本实用新型涉及清洗装置技术领域，尤其涉及一种基板清洗装置。
背景技术：
基板的清洗步骤经常连接于镀膜、光刻及蚀刻等步骤的前、中、后等时机，用以维持基板在生产过程中的表面洁净度。
基板表面的清洗方式包括化学性及物理性的清洗方式。利用转动中的毛刷轮表面的刷毛来刷洗基板表面以达到清洗目的，属于物理性的清洗方式。毛刷刷洗通常应用于刚拆封后基板的清洗，并广泛地应用于目前的湿式清洗设备。由于基板的尺寸的不断增加，因此，大尺寸基板的清洗步骤大多采用毛刷刷洗的方法。
图1是现有技术中基板清洗装置的整体示意图。如图1所示，电机1'设置于机壳6'外部，从动轴2'设置于机壳6'内部且从动轴2'的端部伸出机壳6'后通过联轴器10'与电机1'连接，位于机壳6'内部的从动轴2'的两端设置有用于支撑从动轴2'的轴承座9'，毛刷3'套设于从动轴2'上并通过从动轴2'带动旋转，毛刷3'位于基板4'底部并与基板4'抵接，基板4'的上方设置有喷嘴5'，喷嘴5'喷出水雾或药液至基板4'，通过毛刷3'与喷嘴5'的配合，将基板4'表面的脏污、微尘清除并顺着水流排出。其从动轴2'伸出机壳6'来连接联轴器10'，导致联轴器10'位置处的机壳6'开设的孔洞无法完全密封，而机壳6'内部的毛刷3'的工作环境水雾弥漫，水雾或者液滴会从机壳6'的孔洞处流出，造成联轴器10'与电机1'生锈，甚至损坏；同时，外部的微尘或杂质从外部进入到机壳6'内部，对机壳6'内部的清洗造成二次污染。
技术实现要素：
针对上述问题，本实用新型提出一种基板清洗装置，避免机壳在连接处开设孔洞，解决了现有技术中水雾或者液滴从机壳内流出的技术问题，保证电机所处环境干燥，提高电机的可靠性，同时解决了外部的微尘或杂质进入机壳的问题，避免了污染基板的清洗环境。
本实用新型采用以下技术方案：
一种基板清洗装置，包括机壳及设置于机壳外的电机和设置于机壳内的用于清洗基板的清洗机构，电机的主动轴与从动轴之间设置有连接装置，连接装置包括第一连接件和第二连接件，第一连接件与电机的主动轴固定并置于机壳外，第二连接件与从动轴固定并置于机壳内，第一连接件与第二连接件之间非接触传动。
作为本实用新型的一种优选方案，连接装置为磁性连轴装置，第一连接件和第二连接件通过磁力传递力矩。
作为本实用新型的一种优选方案，第一连接件和第二连接件同轴设置。
作为本实用新型的一种优选方案，其特征在于，第一连接件和第二连接件结构相同，第一连接件沿周向均匀间隔分布N级磁性材料和S级磁性材料。
作为本实用新型的一种优选方案，N级磁性材料和S级磁性材料通过粘性材料粘接。
作为本实用新型的一种优选方案，机壳为非铁素体材料。
作为本实用新型的一种优选方案，机壳为透明材质，机壳内侧或外侧设置有传感器，传感器通过固定架与机壳固定，传感器用于检测第二连接件的转速。
作为本实用新型的一种优选方案，传感器为光电传感器。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型的基板清洗装置，通过设置连接装置，第一连接件和第二连接件实现非接触传动，从而从动轴无需穿过机壳，机壳不需要开设用于从动轴穿过的孔洞，解决了现有技术中因为机壳的不完全密封导致的机壳内的水雾或者液滴流出造成电机生锈，以及机壳外的微尘或杂质进入机壳造成基板的二次污染问题，保护了电机的正常运行，同时又能保持装置的正常运行，结构紧凑，系统的可靠性大大提高。
附图说明
图1是现有技术中基板清洗装置的整体示意图；
图2是本实用新型提供的一种基板清洗装置的结构示意图；
图3是本实用新型提供的一种基板清洗装置中连接装置的结构示意图。
图中：1、电机；11、主动轴；2、从动轴；3、毛刷；4、基板；5、喷嘴；6、机壳；61、固定架7、连接装置；71、第一连接件；711、N级磁性材料；712、S级磁性材料；72、第二连接件；8、传感器；9、轴承座；
1'、电机；2'、从动轴；3'、毛刷；4'、基板；5'、喷嘴；6'、机壳；9'、轴承座；10'、联轴器。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
