热处理设备的制作方法

本发明涉及，具体而言，涉及一种热处理设备。

背景技术：

太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干。传统的烘干炉设备的加热炉膛风道结构是：1、炉体上炉膛有一个或多个抽风口直接与炉腔相通；2、炉腔内补充热鲜风(热空气)是在上炉体前中后的某个点直接充入或下炉膛用风管的方式充入。以上任一方案组合的加热炉膛风道结构均有炉膛内气场紊乱，排废气不及时的缺陷，必将造成工艺腔体内积油，网链脏污的现象，给电池片制造造成外观污染品质缺陷或电气性能缺陷。恶劣的还可能造成火灾安全事故。

技术实现要素：

本发明旨在至少改善现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一些实施例提出了一种热处理设备。

有鉴于此，根据本发明的一些实施例，本发明提出了一种热处理设备，包括：炉体，炉体具有腔体，腔体具有进风口与出风口；第一均风结构，第一均风结构对应进风口设置，位于腔体内，第一均风结构被配置为适于对通过进入的气流进行分流；第二均风结构，设于腔体，与第一均风结构相对，第二均风结构对应出风口设置，位于腔体内，第二均风结构被配置为适于对通过的气流进行分流；送风机构，送风机构的送风口与进风口相连通。

本发明提出的热处理设备，在炉体的腔体内设置第一均风结构与第二均风结构，第一均风结构对应进风口，第二均风结构对应出风口，由送风机构向进风口输送气流，气流通过第一均风结构的分流，形成面式的气场，在面式的气场中各个的点的风压、风量大小基本一致，气流进入腔体，再由第二均风结构经出风口流出，由于第二均风结构也是面式的流经气流，因此，通过第一均风结构与第二均风结构在腔体内形成面式气流，并且，第一均风结构与第二均风结构相对，可以缩短废气的排出时间，防止腔体内的废气(含高容量油类的有机物)紊乱，在腔体内污染腔体、网链甚至硅片，提升热处理设备的性能。

另外，根据本发明上述实施例的热处理设备，还可以具有如下附加的技术特征：

在上述技术方案的基础上，进一步地，第一均风结构包括：至少一层第一均风板，至少一层第一均风板叠设于腔体的底部，第一均风板上分布有多个第一通孔。

在该技术方案中，第一均风结构包括至少一层第一均风板，进而形成一级或多级的均风效果，进而确保进入腔体内的面式气场的面积，充分保证整个腔体内的气流均为有序的，进一步地防止废弃的絮乱。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，第二均风结构包括：至少一层第二均风板，第二均风板设于腔体的顶部，第二均风板上分布有多个第二通孔。

在该技术方案中，第二均风结构包括至少一层第二均风板，进而形成一级或多级的均风效果，进而确保进入腔体内的面式气场的面积，充分保证整个腔体内的气流均为有序的，进一步地防止废弃的絮乱。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，第一均风板包括：第一板体，第一通孔设于第一板体；第一安装部，设于第一板体的周侧，第一板体通过第一安装部与炉体相连接；和/或第二均风板包括：第二板体，第二通孔设于第二板体；第二安装部，设于第二板体的周侧，第二板体通过第二安装部与炉体相连接。

在该技术方案中，第一均风板包括第一板体与第一板体周侧的第一安装部，通过第一安装部将板体安装于炉体，进而保证了第一均风板的周侧紧密的与炉体连接，避免第一均风板与炉体之间产生缝隙，提升均风效果。和/或第二均风板包括第二板体与第二板体周侧的第二安装部，通过第二安装部将板体安装于炉体，进而保证了第二均风板的周侧紧密的与炉体连接，避免第二均风板与炉体之间产生缝隙，提升均风效果。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：吸风机构，吸风机构的吸风口与出风口相连通。

在该技术方案中，通过吸风机构与出风口连通，进而加快腔体内废气的排出速度，进一步避免腔体内废气对腔体、网链甚至硅片的污染。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：冷凝组件；第一出风管，一端与吸风机构的排风口相连接，另一端与冷凝组件相连接，冷凝组件用于冷却由第一出风管进入的气流；第二出风管，与冷凝组件相连接，吸风机构排出的气流依次流经第一出风管与冷凝组件并由第二出风管排出。

在该技术方案中，由于腔体内对物料进行加热处理，因此，流出腔体的气流具有较高的温度，在经冷凝组件冷凝后排出，有利于环保与安全。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，第一均风结构位于腔体的底部；第二均风结构位于腔体的顶部。

在该技术方案中，第一均风结构位于腔体的底部，第二均风结构位于腔体的顶部，进而腔体内的气流由底部至顶部的流动，更有利于对物料底面的处理。在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：加热组件，设于所述送风机构与所述进风口之间，用于加热进入所述腔体的气流。

