清洗设备的制作方法

[0001]
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其是涉及一种清洗设备。


背景技术：

[0002]
相关技术中，在槽式硅片清洗中，化学槽内的微粒子数量与清洗后硅片品质息息相关，在硅片清洗制程中，化学槽内的微粒子数量越高，硅片清洗效果越差，尤其是化学溶液为酸性溶液时，化学溶液由于zeta电位(zeta potential，剪切面(shear plane)的电位)的影响，使得这些溶液中的微粒子表面带电荷与硅片表面电荷相互吸引，常造成硅片上的微粒子数量急剧增加，其根本原因就是化学槽内的即时微粒子数量过高，尽管现今的槽式清洗装置都配置有循环微粒子过滤器，但往往溶液中的微粒子需要一定的过滤时间才能有效降低槽内溶液的微粒子数量。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种清洗设备，所述清洗设备可快速地降低槽内微粒子数量，有效地提高清洗效率及产品品质。
[0004]
根据本实用新型实施例的清洗设备，包括：清洗器，所述清洗器具有用于容纳清洗溶液的容纳槽；第一循环泵，所述第一循环泵的进口与所述容纳槽连通；第一过滤器，所述第一过滤器的进口与所述第一循环泵的出口连通，所述第一过滤器的出口与所述容纳槽连通；第二循环泵，所述第二循环泵的进口与所述容纳槽连通；第二过滤器，所述第二过滤器的进口与所述第二循环泵的出口连通，所述第二过滤器的出口与所述容纳槽连通；控制模块，所述控制模块与所述第二循环泵连接。
[0005]
根据本实用新型实施例的清洗设备，通过设置两套循环流路，在清洗溶液清洗初期微粒子数量较高时，可以同时开启第一循环泵和第二循环泵，该两套循环系统提供了更大的循环流量，快速有效地降低容纳槽内的微粒子数量；当清洗溶液中微粒子数量降低到某个设定的值时，可以仅开启第一循环泵，既持续提供更洁净的清洗环境，保证清洗的效果，又降低第二循环泵的能耗，同时也可提高第二过滤器的寿命。
[0006]
根据本实用新型的一些实施例，还包括：微粒子实时检测装置，所述微粒子实时检测装置与所述控制模块连接，所述微粒子实时检测装置用于检测所述容纳槽内的微粒子数量。
[0007]
在本实用新型的一些实施例中，所述微粒子实时检测装置连接在所述第一循环泵和所述第一过滤器之间。
[0008]
在本实用新型的一些实施例中，所述微粒子实时检测装置还连接在所述第二循环泵和所述第二过滤器之间。
[0009]
根据本实用新型的一些实施例，还包括：用于加热清洗溶液的第一加热器，所述第一加热器设在所述容纳槽和所述第一过滤器之间的管路上和/或用于加热清洗溶液的第二
加热器，所述第二加热器设在所述容纳槽和所述第二过滤器之间的管路上。
[0010]
根据本实用新型的一些实施例，所述清洗器还包括溢出槽，所述溢出槽与所述容纳槽连通，所述第一循环泵的进口和所述第二循环泵的进口与所述溢出槽连通。
[0011]
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
[0012]
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0013]
图1是根据本实用新型实施例的清洗设备的结构示意图；
[0014]
图2是根据本实用新型另一个实施例的清洗设备的结构示意图。
[0015]
附图标记：
[0016]
清洗设备100，
[0017]
清洗器1，容纳槽11，溢出槽12，
[0018]
第一循环泵2，第一过滤器3，第二循环泵4，第二过滤器5，控制模块6，微粒子实时检测装置7，第一加热器8，第二加热器9。
具体实施方式
[0019]
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。本实施例以硅片为例，其他类似薄片状工件都适用该清洗设备。
[0020]
下面参考图1和图2描述根据本实用新型实施例的清洗设备100。本申请的清洗设备100可以用于清洗硅片等结构，可以在任何工序之后对硅片进行清洗。
[0021]
