板玻璃清洗装置的制作方法

本发明涉及板玻璃清洗装置的技术。

背景技术：

通常，在制造液晶显示器、有机el显示器等平板显示器(fpd)用的玻璃基板时，在制造过程中进行用于将玻璃基板的玻璃面(具体而言，玻璃面中的形成电子功能元件等的有效面)上附着的微小的玻璃片、尘芥等异物去除的清洗处理。由此，实现玻璃基板的玻璃面的清洁化，在后续工序等中，在玻璃基板的玻璃面上能够高精度地形成电子功能元件等。

例如，专利文献1公开了用于对晶圆(例如，玻璃基板)的表面及背面进行清洗的基板处理装置。

专利文献1公开的基板处理装置具备将多个晶圆浸渍在纯液中的液中装载机、背面清洗装置、表面清洗装置以及传送装置。背面清洗装置具有在旋转轴的上端固定的圆形刷，向从液中装载机取出的晶圆供给处理液，由此使圆形刷与晶圆的背面抵接并旋转，从下方对晶圆的背面进行刷清洗。表面清洗装置向背面清洗装置进行的清洗后的晶圆供给化学处理用的药液，由此从上方对晶圆的表面进行刷清洗。

另外，以往，使用了具有多个上述圆形刷那样的清洗构件，一边使该清洗构件旋转一边向板玻璃的玻璃面压紧，将板玻璃的玻璃面上附着的异物去除的板玻璃清洗装置。在这样的板玻璃清洗装置中，为了使多个清洗构件旋转而在清洗构件的各旋转轴设置齿轮(例如，正齿轮)，使邻接的齿轮彼此啮合，通过驱动机构使其中的一个驱动用的齿轮旋转，由此使多个齿轮同时旋转而能够使多个清洗构件旋转。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-74133号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在使上述的板玻璃清洗装置具有的多个齿轮啮合的机构中，在邻接的齿轮彼此由相同的材质构成的情况下，摩擦阻力增大，因此因齿轮彼此的磨损而产生灰尘，成为将板玻璃的玻璃面污染的原因。因此，在这样的板玻璃清洗装置中，希望抑制因齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生的结构。

本发明鉴于以上所示的现状的问题点而作出，课题在于提供一种实现齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生的抑制的板玻璃清洗装置。

用于解决课题的方案

本发明要解决的课题如以上那样，接下来说明用于解决该课题的方案。

即，本发明的板玻璃清洗装置对板玻璃的玻璃面进行清洗，其特征在于，具备：多个清洗构件；旋转轴，其分别支承所述多个清洗构件；齿轮，其设置于所述旋转轴；及旋转驱动机构，其驱动所述旋转轴的至少一个，其中，所述齿轮在邻接的齿轮彼此之间相互啮合且材质不同。

根据这样的板玻璃清洗装置，通过在邻接的齿轮彼此之间使材质不同，与齿轮由同一材质构成的情况相比摩擦阻力减小，能够抑制因齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生。

另外，在本发明的板玻璃清洗装置中，优选的是，所述邻接的齿轮彼此中的一方的齿轮为金属制，另一方的齿轮为树脂制。

根据这样的板玻璃清洗装置，在使金属制的齿轮彼此啮合而构成时产生的金属粉难以产生。

由此，能够防止金属粉对板玻璃的玻璃面的污染。

此外，由于使用金属制的齿轮，因此与使树脂制的齿轮彼此啮合而构成的情况相比，齿轮的耐久性提高，能抑制齿轮的更换频度，装置的检修不会花费劳力和时间。

另外，在本发明的板玻璃清洗装置中，优选的是，所述金属制的齿轮与所述树脂制的齿轮交替啮合地配置有多个。

根据这样的板玻璃清洗装置，通过旋转驱动机构来驱动多个齿轮中的至少一个，由此能够驱动多个齿轮，因此不需要多个旋转驱动机构，检修变得容易。

发明效果

根据本发明，在邻接的齿轮彼此之间使材质不同，由此与齿轮通过同一材质构成的情况相比，摩擦阻力减小，能够抑制齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生。

附图说明

图1是在本发明的一实施方式的板玻璃清洗装置中，表示清洗构件附近的结构的概念立体图。

图2是板玻璃清洗装置的清洗构件的从上方观察的俯视图。

图3是图2的a-a线的向视剖视图。

具体实施方式

接下来，关于本发明的一实施方式的板玻璃清洗装置10，使用图1至图3进行说明。

需要说明的是，关于以下的说明，为了简便起见，将图1、图3所示的上下方向分别规定为板玻璃清洗装置10的上下方向来记述。

另外，在图1、图2中，将箭头f的方向规定为板玻璃g的传送方向来记述。

另外，在图1、图2中，将与传送方向正交的方向规定为宽度方向来记述。

如图1所示，本实施方式的板玻璃清洗装置10(以下，简称为清洗装置10)是通过作为旋转驱动机构的电动机m驱动清洗构件11旋转而对板玻璃g的玻璃面的两面(表面及背面)进行清洗的装置。

