技术总结
本发明属于半导体生产技术领域，尤其是一种半导体基板的吹尘夹具，针对现有的除尘装置不能对半导体基板进行全面有效除尘的问题，现提出以下方案，包括支撑底板，所述支撑底板一端的两侧外壁均通过螺栓连接有第一导风管，且两个第一导风管的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个竖直设置的第三导风管，所述第三导风管的顶部设置有第二导风管，且第二导风管的圆周顶部内壁通过螺栓连接有水平设置的支撑杆。本发明中，该半导体基板的吹扫夹具，通过设置有第三喷风管和橡胶套，当风流通过第三喷风管鼓入凹型支撑管的内部时，橡胶套会鼓气并给半导体基板一个压力，不仅有利于半导体基板的固定，另外还避免了半导体基板受到磨损。
技术研发人员：占金坤
受保护的技术使用者：湖北贵昌机械设备科技有限公司
技术研发日：2019.11.30
技术公布日：2020.02.28