专利名称：太阳能真空管溅射选择性吸收涂层的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种太阳能真空集热管用的溅射选择性吸收涂层。
公知的太阳能真空集热管用的溅射选择性吸收涂层专利技术CN85100142A和CN110184.0都分别以美国专利NO4.339.484为技术背景材料而发展，改进，创新，获得了不同程度的工业化生产，凡是获得商品化生产的技术，尽管有很多优点，但随着应用的推广，将产生不足，特别是铝——氮膜成膜后，结构不致密而疏松，如能在其成膜过程中惨杂入碳，填充其铝——氮间隙，将会形成致密更黑的黑体吸收层。
本发明的目的是提供一种铝——氮——碳/铝、铝——碳——氮/铝结构的涂层为基础的选择性吸收涂层，它的溅射工艺只需阴极，简化了溅射装置，并且它还可以采用活性高的气体，使工艺参数易控制，操作简便稳定，从复性好。
本发明的目的是这样实现的它用单一的铝阴极，特别适于工业化生产的单园柱铝靶磁控溅射系统及三路氩气、乙炔，氮气气源混合控制系统，首先在纯氩气中溅射高反射率的高纯铝膜作底层，厚度大于0.8×10-4mm，然后在氩气中同时加入一定比例括性高的甲烷(或乙炔)和氮气混合气体气源参加反应溅射，生成铝——氮——碳膜及铝——碳———氧膜作吸收层，形成类金刚石薄膜吸收层，具有很高的吸收率，综合性能优异，厚度为0.2×10-4mm至0.5×10-3mm，厚度适中，不仅有利于在真空中烘烤成膜质量的提高，同时有利于稳定太阳吸收率及降低发射率。
本发明的涂层太阳能吸收率α＝0.90至0.95，∑＝0.05至0.09(100℃)。
下面结合附图进一步说明本发明。
图1是玻璃真空集热管的正视图。
图2是图1沿A--A的剖视图。
实施例参见附图1，1是外玻璃管，2是选择性涂层，3是内玻璃管，4是真空，5是有消气剂的支架，再参见图2说明，本发明的基体主要是硼硅玻璃3，即真空集热管的内玻璃管3，在纯氩气中溅射高纯铝膜作底层6，其厚度为0.19×10-3mm，然后在氩气中加乙炔和氮气混合气体为气源，同时参加反应溅射，生成铝——氮——碳及铝——碳——氮膜作吸收7，厚度为0.13×10-3mm，经测定，本实施例的太阳光谱吸收率α＝0.93，发射率∑＝0.06(100℃)本发明涂层致密，附着牢固，结构稳定结实，是良好的太阳能真空管溅射选择涂层开发技术的又一新技术发展。
权利要求
1.一种用于真空集热管的太阳能溅射选择性吸收涂层，它是由底层，吸收层构成，其中底层是高纯铝膜沉积在玻璃管外表面，其特征是所述的吸收层是铝——氮——碳及铝——碳——氮结构的薄膜。
2.根据权力要求1所述的吸收涂层，其特征是底层高纯铝膜的厚度大于0.15×10-3mm。
3.根据权力要求1所述的吸收涂层，其特征是吸收层即为铝——氮——碳及铝——碳——氮结构的膜厚度为0.02至0.5×10-3mm。
全文摘要
采用单个圆柱铝阴极溅射系统和三路进气混合控制系统制作真空太阳能选择性吸收涂层。其特征是:涂层中的吸收层是铝—氮—碳及铝—碳—氮膜结构,制作工艺参数简单,膜层致密,附着牢固,从复性好。
文档编号F24J2/50GK1190678SQ9710192
公开日1998年8月19日 申请日期1997年2月15日 优先权日1997年2月15日
发明者韩绍良 申请人:韩绍良