一种碳化硅加工用清洗装置的制作方法

文档序号:13990268阅读:来源:国知局
一种碳化硅加工用清洗装置的制作方法

技术特征:

1.一种碳化硅加工用清洗装置,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)上连接有清洗槽(2),所述清洗槽(2)中间位置连接有挡板(3),所述挡板(3)上均匀布有通孔(4),所述挡板(3)下端连接有支杆(5),所述支杆(5)下端通过螺栓固定连接有夹板(6),所述夹板(6)上端固定连接有过滤棉层(7),所述清洗槽(2)下端连接有超声波发生装置(8),所述清洗槽(2)一端连接有水槽(9),所述水槽(9)下端连接有阀门(10),所述阀门(10)一端通过出水管(11)连通于清洗槽(2),所述清洗槽(2)下端连接有排水阀(12),所述水槽(9)一侧铰接有盖板(13),所述机架(1)上端连接有抽风装置(14),所述抽风装置(14)位于水槽(9)上端。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用清洗装置,其特征在于:所述超声波发生装置(8)包括超声波换能器(15)、超声波发生器(16)和开关(17),所述超声波换能器(15)固定连接于清洗槽(2)底部,所述超声波发生器(16)固定连接于机架(1);所述开关(17)位于超声波发生器(16)上端,所述超声波发生器(16)电性连接于开关(17),所述超声波换能器(15)电性连接于超声波发生器(16)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用清洗装置,其特征在于:所述抽风装置(14)包括风机(18)、保护罩(19)和支撑杆(20),所述支撑杆(20)固定连接于机架(1),所述支撑杆(20)贯穿连接于保护罩(19),所述保护罩(19)滑动连接于支撑杆(20),所述风机(18)固定连接于保护罩(19),所述风机(18)位于保护罩(19)上端。

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