在该技术方案中，由于腔体内的温度较高，因此对进入腔体的气流进行加热，可以由于对物料的热处理。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，炉体包括：第一炉膛体，进风口位于第一炉膛体；第二炉膛体，设于第一炉膛体，出风口设于第二炉膛体，第一炉膛体与第二炉膛体合围出所述腔体。

在该技术方案中，炉体包括第一炉膛体与第二炉膛体，即将炉体设置为分体式的，更便于炉膛的搭建，降低热处理设备的搭建时间与搭建难度。

在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：输送机构，设于腔体，输送机构位于第一均风结构与第二均风结构之间；加热机构，设于腔体，位于输送机构的上方或下方。

在该技术方案中，在腔体内还设置有输送机构，以运输物料进行加工，并在输送机构的上方或下方设置加热机构，以实现对物料进行热处理。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出本发明一个实施例提供的热处理设备的机构示意图；

图2示出如图1所示的热处理设备中气流流动方式的示意图；

图3示出如图1所示的热处理设备不包括送风机构的结构示意图；

图4示出如图3所示的热处理设备b-b的剖视图；

图5示出如1所示的热处理设备中第一炉膛体与其连接部件的结构示意图；

图6示出如1所示的热处理设备中倒置的第二炉膛体与其连接部件的结构示意图；

图7示出如1所示的热处理设备中第一均风结构的结构示意图；

图8示出如1所示的热处理设备中第二均风结构的结构示意图。

其中，图1至图8中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100热处理设备，110炉体，112第一炉膛体，1122进风口，114第二炉膛体，1142出风口，116腔体，118保温件，120第一均风结构，122第一均风板一，124第一均风板二，126第一均风板三，130第二均风结构，140送风机构，150吸风机构，160冷凝组件，162第一出风管，164第二出风管，170加热组件，180输送机构，190加热机构。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图8描述根据本发明一些实施例提供的热处理设备100。

实施例1：

如图1至图8所示，根据本发明的一些实施例，本发明提供了一种热处理设备100，包括：炉体110，炉体110具有腔体116，腔体116具有进风口1122与出风口1142；第一均风结构120，第一均风结构120对应进风口1122设置，位于腔体116内，第一均风结构被配置为适于对通过进入的气流进行分流；第二均风结构130，设于腔体116，与第一均风结构120相对，第二均风结构130对应出风口1142设置，位于腔体116内，第二均风结构被配置为适于对通过的气流进行分流；送风机构140，送风机构140的送风口与进风口1122相连通。

本发明提供的热处理设备100，在炉体110的腔体116内设置第一均风结构120与第二均风结构130，第一均风结构120对应进风口1122，第二均风结构130对应出风口1142，由送风机构140向进风口1122输送气流，气流通过第一均风结构120的分流，形成面式的气场，在面式的气场中各个的点的风压、风量大小基本一致，气流进入腔体116，再由第二均风结构130经出风口1142流出，由于第二均风结构130也是面式的流经气流，因此，通过第一均风结构120与第二均风结构130在腔体116内形成面式气流，并且，第一均风结构120与第二均风结构130相对，可以缩短废气的排出时间，防止腔体116内的废气(含高容量油类的有机物)紊乱，在腔体116内污染腔体116、网链甚至硅片，提升热处理设备100的性能。

具体地，送风组件为送风风机，吸风组件为吸风风机。

实施例2：

如图2、图4、图5与图7所示，在实施例1的基础上，进一步地，第一均风结构120包括：多层第一均风板，多层第一均风板叠设于腔体116的底部，第一均风板上分布有多个第一通孔。

在该实施例中，第一均风结构120包括多层第一均风板，进而形成多级的均风效果，进而确保进入腔体116内的面式气场的面积，充分保证整个腔体116内的气流均为有序的，进一步地防止废弃的絮乱。

具体地，第一均风结构120可以包括：2层、3层、4层第一均风板等，在第一均风板上设置有均风孔，以实现均风。

其中，第一均风板的层数、长短、孔的结构、形式、孔的大小均不限制。

实施例3：

如图5与图7所示，在实施例2的基础上，进一步地，相邻两个第一均风板中，靠近进风口1122的第一均风板的通风面积小于远离进风口1122的第一均风板的通风面积。

在该实施例中，气流由通风面积小的第一均风板，逐步流经通风面积大的第一均风板，将气场的面积逐步放大，进一步保证流出第一均风结构120的气流整体有序，且各个位置的风压与风量基本一致，避免气场面积的突变造成气流的不均匀。

如图5与图7所示，第一均风结构120由靠近进风口1122至远离进风口1122一次包括：第一均风板一122、第一均风板二124、第一均风板三126，其中，第一均风板一122的出风面积与整体面积小于第一均风板二124，第一均风板二124的出风面积与整体面积小于第一均风板三126。

