一种吹风装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于硅片加工装置技术领域，具体涉及一种吹风装置。
【背景技术】
[0002]硅棒在经过拉晶处理后，需要将硅棒粘棒胶固定粘附在树脂板上沿竖直方向切割成硅片后进行喷淋处理，以除去硅棒切割缝间的杂质，然后通过机械臂吊起送入酸槽利用乳酸进行酸洗。但是现有的喷淋处理后由于硅棒上部切割缝的水分之间的表面张力而形成一层水膜，这将延缓酸槽中的乳酸进入切割缝的速度，降低乳酸与粘棒胶中固化剂的软化速度，从而延缓了硅棒的脱胶速度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种吹风装置，解决了现有技术中喷淋后硅棒切割缝间由于存在水膜使得硅棒脱胶时间较长的缺点。
[0004]本实用新型所采用的技术方案是:一种吹风装置，包括进气管，进气管与硅棒切割缝所在平面相互垂直，进气管上设置有出气组件，出气组件的任一位置出气量大小一致并且共同形成一道线性气帘正对硅棒切割缝。
[0005]本实用新型的特点还在于，
[0006]进气管为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口，出气组件为沿进气管的轴向正对硅棒切割缝开设的一条出气管缝，出气管缝的宽度从进气管口端到末端线性加宽以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。
[0007]进气管为圆柱形、长方形或锥形，进气管管体上等距离设置有多个进气管口，出气组件为进气管管体正对硅棒切割缝的轴向上开设的一条出气管缝，所述出气管缝任一位置的宽度相同。
[0008]进气管为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口，出气组件为沿进气管的轴向正对硅棒切割缝等距离设置的多个出气孔，出气孔的孔径从进气管口端到末端线性增大以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。
[0009]进气管为圆柱形、长方形或锥形，进气管管体上等距离设置有多个进气管口，出气组件为进气管管体正对硅棒切割缝的轴向上设置的多个出气孔，所述出气孔的孔径相同。
[0010]出气孔的孔径为0.3mm-0.5mm。
[0011]出气孔的开口角度为60° -70°。
[0012]本实用新型的有益效果是:本实用新型的一种吹风装置解决了现有技术中喷淋后硅棒切割缝间由于存在水膜使得硅棒脱胶时间较长的缺点。本实用新型的一种吹风装置结构简单，在硅棒经过喷淋后利用出气组件形成正对硅棒切割缝并且出气量一致的气流，从而将硅棒切割缝间的水分吹干，去除硅棒切割缝间的水膜，以便在后续的酸化处理中加快乳酸进入切割缝的速度，从而达到增加乳酸与粘棒胶中固化剂的反应接触时间，最终达到缩短硅棒脱胶时间、提高生产效率的目的。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的一种吹风装置的第一种结构示意图；
[0014]图2是本实用新型的一种吹风装置的第二种结构示意图；
[0015]图3是本实用新型的一种吹风装置的第三种结构示意图。
[0016]图中，1.进气管，2.出气组件，3.进气管口。
【具体实施方式】
[0017]下面结合【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0018]本实用新型提供的一种吹风装置的结构如图1-图3所示，包括进气管1，进气管I与硅棒切割缝所在平面相互垂直，事例性的，进气管I的形状可以为圆柱形、长方体或锥形。进气管I上设置有出气组件2，如果出气组件2不同位置的出气量不同，则会造成部分硅棒切割缝粘连无法去除之间形成的水膜，因此必须保证正对硅棒切割缝的出气组件2的任一位置出气量大小一致并且共同形成一道线性气帘。
[0019]事例性的，进气管I的形状可以为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口 3，出气组件2为沿进气管I的轴向正对硅棒切割缝开设的一条出气管缝，由于靠近进气管口位置的风速快，因此将出气管缝的宽度从进气管口 3端到进气管I的末端线性加宽，以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。
[0020]进一步的，当进气管I为圆柱形、长方形或锥形时，进气管I管体上可以等距离地设置有多个进气管口 3，出气组件2仍然为进气管I管体正对硅棒切割缝的轴向上开设的一条出气管缝，由于多个进气管口 3等距离设置，使得任一位置的风速相同，因此出气管缝任一位置的宽度相同即可保证该位置出气管缝的出气量大小一致。