清洗装置10是例如配置在板玻璃g的制造装置中的传送装置的传送路径上，用于清洗由传送装置从上游侧朝向下游侧(在图2中，从图中左侧向右侧)以水平状态传送的矩形的板玻璃g的玻璃面的两面(表面及背面)的装置。

需要说明的是，在清洗装置10的上游侧设有对于板玻璃g实施切断加工或端面加工等各种加工的加工装置等(未图示)。

清洗装置10是执行清洗处理的装置，该清洗处理用于去除由于经过设置于上游侧的各种加工工序而板玻璃g的玻璃面的表面及背面附着的微小的玻璃粉、尘芥等异物。清洗装置10在板玻璃g的玻璃面的表面侧及背面侧分别具有多个清洗构件11、11……。

需要说明的是，例如在本实施方式中，清洗装置10为了对板玻璃g的玻璃面的表面侧及背面侧(在本实施方式中，为上表面侧及下表面侧)进行清洗而隔着板玻璃g上下相对配置有多个清洗构件11、11……。

另外，在本实施方式的清洗装置10中，虽然构成作为对板玻璃g的玻璃面的两面进行清洗的装置，但是没有特别限定，也可以构成作为仅对板玻璃g的玻璃面的一方的面(例如，玻璃面的形成电子功能元件等的有效面)进行清洗的装置。

另外，在图1及图2中，在清洗装置10中，省略在板玻璃g的上表面侧配置的多个清洗构件11、11的图示，仅图示在板玻璃g的下侧面配置的多个清洗构件11、11......。

清洗装置10具备多个清洗构件11、11......、对多个清洗构件11、11......分别进行支承的旋转轴12、12......、分别设置于旋转轴12、12......的齿轮(正齿轮)13、13......、以及对旋转轴12、12......进行驱动的作为旋转驱动机构的电动机m。在图1中，电动机m使旋转轴12直接旋转，但也可以是在电动机m的未图示的旋转轴上设置未图示的齿轮，通过使电动机m的齿轮与在清洗构件11的旋转轴12设置的齿轮13啮合而电动机m使齿轮13旋转的方式。

清洗构件11是盘形状的构件，主要具备相对于板玻璃g的玻璃面而相对配置的清洗垫14、保持清洗垫14的清洗头15。

另外，清洗构件11在俯视观察下沿着与传送方向正交的方向排列配置。

清洗垫14可以使用硬质树脂、软质树脂等弹性体，例如通过毡状的纤维成形体、海绵状的发泡树脂成形体、或者海绵状的发泡橡胶成形体等而形成为圆形形状。在本实施方式中，清洗垫14的材质为聚乙烯醇(pva)。

在清洗垫14的与板玻璃g对置的对置面(接触面)沿圆周方向设有多个(在本实施方式中为6个)沿径向呈放射状地形成的凹槽14a。

另外，在清洗垫14形成有用于向其中心部及中心部附近供给清洗液的圆形形状的多个(在本实施方式中为3个)供给口14b。

并且，供给口14b与清洗头15具有的未图示的清洗液供给孔连通，在清洗处理的执行中，经由供给口14b被供给清洗液。

需要说明的是，清洗头15通过例如铝合金或不锈钢等金属材料形成为圆盘状。

旋转轴12是在前端固定有清洗构件11的清洗头15的轴构件。

如图3所示，多个旋转轴12、12......以相互的旋转轴12的轴向成为平行的方式旋转自如地支承于旋转轴支承部16。

需要说明的是，在图3中，省略对板玻璃g的上表面侧的旋转轴12、12进行支承的旋转轴支承部16及旋转轴12、12上分别设置的齿轮13、13的图示。

在此，旋转轴支承部16通过未图示的上下位置驱动机构而在使多个清洗垫14与板玻璃g的一方的面抵接的前进位置(抵接位置)与使清洗垫14从板玻璃g分离的后退位置(分离位置)之间能够往复移动，且能够旋转。

在多个旋转轴12、12......中的一个旋转轴连结有电动机m，通过驱动该电动机m旋转而能够驱动旋转轴12旋转。

如图1所示，多个旋转轴12、12......由与电动机m连结的作为旋转轴的驱动轴12a和与电动机m未连结的作为旋转轴的从动轴12b、12b......构成。

齿轮13是邻接的齿轮彼此相互啮合且材质不同的结构。

另外，齿轮13是在旋转轴12的轴向中途部设置的正齿轮。

具体而言，齿轮13由金属制的齿轮13a和合成树脂制的齿轮13b构成，相互啮合并交替地配置成直列状。

即，多个齿轮13、13......构成呈直列状地啮合的齿轮列，相对于板玻璃g的传送方向而正交配置。

金属制的齿轮13a优选使用难以生锈的金属，优选使用不锈钢。

合成树脂制的齿轮13b优选为硬质树脂，可以使用例如聚醚醚酮树脂(peek树脂)或mc尼龙树脂等。

需要说明的是，在本实施方式中，使用正齿轮作为齿轮13，但是没有特别限定。

例如，除了正齿轮以外，也可以使用斜齿轮构成。

在本实施方式的清洗装置10中，如图2所示，将沿着与板玻璃g的传送方向正交的正交方向呈直列状地配置有多个而构成的清洗构件11、11......的列沿着板玻璃g的传送方向(水平方向)以规定间隔配置有多个。