进一步地，还包括：支撑件，设置在相邻两个第一均风板之间，用于支撑与连接相邻的两个第一均风板。

具体地，第一均风板一122与第一均风板二124之间设有支撑件，起到支撑和连接的作用。具体地，在第一均风板周侧等间距地设置支撑柱来实现支撑和连接。如图5所示，第一均风板一122搭设或是贴设在进风口1122上方。

更进一步地，第一均风板包括：第一板体，第一通孔设于第一板体；第一安装部，设于第一板体的周侧，第一板体通过第一安装部与炉体110相连接。

在该实施例中，第一均风板包括第一板体与第一板体周侧的第一安装部，通过第一安装部将板体安装于炉体110，进而保证了第一均风板的周侧紧密的与炉体110连接，避免第一均风板与炉体110之间产生缝隙，提升均风效果。

具体地，第一安装部上设有安装孔，安装孔用来与腔体116内壁连接，其中，安装部可为定位板。

实施例4：

如图2、图4、图6与图8所示，在实施例1至实施例6中任一者的基础上，进一步地，第二均风结构130包括：第二均风板，第二均风板铺设于腔体116的顶部，第二均风板上分布有多个第二通孔。

在该实施例中，第二均风结构130包括：至少一层第二均风板，第二均风板铺设于腔体116的顶部，已完成气流的排出。具体地，第二均风板采用一个。

进一步地，第二通孔可为长条形孔，均分于第二均风板，形成均风风帘。

更进一步地，第二均风板包括：第二板体，第二通孔设于第二板体；第二安装部，设于第二板体的周侧，第二板体通过第二安装部与炉体110相连接。

在该实施例中，第二均风板包括第二板体与第二板体周侧的第二安装部，通过第二安装部将板体安装于炉体110，进而保证了第二均风板的周侧紧密的与炉体110连接，避免第二均风板与炉体之间产生缝隙，提升均风效果。具体地，第一安装部上设有安装孔，安装孔用来与腔体116内壁连接，其中，安装部可为定位板。

实施例5：

如图1、图2、图3与图6所示，在实施例1至实施例4中任一者的基础上，进一步地，还包括：吸风机构150，吸风机构150的吸风口与出风口1142相连通。

在该实施例中，通过吸风机构150与出风口1142连通，进而加快腔体116内废气的排出速度，进一步避免腔体116内废气对腔体116、网链甚至硅片的污染。

实施例6：

如图1、图2与图3所示，在实施例1至实施例5中任一者的基础上，进一步地，还包括：冷凝组件160；第一出风管162，一端与吸风机构150的排风口相连接，另一端与冷凝组件160相连接，冷凝组件160用于冷却由第一出风管162进入的气流；第二出风管164，与冷凝组件160相连接，吸风机构150排出的气流依次流经第一出风管162与冷凝组件160并由第二出风管164排出。

在该实施例中，由于腔体116内对物料进行加热处理，因此，流出腔体116的气流具有较高的温度，在经冷凝组件160冷凝后排出，有利于环保与安全。

实施例7：

如图2、图4、图5与图6所示，在实施例1至实施例6中任一者的基础上，进一步地，第一均风结构120位于腔体116的底部；第二均风结构130位于腔体116的顶部。

在该实施例案中，第一均风结构120位于腔体116的底部，第二均风结构130位于腔体116的顶部，进而腔体116内的气流由底部至顶部的流动，更有利于对物料底面的处理。

具体地，如图2所示，图2中箭头方向表示气流流动方向，气流由送风机构140进入加热组件170，再由加热组件170进入进风口1122，经第一均风结构120均风，进入腔体116，再通过第二均风结构130进入出风口1142，有吸风机构150吸出，并经第一出风管162、冷凝组件160，由第二出风管164排出。

具体地，在腔体116内，位于加热机构190和输送机构180之上，出风口1142之下的部分为顶部；位于加热机构190和输送机构180之下，进风口1122之上的部分为底部。

实施例8：

如图1、图2、图3与图5所示，在实施例1至实施例7中任一者的基础上，进一步地，热处理设备100还包括：加热组件170，设于所述送风机构140与所述进风口1122之间，用于加热进入所述腔体116的气流。

在该实施例中，由于腔体116内的温度较高，因此对进入腔体116的气流进行加热，可以由于对物料的热处理。

具体地，加热组件170包括：加热箱与设置加热箱内的加热管。

实施例9：

如图1至图6所示，在实施例1至实施例8中任一者的基础上，进一步地，炉体110包括：第一炉膛体112，进风口1122位于第一炉膛体112；第二炉膛体114，设于第一炉膛体112，出风口1142设于第二炉膛体114，第一炉膛体112与第二炉膛体114合围出所述腔体116。

