用于化学品输送系统的降温装置的制作方法

文档序号:15589692发布日期:2018-10-02 18:48阅读:325来源:国知局

本实用新型为涉及一种用在化学品输送系统的降温装置,尤指一种利用冷气体降低化学品在输送系统中的温度的降温装置。



背景技术:

在半导体制造、化工、制药或工程等产业中,往往需要通过复杂的管路来运送气体或液体的化学品,以满足制程上的需求。

如中国台湾新型专利公告第M499512号的流体输送装置,其包含一第一分流件、一第二分流件以及多个隔离阀,该第一分流件具有相连通的一第一入口与多个第一出口,该第二分流件具有相连通的多个第二入口与一第二出口,且该第二分流件与该第一分流件位在同一参考轴在线,该些隔离阀以该参考轴线为中心分布在该参考轴线的外围,各该隔离阀具有一第一端口、一第二端口与一第三端口,该第一端口连通该第一分流件的一该第一出口,该第二端口连通该第二分流件的一该第二入口,各该隔离阀受操控而使该第一端口与该第三端口连通或使该第二端口与该第三端口连通。

然而,化学品在输送的过程中,难免会产生热而影响到化学品的特性,遂有人在输送管上再设置一组降温设施,用以传输液体来进行降温,但是,当时间一久、或者冷却液体中包括较为尖锐或巨大的杂质的时候,水中的杂质会刮伤输送管,进而污染到输送管中所传输的化学品,因此,如何防止输送管的破损,实为一重要的课题。



技术实现要素:

本实用新型的目的之一,在于解决冷却液体的杂质刮伤输送管,而导致所输送的化学品被污染的问题。

本实用新型的另一目的,在于提供一种能简单降低输送管内的化学品的温度的装置。

为达上述目的,本实用新型提供一种用于化学品输送系统的降温装置,包含有一输送管、一帮浦以及一冷却系统,该输送管包含有一内管、一设置在该内管外侧并包围该内管的外管以及一介在该内管与该外管之间的气体传输管路,该帮浦与该输送管连通并输送一化学品至该内管,该冷却系统与该输送管连通并传递一空气至该气体传输管路,该冷却系统包括一将一气体导入该冷却系统的第一输送管路、一将导入的该气体进行压缩而成为一压缩气体的气体加压模块、一供该压缩气体通过而使该压缩气体温度降低且形成一冷气体的旋转管路以及一将该冷气体输送至该输送管的第二输送管路,其中,该内管具有一靠近该化学品的内壁以及一靠近该气体传输管路的外壁,该化学品在该内管流动的过程中,该内壁产生一不低于该外壁的热涨冷缩程度。

上述的用于化学品输送系统的降温装置,其中,还包含有一连接在该冷却系统与该气体传输管路的调压阀。

上述的用于化学品输送系统的降温装置,其中,还包含有一连接在该调压阀与该气体传输管路的流量器。

上述的用于化学品输送系统的降温装置,其中,还包含有一连接在该冷却系统与该气体传输管路的流量器。

上述的用于化学品输送系统的降温装置,其中,还包含有一设置在该输送管以控制该化学品进入该内管的调整阀。

上述的用于化学品输送系统的降温装置,其中,该帮浦与该内管连通以将该化学品运送至该内管。

综上所述,本实用新型通过该冷却系统提供该冷气体,来降低化学品输送时所产生的热能,以达到降温的目的,由于采用该冷气体取代现有所使用的液体进行降温,可以防止液体中的杂质刮伤该内管,避免化学品被污染。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的平面结构示意图。

图2为本实用新型输送管的局部剖面示意图。

图3为本实用新型第二实施例的平面结构示意图。

图4为本实用新型旋转管路的示意图。

具体实施方式

涉及本实用新型的详细说明及技术内容,现就配合图式说明如下:

请搭配参阅图1及图2所示,本实用新型为一种用于化学品输送系统的降温装置,包含有一输送管10、一帮浦20以及一冷却系统30,该输送管10包含有一内管11、一外管12以及一气体传输管路13,该外管12设置在该内管11外侧并包围该内管11,该气体传输管路13介在该内管11与该外管12之间,该帮浦20与该输送管10连通并输送一化学品至该内管11,进一步说明,在本实用新型中,该帮浦20与该内管11连通以输送该化学品至该内管11,而该冷却系统30与该输送管10连通。

