通部80得到的效果，与前述第1连通部78的情况同样，能够防止流体流通装置1的运转率的下降。

此外，在本实施方式中，多个第1连通部78、多个第2连通部79及多个第3连通部80都在与第1流路21正交的方向上排列，所述第1流路21在前述层叠方向上和这些连通部78、79、80重叠。因此，能够防止如连通部的并排方向与和该连通部重叠的第1流路延伸的方向一致的情况那样、由该连通部和第1流路在构造体2中形成强度下降的部分。

此外，在本实施方式中，导入部连通部75及第1～第3连通部78、79、80具有第2流路22的流路宽度以下的宽度，所以能够防止在导入部连通部75及第1～第3连通部78、79、80的部位处构造体2的耐压性能下降。

此外，根据本发明的流体流通装置并不一定限定于前述那样的结构。例如，作为根据本发明的流体流通装置，也可以采用以下这样的结构。

根据本发明的连通部并不一定限定于前述导入部连通部和前述第1～第3连通部那样的结构。即，在第2基板中，也可以在设有前述导入部连通部和前述第1～第3连通部的部位以外的部位处设置将相邻的第2流路彼此相连而使其连通的连通部。例如，也可以将多个连通部配置为，使其在与各第2流路的曲折部的下游侧邻接的位置处、沿着该各第2流路的曲折部并排的方向并排为一列。

第1流路的配置及形状也可以是前述的配置及形状以外的配置及形状，第2流路的配置及形状也可以是前述的配置及形状以外配置及形状。例如，第1流路和第2流路两者也可以是直线地延伸的形状。此外，第1流路和第2流路两者也可以是蜿蜒形状。此外，作为第1流路和第2流路的形状，可以采用直线状和蜿蜒形状以外的各种各样的形状。

此外，也可以将第1流路（第1槽）设在基板的一方的板面上，在设置了该第1流路（第1槽）的基板的另一方的板面上设置第2流路（第2槽）。

此外，也可以是，多个连通部并不一定并排为一列。即，也可以在沿着第2流路中的流体的流通方向的方向上将多个连通部相互有偏移地配置。在此情况下，能够进一步抑制流体流通装置的构造体的局部强度的下降。

此外，也可以是，排列在1个第2基板上的许多第2流路的全部并不一定都相互连通。即，只要排列在第2基板上的许多第2流路中的相邻的至少1组第2流路彼此由连通部连通就可以。

此外，构成连通部的连通槽的最大深度也可以比第2流路槽的最大深度小。

此外，根据本发明的流体流通装置并不一定限定于被作为热交换器使用。例如，根据本发明的流体流通装置也可以被用在一边使流体流通到流路中一边使该流体发生化学反应的反应器中。此外，根据本发明的流体流通装置也可以被用在一边使提取剂和被提取流体流通到流路中一边从被提取流体使特定成分向提取剂提取的提取装置中。

附图标记说明

1 流体流通装置

2 构造体

2a 排列范围

2b 非排列范围

21 第1流路

22 第2流路

22a 入口

22c 导入部

51 第1纵直线部（下游部）

52 第2纵直线部（下游部）

53 第3纵直线部（下游部）

61 第1曲折部

63 第3曲折部

65 第5曲折部

75 导入部连通部（非排列范围连通部）