一种微电子加工用快速烘干设备的制作方法

本技术涉及微电子烘干，尤其是涉及一种微电子加工用快速烘干设备。

背景技术：

1、微电子作为一个广义领域，其中包含了半导体器件，在半导体器件的生产加工中需要经过多道加工工序，其中包含有烘干工序，其主要用于对半导体的加工材料进行烘干操作，确保后续的加工操作能稳定进行。

2、现有的烘干设备在灵活组装和拆卸检修上存在不足，同时烘干速率有待提高。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种微电子加工用快速烘干设备能灵活便捷的组装和拆卸，便于检修操作，同时能提高烘干速率。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种微电子加工用快速烘干设备，包括支撑框架、第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机，所述第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机的对称侧表面上均固定连接有安装支架，所述第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机均通过安装支架固定安装在支撑框架的上端，所述烘干机构包含有烘干箱，所述烘干箱的上表面上固定安装有真空泵，所述真空泵的进气端口固定安装有抽气管，所述抽气管的另一端与烘干箱内部相通。

4、通过采用上述技术方案，能便捷的进行组装，同时能对烘干箱的内部抽真空操作，提高烘干速率。

5、进一步地，所述烘干箱的对称两端开口边沿处均设置有插座，且插座的插槽内部安插有活动舱门，所述活动舱门的横截面呈l字形。

6、通过采用上述技术方案，确保了烘干箱抽真空的可行性。

7、进一步地，所述活动舱门的上表面上固定安装有两个气缸，所述气缸的伸缩端固定连接在烘干箱的上表面上。

8、通过采用上述技术方案，能便捷的带动活动舱门进行位置移动，确保了该设备能进行自动化生产。

9、进一步地，所述烘干箱的内部顶壁上固定安装有电阻加热管，所述烘干箱的内壁上固定安装有第三皮带输送机。

10、通过采用上述技术方案，可以有效的提高烘干箱的内部温度，提高烘干效率，同时能对烘干完成的微电子进行输送操作。

11、进一步地，所述支撑框架的内侧固定连接有安装板，且安装板的上表面上固定安装有空气净化箱，所述空气净化箱的内部填充有活性炭包，所述空气净化箱的进气端套接有导气软管，所述导气软管的另一端套接在真空泵的出气端口外部。

12、通过采用上述技术方案，能对烘干产生的废气进行吸附净化操作，提高了该设备的环保系数。

13、进一步地，所述第一皮带输送机的外表面上固定连接有倾斜分布的引导板，所述引导板位于第一皮带输送机的下游。

14、通过采用上述技术方案，确保了第一皮带输送机上输送的微电子能稳定的落在烘干箱第三皮带输送机上。

15、1、本实用新型可以通过安装支架便捷的将第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机安装在支撑框架的上端，使得该装置能便捷的进行组装操作，便于现场的安装以及便于日后的维修更换操作，整体实用性得到了有效提高，同时可以利用真空泵来抽取烘干箱内部的空气，以此来降低烘干箱内部的气压，进而缩短微电子烘干时间，提高微电子烘干效率；

16、2、本实用新型通过在支撑框架的内侧设置空气净化箱，在空气净化箱的内部填充活性炭包，可以利用活性炭包对真空泵抽出的空气进行吸附净化操作，使得该设备具备废气净化结构和功能，以此来提高该设备的环保系数。

技术特征：

1.一种微电子加工用快速烘干设备,包括支撑框架(1)、第一皮带输送机(2)、烘干机构(3)、第二皮带输送机(4)，其特征在于：所述第一皮带输送机(2)、烘干机构(3)、第二皮带输送机(4)的对称侧表面上均固定连接有安装支架(12)，所述第一皮带输送机(2)、烘干机构(3)、第二皮带输送机(4)均通过安装支架(12)固定安装在支撑框架(1)的上端，所述烘干机构(3)包含有烘干箱(5)，所述烘干箱(5)的上表面上固定安装有真空泵(9)，所述真空泵(9)的进气端口固定安装有抽气管(8)，所述抽气管(8)的另一端与烘干箱(5)内部相通。

2.根据权利要求1所述的一种微电子加工用快速烘干设备，其特征在于：所述烘干箱(5)的对称两端开口边沿处均设置有插座，且插座的插槽内部安插有活动舱门(7)，所述活动舱门(7)的横截面呈l字形。

3.根据权利要求2所述的一种微电子加工用快速烘干设备，其特征在于：所述活动舱门(7)的上表面上固定安装有两个气缸(6)，所述气缸(6)的伸缩端固定连接在烘干箱(5)的上表面上。

4.根据权利要求1所述的一种微电子加工用快速烘干设备，其特征在于：所述烘干箱(5)的内部顶壁上固定安装有电阻加热管(13)，所述烘干箱(5)的内壁上固定安装有第三皮带输送机(14)。

5.根据权利要求1所述的一种微电子加工用快速烘干设备，其特征在于：所述支撑框架(1)的内侧固定连接有安装板，且安装板的上表面上固定安装有空气净化箱(11)，所述空气净化箱(11)的内部填充有活性炭包，所述空气净化箱(11)的进气端套接有导气软管(10)，所述导气软管(10)的另一端套接在真空泵(9)的出气端口外部。

6.根据权利要求1所述的一种微电子加工用快速烘干设备，其特征在于：所述第一皮带输送机(2)的外表面上固定连接有倾斜分布的引导板(15)，所述引导板(15)位于第一皮带输送机(2)的下游。

技术总结
本技术公开了一种微电子加工用快速烘干设备，其涉及微电子烘干技术领域，旨在解决现有的烘干设备在灵活组装和拆卸检修上存在不足，同时烘干速率有待提高的问题，其技术方案要点包括支撑框架、第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机，所述第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机的对称侧表面上均固定连接有安装支架，所述第一皮带输送机、烘干机构、第二皮带输送机均通过安装支架固定安装在支撑框架的上端，所述烘干机构包含有烘干箱，所述烘干箱的上表面上固定安装有真空泵，所述真空泵的进气端口固定安装有抽气管。达到了能灵活便捷的组装和拆卸，便于检修操作，同时能提高烘干速率的效果。

技术研发人员：蔡永晔,董正行
受保护的技术使用者：上海思恩装备科技股份有限公司
技术研发日：20230907
技术公布日：2024/4/7