具体而言，在本实施方式的清洗装置10中，沿着板玻璃g的传送方向(水平方向)在上游侧和下游侧配置有2列。

清洗构件11、11......的配置形态以在板玻璃g的一方的面的清洗区域内避免产生未被清洗的部位的方式设定。

在本实施方式中，在板玻璃g的传送方向(水平方向)上相邻的各清洗构件11、11......以板玻璃g的宽度方向的位置相互不同(偏置)的方式配置。

即，在板玻璃g的传送方向上，在上游侧和下游侧相邻的清洗构件11、11......的各列中，使各清洗构件11的板玻璃g的宽度方向的位置相互不同。

由此，能够防止在板玻璃g的一方的面的清洗区域内残留有未被清洗的部位的情况。

需要说明的是，清洗构件11、11......的配置形态只要在板玻璃g的清洗面内避免产生未被清洗的部位即可，可以任意设定。

接下来，说明通过清洗装置10对板玻璃g的一方的面进行清洗的工序。

首先，当通过传送装置将板玻璃g以水平状态送入清洗装置10时，清洗装置10中的处于最上游侧的清洗构件11、11......的列通过电动机m的驱动而一边旋转一边向前进位置(抵接位置)移动，各清洗构件11的清洗垫14与板玻璃g的表面及背面(在本实施方式中，为上表面及下表面)分别抵接而开始清洗处理。

此时，通过电动机m进行旋转驱动，而相互啮合的多个齿轮13、13......(齿轮13a、13a......及齿轮13b、13b......)联动，被驱动而旋转。

接下来，在图1中，在基于清洗构件11的清洗处理的执行中，从设置于各清洗构件11的供给口14b向板玻璃g的上表面及下表面连续地供给、喷出清洗液。

即，以在清洗构件11(清洗垫14)与板玻璃g之间夹有规定量的清洗液的状态执行板玻璃g的上表面及下表面的清洗处理。

然后，伴随着板玻璃g向下游侧的逐渐传送，从各清洗垫14的供给口14b供给清洗液，并且清洗构件11、11......的下一列(在图2中为右侧的列)一边旋转一边依次从后退位置(分离位置)向前进位置(抵接位置)移动，执行板玻璃g的上表面及下表面的清洗处理。

在如以上所述构成的清洗装置10中，电动机m的旋转驱动力经由直列状的齿轮13、13......的列向与各个齿轮13、13......对应的多个旋转轴12、12......传递，由此驱动这些旋转轴12、12......旋转。

由此，在各旋转轴12的前端设置的清洗构件11旋转。

通过这样清洗装置10的动作而在啮合的齿轮间产生摩擦，但是如本实施方式那样使金属制的齿轮13a与合成树脂制的齿轮13b交替啮合而构成的情况下，与使金属制的齿轮彼此啮合而构成的情况相比，能减少摩擦阻力，因此齿的部分摩擦所产生的磨损减少，能抑制金属粉等的产生灰尘。

另外，在本实施方式的清洗装置10中，齿轮13是邻接的齿轮13、13彼此相互啮合且材质不同的结构。

通过这样构成，与全部的齿轮13、13......由同一材质构成的情况相比，摩擦阻力减小，能够抑制因齿轮彼此的磨损引起的灰尘产生。

另外，在本实施方式的清洗装置10中，邻接的齿轮13、13彼此中的一方的齿轮13为金属制的齿轮13a，另一方的齿轮13为合成树脂制的齿轮13b。

通常，在使金属制的齿轮13a、13a彼此啮合而构成的情况下，由于齿轮13a、13a彼此的磨损而存在产生灰尘(金属粉产生)的可能性，但是这样的话，在使金属制的齿轮彼此啮合而构成时产生的金属粉难以产生。

由此，能够防止金属粉对板玻璃g的玻璃面的污染。

此外，由于使用金属制的齿轮13a，因此与使合成树脂制的齿轮13b、13b彼此啮合而构成的情况相比，齿轮13的耐久性提高，能抑制各齿轮13的更换频度，装置的检修不会花费劳力和时间。

另外，在本实施方式的清洗装置10中，金属制的齿轮13a与合成树脂制的齿轮13b交替啮合地配置有多个。

由此，通过利用电动机m来驱动多个齿轮13、13......中的至少一个，能够驱动多个齿轮13、13......(齿轮13a、13a......及齿轮13b、13b......)，因此不需要多个旋转驱动机构，装置结构能够简化，检修变得容易。

工业实用性

本发明的板玻璃清洗装置例如在制造平板显示器用的玻璃基板时，可以为了清洗玻璃基板的玻璃面而利用。

附图标记说明：

10板玻璃清洗装置；

11清洗构件；

12旋转轴；

13齿轮；

13a金属制的齿轮；

13b树脂制的齿轮；

g板玻璃；

m电动机(旋转驱动机构)。