在该实施例中，炉体110包括第一炉膛体112与第二炉膛体114，即将炉体110设置为分体式的，更便于炉膛的搭建，降低热处理设备100的搭建时间与搭建难度。

具体地，在炉体110上还设置有保温件118，其中，保温件118可以是保温棉。

实施例10：

如图1至图5所示，在实施例1至实施例9中任一者的基础上，进一步地，还包括：输送机构180，设于腔体116，输送机构180位于第一均风结构120与第二均风结构130之间；加热机构190，设于腔体116，位于输送机构180的上方或下方。

在该实施例中，在腔体116内还设置有输送机构180，以运输物料进行加工，并在输送机构180的上方或下方设置加热机构190，以实现对物料进行热处理。

具体地，输送机构180输送物料进入腔体116，在加热机构190的加热下，完成热处理，输送机构180再将物料送出。

实施例11：

如图1至图8所示，本发明提供了一种硅片烘干炉设备(热处理设备100)，其加热炉膛风道的结构保证炉腔内部温度控制均匀的同时，实现太阳能电池片高品质生产(提升烘干效果及成品率)，杜绝工艺腔体116内积油、网链脏污的现象，提高设备安全性。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

1、本发明炉腔内补充热鲜风(热空气)设计方案采用：冷鲜风经加热箱(加热组件170)加热后达到设定的热鲜风温度，经三层均风网板(第一均风板)均匀风量，使得下炉腔内形成面的气场，面的气场各个的点的风压、风量大小一致。气场的流向由下垂直至上。另外所用均风网板不限于一层或多层。

2、本发明炉膛内废气抽出设计方案采用：硅片经高温加热烘烤时产生的废气及时经上炉膛的第二均风板的第二通孔吸入废气汇总通道内，再由抽风动力风轮(吸风机构150)高速排出上炉膛(第二炉膛体114)的出风口1142。第二均风板吸入风的形式与下炉膛(第一炉膛体112)送风形式面对应，上炉膛废气出口可以是一个或多个。

3、炉腔内补充热鲜风(热空气)在下炉膛，以面形式的气场，流向由下垂直至上。配合烘烤时产生的废气形成向上升的气流动态，并及时经上炉膛的第二均风板孔以面形式的气场吸入废气汇总通道内。防止废气(含高容量油类的有机物)紊乱，在工艺腔体116内污染腔体116、网链甚至硅片。废气汇总通道内在上炉膛内部，属于高温区域。高温高容量油类的有机物废气再由动力风轮及时快速排出上炉膛出口。所以整个废气的形成至排出工艺腔体116内的气流动态稳定向上升，没有紊乱现象，废气排出的时间短。其次，下炉膛以面形式的热气场热量被充分利用，温度控制更均匀，烘干效果好且节能。

本加热炉膛风道结构主要由下炉膛(第一炉膛体112)、上炉膛(第二炉膛体114)组成。

下炉膛以面形式的气场送风效应结构由第一均风网板(第一均风板一122)、第二均风网板(第一均风板二124)、第三均风网板(第一均风板三126)、下炉膛腔体116、高压鼓风机(送风机构140)、加热箱(加热组件170)组合组成；下炉膛腔体116用保温棉(保温件118)保温隔热，高压鼓风机把干净的冷空气吹入加热箱，冷鲜风经加热箱加热后达到设定的热鲜风温度后，经三层均风网板(第一均风网板、第二均风网板、第三均风网板)均风，形成面的气场，面的气场各个的点的风压、风量大小一致，气场的流向由下垂直至上。

上炉膛以面形式的气场抽风效应结构由均风风帘板(第二均风板)、上炉膛腔体116、主动排废组件(吸风组件)组合组成；上炉膛腔体116用保温棉保温隔热，硅片置于网链带(输送机构180)上(网链带由石英管承托)，经加热管(加热机构190)及下炉膛上升的热气场于工艺腔体116内高温加热烘烤，产生的废气由上升的热气场及上炉膛的均风风帘板孔吸入废气汇总通道内，再由抽风动力风轮(吸风机构150)高速排出上炉膛的出风口1142。均风风帘板吸入风的形式与下炉膛送风形式面对应。

所以整个废气的形成至排出工艺腔体116内的气流动态稳定向上升，没有紊乱现象，废气排出的时间短。其次，下炉膛以面形式的热气场热量被充分利用，温度控制更均匀，烘干效果好且节能。

上述均风网板(均封板)的层数、长短、孔的结构、形式、孔的大小均不限制。

上述均风风帘板的角度、孔的结构、形式、大小均不限制。

在本发明中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。