本实用新型涉及加热设备技术领域，特别涉及一种真空干燥箱。
背景技术：
在制备显示基板，需要对玻璃基板进行退火处理，去除溶剂，提高成膜性。退火是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却的一种金属热处理工艺。有些高沸点溶剂退火时需要提高真空度才能以合适的速率冷却退火，因此真空干燥箱是必不可少的设备。
现有的真空干燥箱由于没有风道传送热气流，导致真空干燥箱的箱体内部受热不均匀。同时目前常用的干燥箱加热管很难在加热速率和温度过冲两方面达到平衡，升温速率快的很容易过冲十度以上；控制精准不过冲的升温速率太慢，不利于退火工艺的控制；而在退火完成之后，由于部分材料不能在高温下暴露空气，必须等待温度降到合适范围后才能取出，而目前对快速降温采取的方式主要还是依靠通入气流来降低箱体内部的温度，箱体还是会持续散发热量。
技术实现要素：
本实用新型提供了一种真空干燥箱，以提高干燥时的加热均匀性和温度控制准确性，从而提高干燥效率。
为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
一种真空干燥箱，包括双层箱体、承载板、抽真空装置和多个加热管模块，其中，所述双层箱体具有夹层；所述承载板设置于所述双层箱体中部并将所述双层箱体分成上部空腔和下部加热腔；所述多个加热管模块均匀分布于所述双层箱体的下部加热腔的侧壁夹层和所述承载板上，且每个加热管模块在对应的侧壁夹层和承载板区域扫描式移动；所述抽真空装置设置于所述双层箱体的下部加热腔区域侧壁。
本实用新型的技术方案中，该真空干燥箱的承载板在双层箱体内隔出下部加热腔，且在构成该下部加热腔的承载板及侧壁夹层区域均匀分布有多个加热管模块，从而提高了真空干燥箱在干燥过程中的加热均匀性和温度控制准确性，从而提高干燥效率。此外，每个加热管模块在对应的侧壁夹层和承载板区域扫描式移动，即在干燥加热时加热管模块可在其预设的位置附近左右巡回移动，进一步提高加热管模块的加热速率和加热均匀性。
优选的，所述承载板以可滑动的方式安装于所述双层箱体中部。
优选的，所述真空干燥箱还包括隔离板，所述隔离板设置于所述双层箱体内的上部空腔，并在所述双层箱体的顶部隔出加热管安置腔。
优选的，所述真空干燥箱还包括多个温度传感器，所述多个温度传感器对应所述多个加热管模块设置于所述承载板和所述下部加热腔的侧壁夹层区域。
优选的，所述多个加热管模块以可拆卸的方式设置于所述加热管安置腔、承载板和/或所述下部加热腔的侧壁夹层区域；当所述下部加热腔内温度高于预定温度时，逐个撤走所述承载板和/或所述下部加热腔的侧壁夹层区域的加热管模块并放置于所述加热管安置腔中；当所述下部加热腔内温度低于预定温度时，逐个撤走所述加热管安置腔中的加热管模块并设置于所述承载板和/或所述下部加热腔的侧壁夹层区域。
优选的，所述隔离板的材质包括聚苯乙烯、聚氨酯或复合保温材料。
优选的，所述真空干燥箱还包括降温模块，当真空干燥箱干燥结束后，将所述多个加热管模块撤走并替换成所述降温模块。
优选的，所述降温模块包括冷凝水管，且所述冷凝水管为循环冷凝水管。
优选的，所述双层箱体侧壁还包括透明视窗。
优选的，所述双层箱体的材质包括不锈钢、陶瓷或铸铁。
附图说明
图1为本实用新型一实施例提供的真空干燥箱的结构示意图；
图2为本实用新型另一实施例提供的真空干燥箱的结构示意图；
图3为本实用新型一优选实施例提供的真空干燥箱的结构示意图。
附图标记：
1-双层箱体
2-承载板
3-抽真空装置
4-加热管模块
5-隔离板
6-温度传感器
7-降温模块
11-上部空腔
12-下部加热腔
13-加热管安置腔
21-收放吊绳
具体实施方式
为提高干燥时的加热均匀性和温度控制准确性，从而提高干燥效率，本实用新型实施例提供了一种真空干燥箱。为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本实用新型作进一步详细说明。
参考图1，本实用新型一种实施例提供的真空干燥箱，包括双层箱体1、承载板2、抽真空装置3和多个加热管模块4，其中，该双层箱体1具有夹层；承载板2设置于双层箱体1中部并将双层箱体1分成上部空腔11和下部加热腔12；多个加热管模块4均匀分布于双层箱体1的下部加热腔12的侧壁夹层和承载板2上，且每个加热管模块4在对应的侧壁夹层和承载板2区域扫描式移动；抽真空装置3设置于双层箱体1的下部加热腔12区域侧壁。