如图1所示，根据本实用新型实施例的清洗设备100，包括清洗器1、第一循环泵2、第一过滤器3、第二循环泵4、第二过滤器5和控制模块6。
[0022]
具体而言，清洗器1具有容纳槽11，容纳槽11用于容纳清洗溶液，其中清洗溶液可以为酸性溶液也可以为碱性溶液。第一循环泵2的进口与容纳槽11连通，第一过滤器3的进口与第一循环泵2的出口连通，第一过滤器3的出口与容纳槽11连通，第一循环泵2、第一过滤器3和容纳槽11构成了第一循环流路，第一循环泵2可以驱动容纳槽11内的清洗溶液在第一循环流路内流动，清洗溶液在循环流动的过程中清洗溶液中的微粒子会通过第一过滤器3过滤，降低容纳槽11中微粒子的数量，保持洁净的清洗环境，提高清洗效果。
[0023]
第二循环泵4的进口与容纳槽11连通，第二过滤器5的进口与第二循环泵4的出口连通，第二过滤器5的出口与容纳槽11连通，第二循环泵4、第二过滤器5和容纳槽11构成了第二循环流路，第二循环泵4可以驱动容纳槽11内的清洗溶液在第二循环流路内流动，清洗溶液在循环流动的过程中清洗溶液中的微粒子会通过第二过滤器5过滤，降低容纳槽11中微粒子的数量，保持洁净的清洗环境，提高清洗效果。
[0024]
清洗溶液中的微粒子需要一定的过滤时间才能有效降低槽内溶液的微粒子数量，循环过滤效果又跟循环流量息息相关，本申请采用两个循环流路提供更大的循环流量，可
以快速的降低清洗溶液中的微粒子数量，提高清洗效果。尤其是当清洗溶液为酸性溶液时，可以快速降低容纳槽内微粒子数量，避免容纳槽内的微粒子由于zeta电位的影响，使得这些溶液中的微粒子表面带电荷与硅片表面电荷相互吸引而使得硅片上的微粒子数量急剧增加，保持洁净的清洗环境，从而从根本上保证对硅片的清洗效果。
[0025]
控制模块6与第二循环泵4连接。控制模块6可以控制第二循环泵4的开启和关闭，在本申请中，可以实现清洗的多样化，例如在清洗过程中，可以仅开启第一循环泵2，也可以同时开启第一循环泵2和第二循环泵4，在清洗初期可以同时开启第一循环泵2和第二循环泵4，可快速地降低容纳槽内的为微粒子数量，在清洗后期，可以仅开启第一循环泵2以降低第二循环泵4的耗能，且可以提高第二过滤器5的使用寿命。
[0026]
根据本实用新型实施例的清洗设备100，通过设置两套循环流路，在清洗溶液清洗初期微粒子数量较高时，可以同时开启第一循环泵2和第二循环泵4，可以提供更大的循环流量，快速有效地降低容纳槽11内的微粒子数量，从而提高清洗效果，在清洗后期，清洗溶液中微粒子数量降低到某个设定值时，可以仅开启第一循环泵2，既持续提供更洁净的清洗环境，保证清洗的效果，又可以降低第二循环泵4的能耗，提高第二个过滤器5的使用寿命，从而实现既能持续保持洁净的清洗环境，保证了清洗的效果，又能降低机台硬体的消耗。
[0027]
在本实用新型的一些实施例中，清洗设备100还包括：微粒子实时检测装置7，微粒子实时检测装置7与控制模块6连接，微粒子实时检测装置7用于检测容纳槽11内的微粒子数量。微粒子实时检测装置7可以准确检测容纳槽11内的微粒子数量，控制模块6可以精确的判断容纳槽11内的微粒子数量是否小于或大于预设值，在检测到的微粒子数量大于预设值时，控制模块6可以控制同时开启第一循环泵2和第二循环泵4，在检测到微粒子数量小于等于预设值时，控制模块6可以控制关闭第二循环泵4，仅开启第一循环泵2。
[0028]
由此可以更好的控制第一循环泵2和第二循环泵4工作，既保证了清洗的效果，又降低了消耗。
[0029]
可选地，微粒子实时检测装置7连接在第一循环泵2和第一过滤器3之间。由此便于微粒子实时检测装置7检测容纳槽11内的微粒子数量。可以理解的是，第一循环流路开启时，即第一循环泵2开启时，第一循环流路与容纳槽11处于连通状态，第一循环泵2和第一过滤器3之间检测的微粒子数量与容纳槽11内的微粒子数量大体相同。
[0030]
其中需要说明的是，当微粒子实时检测装置7连接在第一循环流路上时，第一循环流路在清洗过程中为常开状态，即第一循环流路为一直处于导通状态，第一循环泵2一直开启，第二循环泵4可以根据需要关闭或开启，可以降低第二循环泵4的耗能和提高第二过滤器5的寿命。例如，在微粒子实时检测装置7检测到的微粒子数量大于预设值时，控制模块6可以同时开启第一循环泵2和第二循环泵4，在检测到微粒子的数量小于等于预设值时，控制模块6控制可以仅开启第一循环泵2，关闭第二循环泵4。
