技术总结
本发明公开了一种由氖氦混合气生产纯氖的装置及其方法，该装置包括冷箱、氦气压缩机、氦膨胀机、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器，其中冷箱中设置有第一气液分离器、第二气液分离器、第一氮吸附器、第二氮吸附器、第一板翅式换热器、第二板翅式换热器、电加热器、第三气液分离器、精馏塔、氦膨胀机和真空液氮换热器；氦气压缩机、氦膨胀机制动端、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器均设置在冷箱的外部。该装置的冷量分别由真空下的液氮和氦气膨胀机提供，避免了超高压气体进入冷箱，整个流程的压力维持在32公斤以下，换热器简化为高效的板翅换热器，不再需要液氮容器的相互切换，从而节省了大量液氮和占地面积，整个流程更加简洁。
技术研发人员：李琦
受保护的技术使用者：李琦
文档号码：201610528105
技术研发日：2016.07.04
技术公布日：2016.11.16