一种自动清洁prober腔体的方法及装置与流程

本发明涉及一种在半导体微电子测试领域中用于晶圆验收测试的探针台清洁技术，具体为一种自动清洁prober腔体的方法及装置。

背景技术：

集成电路的晶圆测试通常用探针台和检测器来搭建测试，探针台内有一密闭空腔，根据测试要求，控制并保持一定温度和湿度，保证晶圆测试的整个过程在这里稳定进行(具体结构如图1)。由于该过程裸晶测试以及探针卡测试的特殊性，会产生金属细屑残留在空腔空气中，落在针尖或晶圆垫上会对晶圆测试的精确性与稳定性造成影响。

当前晶圆测试量产的探针台腔体大概2到3个月做一次固定清洁保养，镜头用蘸有无水酒精的镜头纸轻轻擦拭，油漆件塑料件等表面污垢用蘸有软性清洁剂的纱布清理，用工业吸尘器吸附空腔空气中的尘屑，静电颗粒等污染物。该保养过程需要打开探针台腔体，并在停产状态下完成，耗时耗力，经济性较差，而且对空腔空气清洁度的提升也有限。

技术实现要素：

针对背景技术中存在的问题，本发明提供了一种自动清洁prober腔体的方法及装置。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种自动清洁prober腔体的方法，在探针台空腔中设置清洁装置，通过该清洁装置产生的负压将所述探针台空腔中的尘屑进行吸附清理。

作为本发明一种优选的技术方案，所述探针台空腔中固定有若干个所述清洁装置。

本发明还提供了一种自动清洁prober腔体的装置，该清洁装置包括喷嘴、静电发生部件、旋转气嘴以及真空发生器，所述静电发生部件、旋转气嘴以及真空发生器均设置于所述喷嘴中，所述喷嘴固定于所述探针台空腔的内壁，且该喷嘴连通的管道延伸至所述探针台空腔外部。

作为本发明一种优选的技术方案，所述喷嘴与所述探针台空腔内壁通过角度调节器连接。

作为本发明一种优选的技术方案，所述静电发生部件采用的是静电棒。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过在探针台空腔内加装清洁装置，清洁过程不需打开腔体，在机台空闲时即可触发并自动运行，减少了机时的浪费；另外该清洁装置可产生正负离子随压缩气流作用在腔体结构表面，中和静电，有效提升了清洁的效果。

附图说明

图1为为现有技术中晶圆测试设备整体结构示意图；

图2为本发明提供的一种清洁探针台腔体的装置结构示意图；

图3为本发明提供的一种清洁探针台腔体的装置安装结构示意图；

图中：1-清洁装置；101-喷嘴；102-静电发生部件；103-旋转气嘴；104-真空发生器；2-管道；3-角度调节器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供一种自动清洁prober腔体的方法，在探针台空腔中设置清洁装置1，通过该清洁装置1产生的负压将所述探针台空腔中的尘屑进行吸附清理。

在具体实施过程中，所述探针台空腔中固定有若干个所述清洁装置1。

如图2与图3所示，本发明还提供了一种自动清洁prober腔体的装置，该清洁装置1包括喷嘴101、静电发生部件102、旋转气嘴103以及真空发生器104，所述静电发生部件102、旋转气嘴103以及真空发生器104均设置于所述喷嘴101中，所述喷嘴101固定于所述探针台空腔的内壁，且该喷嘴101连通的管道2延伸至所述探针台空腔外部。

该装置在清理时，通过旋转气嘴103产生的脉冲气流把静电发生部件102放射的静电吹到探针台空腔内壁及内部装置表面，静电发生部件102采用的是静电棒，以此实现中和探针台空腔中空气杂质以及内壁表面所带的静电，旋转气嘴103利用洁净压缩空气从工件表面吹起所带有的颗粒，然后通过设置在空腔外部的控制开关(未图示)启动真空发生器104，通过真空发生器104产生的负压把带有颗粒的气体一起抽走，最终带有颗粒的气体会通过管道2排到探针台空腔外部。

在具体实施过程中，所述喷嘴101与所述探针台空腔内壁通过角度调节器3连接，通过角度调节器3可以对喷嘴101的喷射角度进行调节，防止出现喷射死角。

基于上述，本发明具有的优点在于：本发明通过在探针台空腔内加装清洁装置，清洁过程不需打开腔体，在机台空闲时即可触发并自动运行，减少了机时的浪费；另外该清洁装置可产生正负离子随压缩气流作用在腔体结构表面，中和静电，有效提升了清洁的效果。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种自动清洁prober腔体的方法及装置，该方法为在探针台空腔中设置清洁装置，通过该清洁装置产生的负压将所述探针台空腔中的尘屑进行吸附清理；该清洁装置包括喷嘴、静电发生部件、旋转气嘴以及真空发生器，所述静电发生部件、旋转气嘴以及真空发生器均设置于所述喷嘴中，所述喷嘴固定于所述探针台空腔的内壁，且该喷嘴连通的管道延伸至所述探针台空腔外部,所述喷嘴与所述探针台空腔内壁通过角度调节器连接。本发明通过在探针台空腔内加装清洁装置，清洁过程不需打开腔体，在机台空闲时即可触发并自动运行，减少了机时的浪费；另外该清洁装置可产生正负离子随压缩气流作用在腔体结构表面，中和静电，有效提升了清洁的效果。

技术研发人员：许文文;牛勇;熊忠应;凌俭波;蔡漪文;崔孝叶
受保护的技术使用者：上海华岭集成电路技术股份有限公司
技术研发日：2018.12.28
技术公布日：2019.04.16