图2是本实用新型提供的一种基板清洗装置的结构示意图。如图2所示，本实用新型提供的一种基板清洗装置，包括电机1、从动轴2、毛刷3、基板4、喷嘴5、机壳6、连接装置7、传感器8和轴承座9。
其中，从动轴2、毛刷3、基板4、喷嘴5、轴承座9置于机壳6内，属于系统的清洗机构。电机1和传感器8置于机壳6外，属于系统的驱动机构。电机1的主动轴11与从动轴2之间设置有连接装置7，连接装置7能够将电机1的动力传递给从动轴2以驱动从动轴2转动。
连接装置7为磁性连轴装置，其结构示意图如图3所示，主要由第一连接件71和第二连接件72组成，第一连接件71和第二连接件72结构相同。第一连接件71与电机1的主动轴11固定并置于机壳6外，第二连接件72与从动轴2固定并置于机壳6内，通过连接装置7实现了清洗机构和驱动机构的连接。
第一连接件71和第二连接件72可以采用直交方式设置，可以采用平行方式设置，在本实用新型中优选采用同轴方式设置，以优化整个装置的占地空间。以第一连接件71为例，第一连接件71沿周向均匀间隔分布N级磁性材料711和S级磁性材料712，N级磁性材料711和S级磁性材料712通过粘性材料粘接，第一连接件71和第二连接件72通过磁力实现力矩的非接触传动。因此，电机1提供的驱动力带动第一连接件71旋转，第二连接件72通过磁力实现力矩的非接触传动，将力矩传递给第二连接件72，进而驱动从动轴2的旋转。连接装置7既实现了非接触传动的力矩传递，从而从动轴2无需穿过机壳6，机壳6不需要开设用于从动轴2穿过的孔洞，保证了机壳6的完全密封，同时又能保持装置的正常运行，结构紧凑。
机壳6为非铁素体材料，机壳6可以是金属材质，也可以是非金属材质，只要不影响第一连接件71和第二连接件72之间的磁力传动，均在本实用新型的保护范围内。
然而，由于机壳6完全密封后，当机壳6内部出现卡滞等状况时，从动轴2转速降低或者不旋转，从机壳6的外部无法观测，若电机1继续转动，会造成系统的安全故障，因此，在本实施例中，机壳6优选为透明材质，机壳6内侧或外侧设置有传感器8，传感器8通过固定架61与机壳6固定，传感器8用于检测第二连接件72的转速。传感器8通常采用光电传感器。当传感器8设置在机壳6的外侧时，传感器8能够穿过透明材质的机壳6，检测第二连接件72的转速；当传感器8设置在机壳6的内侧时，传感器8需要进行防水处理。
通过设置传感器8对第二连接件72的转速进行检测，并与电机1的转速进行对比，当两者出现异常时，由控制系统控制电机1停止并进行维修，从而保证了整个系统的安全性。
在机壳6的内部，从动轴2与电机1同轴设置，从动轴2轴向两端分别设置有轴承座9，轴承座9用以对从动轴2进行支撑。毛刷3为桶状结构，毛刷3外周设置有刷毛，毛刷3套设在从动轴2上，毛刷3设置于基板4的底部，毛刷3轴向长度大于基板4的长度，能够提高毛刷3清洗基板4的适用范围。
喷嘴5设置在基板4两侧，沿基板4的长度方向均匀设置有多个，喷嘴5喷淋清洗液或药液，与毛刷3配合对基板4进行清洗。
实际工作时，启动电机1，由电机1提供驱动力，主动轴11带动第一连接件71旋转，第二连接件72通过磁力实现力矩的非接触传动，将电机1的驱动力传递给从动轴2，从动轴2带动毛刷3旋转，基板4从毛刷3表面通过，从而对基板4进行清洗；在清洗过程中，喷嘴5喷淋清洗液，清洗液辅助毛刷3实现对基板4的进一步清洗；清洗后基板4表面的脏污、微尘顺着水流排出。由于第一连接件71和第二连接件72实现非接触传动，从而从动轴2无需穿过机壳6，机壳6不需要开设用于从动轴2穿过的孔洞，解决了现有技术中因为机壳2的不完全密封导致的机壳2内的水雾或者液滴流出造成电机1生锈，甚至损坏，机壳6外的微尘或杂质无法进入机壳6造成基板4的二次污染，保护了电机1的正常运行，同时又能保持装置的正常运行，结构紧凑，系统的可靠性大大提高。
注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。