[0031]
当然，当微粒子实时检测装置7连接在第一循环流路上时，微粒子实时检测装置7还可以连接在第一循环泵2和容纳槽11之间或者第一过滤器3和容纳槽11之间。
[0032]
当然，微粒子实时检测装置7还可以连接在第二循环流路上，当微粒子实时检测装置7连接在第二循环流路上时，第二循环流路在清洗过程中为常开状态，即第二循环流路为一直处于导通状态，第二循环泵4一直开启，第一循环泵2与控制模块6连接，可以根据需要关闭或开启，可以降低第一循环泵2的耗能和提高第一过滤器3的寿命。
[0033]
另外，微粒子实时检测装置7还可以同时连接在第二循环泵4和第二过滤器5之间。可以理解的是，微粒子实时检测装置7同时连接在第一循环泵2和第一过滤器3之间以及第二循环泵4和第二过滤器5之间。在第二循环泵4为开启状态时，微粒子实时检测装置7还可以检测第二循环流路上的微粒子数量，控制模块6可以通过判断第一循环流路和第二循环流路上的微粒子数量的均值或其他算法得出的数值来得出容纳槽11内微粒子的数量，从而控制第二循环流路的开启和关闭。
[0034]
进一步地，如图2所示，清洗设备100还包括用于加热清洗溶液的第一加热器8，第一加热器8设在容纳槽11和第一过滤器3之间的管路上和/或用于加热清洗溶液的第二加热器9，第二加热器9设在容纳槽11和第二过滤器5之间的管路上。可以理解的是，清洗设备可以仅包括用于加热清洗溶液的第一加热器8，第一加热器8设在容纳槽11和第一过滤器3之间的管路上，清洗设备还可以仅包括用于加热清洗溶液的第二加热器9，第二加热器9设在容纳槽11和第二过滤器5之间的管路上，清洗设备还可以同时包括用于加热清洗溶液的第一加热器8，第一加热器8设在容纳槽11和第一过滤器3之间的管路上和用于加热清洗溶液的第二加热器9，第二加热器9设在容纳槽11和第二过滤器5之间的管路上。
[0035]
在第一循环流路开启，即第一循环泵2开启时，可以开启第一加热器8以加热容纳槽11内的清洗溶液，满足清洗需求。当然，在清洗溶液不需要加热时，第一加热器8还可以关闭，此时第一循环泵2可以继续处于开启循环状态。
[0036]
当然，第一加热器8还可以连接在第一循环流路的其他位置上，例如第一循环泵2和第一过滤器3之间或者容纳槽11和第一循环泵2之间。
[0037]
在第二循环流路开启，即第二循环泵4开启时，可以开启第二加热器9以加热容纳槽11内的清洗溶液，满足清洗需求。当然，在清洗溶液不需要加热时，第二加热器9还可以关闭，此时第二循环泵4可以继续处于开启循环状态。
[0038]
当然，第二加热器9还可以连接在第二循环流路的其他位置上，例如第二循环泵4和第二过滤器5之间或者容纳槽11和第二循环泵4之间。
[0039]
另外，当清洗设备同时包括用于加热清洗溶液的第一加热器8和用于加热清洗溶液的第二加热器9时，在第一循环泵2和第二循环泵4同时开启的状态下，第一加热器8和第二加热器9可以仅开启其中的一个以降低能耗，还可以同时开启以提高加热效率。
[0040]
可选地，第一循环泵2的进口和第二循环泵4的进口均与容纳槽11的侧壁连通且沿容纳槽11的周向方向间隔开，第一过滤器3的出口和第二过滤器5的出口均与容纳槽11的底壁连通且间隔开。
[0041]
进一步地，如图1和图2所示，清洗器1还包括溢出槽12，溢出槽12与容纳槽11连通，第一循环泵2的进口和第二循环泵4的进口与溢出槽12连通。由此有利于容纳槽11内溶液的循环，有利于微粒子的过滤。其中，溢出槽12和容纳槽11处于一直连通的状态，溢出槽12内一直具有清洗溶液。
[0042]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0043]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0044]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。