[0021]事例性的，进气管I可以为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口 3，出气组件2为沿进气管I的轴向正对硅棒切割缝等距离设置的多个出气孔，由于靠近进气管口 3位置的风速快，导致靠近进气管口 3的出气孔出气量大于远离进气管口的出气孔的出气量，因此出气孔的孔径从进气管口端到末端线性增大以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。
[0022]进一步的，进气管I为圆柱形、长方形或锥形时，进气管I管体上等距离设置有多个进气管口 3，出气组件2为进气管I管体正对硅棒切割缝的轴向上设置的多个出气孔，由于多个进气管口等距离设置，任一位置的风速相同，因此每个孔径相同的出气孔出气量保持一致。
[0023]出气孔的孔径为0.3mm-0.5mm。
[0024]出气孔的开口角度为60° -70°。
[0025]综上所述可以看出，本实用新型的一种吹风装置的进气管I形状可以为圆柱形、长方形或锥形等任意形状，其上所设置的进气管口 3可以在进气管I的一端设置、也可在进气管I上等距离设置，同时进气组件2可以是宽度相同或线性加宽的出气管缝、也可以是多个孔径相同或线性增大的出气孔，只要保证出气管I上的任一位置的出气量大小一致即可。
[0026]使用时，本实用新型的一种吹风装置可以双排堆成设置于喷淋槽两端的喷管上或直接设置于机械臂的两端，在结束喷淋后对硅棒切割缝进行吹干操作；也可以单排设置于上述位置，在出气量一致的基础上，并且由于单排设置的吹风装置气流方向单一，因此其吹干的效果反而优于双排设置的吹风装置。由于本实用新型的一种吹风装置将喷淋后树脂板上硅棒切割缝之间的水封吹干，使切割缝形成空穴，当硅棒进入酸槽后，加快了乳酸进入切割缝的速度，从而增加了乳酸与粘棒胶中固化剂的软化时间，最终达到缩短脱胶时间、提高生产效率的目的，经过实验验证，经过本实用新型的一种吹风装置处理过硅棒切割缝间的水分后，硅棒的脱胶时间从原来的1600s缩短至900s，使得脱胶产能提升了 14.29%。
【主权项】
1.一种吹风装置，其特征在于，包括进气管(I)，所述进气管(I)与硅棒切割缝所在平面相互垂直，所述进气管(I)上设置有出气组件(2)，所述出气组件(2)的任一位置出气量大小一致并且共同形成一道线性气帘正对硅棒切割缝。2.如权利要求1所述的一种吹风装置，其特征在于，所述进气管(I)为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口(3)，出气组件(2)为沿进气管(I)的轴向正对硅棒切割缝开设的一条出气管缝，出气管缝的宽度从进气管口端到末端线性加宽以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。3.如权利要求1所述的一种吹风装置，其特征在于，所述进气管(I)为圆柱形、长方形或锥形，所述进气管(I)的管体上等距离设置有多个进气管口(3)，出气组件(2)为进气管(I)管体正对硅棒切割缝的轴向上开设的一条出气管缝，所述出气管缝任一位置的宽度相同。4.如权利要求1所述的一种吹风装置，其特征在于，所述进气管(I)为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口(3)，出气组件(2)为沿进气管(I)的轴向正对硅棒切割缝等距离设置的多个出气孔，出气孔的孔径从进气管口端到末端线性增大以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。5.如权利要求1所述的一种吹风装置，其特征在于，所述进气管(I)为圆柱形、长方形或锥形，所述进气管(I)的管体上等距离设置有多个进气管口(3)，出气组件(2)为进气管(I)管体正对硅棒切割缝的轴向上设置的多个出气孔，所述出气孔的孔径相同。6.如权利要求4或5所述的一种吹风装置，其特征在于，所述出气孔的孔径为0.3mm-0.5mm07.如权利要求6所述的一种吹风装置，其特征在于，所述出气孔的开口角度为60。-70。。
【专利摘要】本实用新型公开的一种吹风装置，包括进气管，进气管与硅棒切割缝所在平面相互垂直，进气管上设置有出气组件，出气组件的任一位置出气量大小一致并且共同形成一道线性气帘正对硅棒切割缝。本实用新型的一种吹风装置解决了现有技术中喷淋后硅棒切割缝间由于存在水膜使得硅棒脱胶时间较长的缺点。本实用新型的一种吹风装置结构简单，在硅棒经过喷淋后利用出气组件形成正对硅棒切割缝并且出气量一致的气流，从而将硅棒切割缝间的水分吹干，去除硅棒切割缝间的水膜，以便在后续的酸化处理中加快乳酸进入切割缝的速度，从而达到增加乳酸与粘棒胶中固化剂的反应接触时间，最终达到缩短硅棒脱胶时间、提高生产效率的目的。
【IPC分类】F26B21/00
【公开号】CN204648888
【申请号】CN201520133195
【发明人】张涛, 赵晨光, 田涛
【申请人】西安隆基硅材料股份有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年3月9日