该冷却系统30包含有一第一输送管路31、一气体加压模块32、一供该压缩气体通过而使该压缩气体温度降低的旋转管路33以及一第二输送管路34,该第一输送管路31将一气体导入,再通过该气体加压模块32将导入的该气体进行压缩而成为一压缩气体。在本实用新型的一实施例中,该旋转管路33为一涡流管,当该压缩气体以高速通过时,将基于涡动理论而被冷却,且除了产生一冷气体之外,将同时产生一热气体。而在本实施例中,该气体为一空气,但不以此为限。利用冷气体来取代现有所使用的液体进行降温,可以防止液体中的杂质刮伤该内管11,避免该化学品被污染。上述的涡动理论,请参考图4,指将该压缩空气以音速由该压缩气体入口331注入该涡流管中,此时该压缩空气将在一涡流产生室330中,以每分钟至少一百万转的旋转转速产生涡流。此时,部份气流将被迫向内旋转,通过管中央的气孔,流向管中有一气阀332调控的较长部份(如实线指示)。而该气阀332则会将流向该气阀332的涡流,反转向其自身内部旋转(如虚线指示)。在内部流动的涡流(如虚线指示)就会将本身的热量,向在外部流动的涡流(如实线指示)释放,并通过有该气阀332的较长端,将热气体333散发出去。而释放热量后变冷的冷气体334,则会被引导至另一端散发出来。

请续参考图2并搭配图4。在其中,该内管11具有一靠近该化学品的内壁111以及一靠近该气体传输管路13的外壁112。由于该化学品在该内管11流动的过程中,该化学品的温度高于在该气体传输管路13流动的冷气体的温度,故在该内壁111将会产生一不低于该外壁112的热涨冷缩程度。在此处,不低于的意思包括大于或等于,举例来说,该化学品在该内管11流动的过程中,该内壁111因为该化学品温度升高的缘故,较未有流体流动的情况时产生了0.5%的膨胀度,热涨冷缩程度记为+0.5%;在此同时,该外壁112因为与该冷气体334接触的缘故,较未与该冷气体334接触的情况产生0.5%的收缩度,其热涨冷缩程度记为-0.5%,故该内壁111的热涨冷缩程度大于该外壁112的热涨冷缩程度。

在此实施例中,还包含有一调整阀50,其设置在该输送管10,并用以控制该化学品进入该内管11,即该调整阀50可以控制该内管11的启闭,且该调整阀50可以具有多个,通过该些调整阀50的控制,可以调整该化学品的流向。

续搭配参阅图3所示,为本实用新型的第二实施例,其还包含有一连接在该冷却系统30与该气体传输管路13的调压阀40,该调压阀40用以控制该冷却系统30所传输进入该气体传输管路13中的该冷气体的压力,此外,还可包含有一连接在该冷却系统30与该气体传输管路13的流量器60,其用以调整进入该气体传输管路13的空气流量,以增进降温的效能。而在本实施例中,该调压阀40连接在该冷却系统30与该流量器60,而该流量器60连接在该调压阀40与该气体传输管路13。

续搭配参阅图3及图4,本实用新型的操作步骤为先通过该入口管道70提供该气体至该冷却系统30,该冷却系统30压缩该气体后形成一压缩气体,该压缩气体经由一压缩气体入口331进入并高速通过该涡流产生室330后降温成为一冷气体334,再将该冷气体334传输至该调压阀40,并通过该调压阀40调整该冷气体的压力,而后,该冷气体传输至该流量器60中调整进入该气体传输管路13的气体流量,最后,该冷气体进入该气体传输管路13,与此同时,该帮浦20会输送该化学品至该内管11,该冷气体可以降低该化学品在输送时所产生的热,以确保该化学品的特性。

综上所述,本实用新型具有以下特点:

一、空气经由该冷却系统的加压,可降低该气体的温度,以降低该化学品输送时所产生的热能,确保该化学品的特性不受温度变化的影响。

二、本实用新型利用冷气体来取代现有所使用的液体进行降温,可以防止液体中的杂质刮伤该内管,避免该化学品被污染。

三、通过该调整阀的设置,可以调整该化学品的流向,以达到多方输送的目的。

四、通过该调压阀的设置,可调整该气体的压力。

五、通过该流量器的设置,可调整进入该气体传输管路的气体流量,以达调整温度的效能。

以上已将本实用新型做一详细说明,惟以上所述者,仅为本实用新型的一较佳实施例而已,当不能限定本实用新型实施的范围。即凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与修饰等,皆应仍属本实用新型所附权利要求的保护范围内。

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