本实用新型的技术方案中，该真空干燥箱的承载板在双层箱体内隔出下部加热腔，且在构成该下部加热腔的承载板及侧壁夹层区域均匀分布有多个加热管模块，从而提高了真空干燥箱在干燥过程中的加热均匀性和温度控制准确性，从而提高干燥效率。此外，每个加热管模块在对应的侧壁夹层和承载板区域扫描式移动，即在干燥加热时加热管模块可在其预设的位置附近左右巡回移动，进一步提高加热管模块的加热速率和加热均匀性。
本实用新型实施例中不对加热管模块进行具体的限定，可根据具体的使用环境和要求进行甄选。优选可采用电加热管，电加热管采购方便，加热速度快且便于安装拆卸，有利于成规范的使用。
在本实用新型一个具体的实施例中，如图2所示，该真空干燥箱的承载板2以可滑动的方式安装于双层箱体1中部。承载板2的滑动可通过收放吊绳21实现，图2所示收放吊绳21仅为一种示例，不应理解为对本实用新型的限定。箱体内的承载板可以上下移动，根据需要退火或者干燥的物体大小，承载板可以滑动调整至合适位置，确保受热空间尽可能小，保证受热的均匀性，提高干燥或退火效率。
参考图2，进一步的，本实用新型实施例的真空干燥箱还包括隔离板5，该隔离板5设置于双层箱体1内的上部空腔11，并在双层箱体1的顶部隔出加热管安置腔13。加热管安置腔可用于放置待使用或加热完毕的加热管模块，可以降低加热管的遗失、放置不当、烫伤等情况的发生，从而提高干燥或退火工艺的安全性。更进一步的，该真空干燥箱还包括多个温度传感器6，多个温度传感器6对应多个加热管模块4设置于承载板2和下部加热腔12的侧壁夹层区域。温度传感器和加热管模块一一对应设置，能够实时检测对应区域的加热温度并据此作出调整，从而提高加热效果、效率。
该实施例中的多个加热管模块以可拆卸的方式设置于加热管安置腔、承载板和/或下部加热腔的侧壁夹层区域；当下部加热腔内温度高于预定温度时，逐个撤走承载板和/或下部加热腔的侧壁夹层区域的加热管模块并放置于加热管安置腔中；当下部加热腔内温度低于预定温度时，逐个撤走加热管安置腔中的加热管模块并设置于承载板和/或下部加热腔的侧壁夹层区域。
参考图3，在本实用新型另一实施例中，该真空干燥箱还包括降温模块7，当真空干燥箱干燥结束后，将多个加热管模块4撤走并替换成降温模块7。本实用新型实施例不对降温模块进行具体的限定，在一个优选的方案中，降温模块包括冷凝水管，且冷凝水管优选为循环冷凝水管。干燥或退火工艺结束后降温模块与加热管模块发生位置上的互换，从而确保加热退火工艺完成之后能够快速降温，提高工艺的工作效率。
本实用新型实施例的真空干燥箱具体工作流程如下：
真空干燥箱的多个加热管模块加热时在预设位置附件的小范围内左右扫描移动，根据预设温度进行加热升温。根据温度传感器的实时温度和预设温度之间的差距，逐步移动撤走某些加热管模块，撤走的加热管模块全部放置于加热管安置腔并继续加热直到加热管安置腔内也达到设定温度。下部加热腔内温度越接近设定温度，撤走的加热管模块数目越多，剩余的加热管模块扫描移动范围越大，等达到预设温度后，可以撤走下部加热腔内的加热管模块，将在加热管安置腔内已经稳定在预设温度的加热管模块移动至承载板上，从而使得下部加热腔内维持设定温度。
等到真空干燥箱内退火或干燥工艺完成之后，撤走所有加热管模块。将降温模块紧贴设置于双层箱体发热的内壁，并向降温模块内部的循环冷凝水管通入循环冷水，快速降温至室温。
在本实用新型另一优选的实施例中，该真空干燥箱的双层箱体侧壁还包括透明视窗。透明视窗能够更为便捷地对真空干燥箱内的待干燥或退火物品进行观察，从而提高工艺的操作效率和准确性。
另一方面，本实用新型实施例中隔离板的材质优选包括聚苯乙烯、聚氨酯或复合保温材料。上述保温材料不用理解为本实用新型实施例的限定，仅为一种优选，采用保温材料制成的隔离板能够有效降低加热管安置腔和下部加热腔之间的热交换，从而提高干燥或退火工艺时的工作效率。
本实用新型实施例中不对双层箱体的材质进行具体的限定，其材质包括不锈钢、陶瓷或铸铁。生产或应用时可根据具体的使用环境和要求进行甄选，优选采用不锈钢材质的双层箱体。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。