真空干靶箱的制作方法

文档序号:14868451发布日期:2018-07-05 04:28阅读:901来源:国知局
真空干靶箱的制作方法

本实用新型涉及真空干燥设备,尤其是样品靶的真空干靶箱。



背景技术:

现有的干靶箱通常采用对流式的工作,即通过空气的对流运动使样品靶上的样品干燥结晶。因为液体表面存在张力,所以刚点完的样品或者基质会在靶板上形成液珠,如果空气对流过大,会使液珠破裂甚至溅射,从而造成样品的污染。此外,对流式的干靶箱所需的干靶时间长,干靶效果受环境影响比较大,当空气的湿度较大时,干靶效果将会大打折扣,而且空气中的粉尘和细菌也会对样品和基质造成污染。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于为了克服现有技术中存在的液珠破裂、对环境不可控和干靶时间较长等缺陷,提供采用高真空干燥技术的真空干靶箱。

本实用新型设有机械真空泵、第1电磁阀、第2电磁阀、主腔体、三通接头和玻璃盖板;所述机械真空泵、第1电磁阀、第2电磁阀、主腔体、三通接头和玻璃盖板通过气管连接并形成一个回路,机械真空泵的入口通过气管与第1电磁阀出口连接,第1电磁阀入口通过气管与三通接头第1接口连接,三通接头第2接口通过气管与第2电磁阀出口连接,三通接头第3接口通过气管与主腔体连接。

所述玻璃盖板可用两个合页连接。

本实用新型通过真空泵使样品处在真空状态,液体的沸点降低,加快液体的干燥。机械真空泵内置在箱体内,外形简洁大方,方便移动位置。玻璃盖板用两个合页连接方便开启,抽真空时也可以更好的进行密封。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图2为本实用新型实施例的原理图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

参见图1和2,本实用新型实施例设有机械真空泵1、第1电磁阀2、第2电磁阀3、主腔体4、三通接头5和玻璃盖板;所述机械真空泵1、第1电磁阀2、第2电磁阀3、主腔体4、三通接头5和玻璃盖板通过气管连接并形成一个回路,机械真空泵1的入口通过气管与第1电磁阀2出口连接,第1电磁阀2入口通过气管与三通接头5第1接口连接,三通接头5第2接口通过气管与第2电磁阀3出口连接,三通接头5第3接口通过气管与主腔体4连接。

所述玻璃盖板可用两个合页连接。

本实用新型有三种工作状态:干靶状态、存放状态和放气状态。当本实用新型处于干靶状态时,机械真空泵1处于抽真空状态,第1电磁阀2处于打开状态,第2电磁阀3处于关闭状态;仪器有拨盘按钮,可根据需要设定干靶时间,当干靶完成后自动转入存放状态,第1电磁阀2关闭,机械真空泵1关闭,第2电磁阀3处于关闭状态;放气时,机械真空泵1处于关闭状态,第1电磁阀2处于关闭状态,第2电磁阀3打开5s后关闭。

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