一种可对晶圆两面同时清洗的晶圆单片式清洗机的制作方法

1.本发明涉及清洗机设备领域，具体公开一种可对晶圆两面同时清洗的晶圆单片式清洗机。


背景技术：

2.伴随集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件的体积正变得越来越小，这也导致了非常微小的颗粒也变得足以影响半导体器件的制造和性能，同时随着光刻线条的越来越细，晶圆的显影工艺也越来越严格，槽式显影工艺已经不能满足需求，因此单片式清洗和显影工艺开始在半导体制造过程中发挥越来越多的作用。
3.现有的单片式晶圆的清洗装置在单片固定后不能进行批量清洗的同时对晶圆的两面进行清洗，因此清洗效果不好并且清洗效率低。


技术实现要素：

4.鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本技术旨在提供一种可对晶圆两面同时清洗的晶圆单片式清洗机，包括底板，所述底板的顶部安装有两个对称设置的连接板，两个连接板相互靠近的一侧转动安装有同一个转板，所述连接板的一侧安装有第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴安装在转板上，所述转板的顶部开设有多个固定孔，固定孔的两侧内壁上均开设有放置槽，放置槽的顶部内壁上开设有圆孔，圆孔内滑动安装有滑杆，所述圆孔的两侧内壁上均开设有连接槽，连接槽的顶部内壁和底部内壁上安装有同一个固定柱，固定柱上滑动安装有限位板，限位板的顶部安装有第二弹簧，限位板的一侧延伸至圆孔内并安装在滑杆上，所述连接板上安装有连接块，连接块上安装有第二伺服电机，第二伺服电机的输出轴上套设有扇形齿轮，两个连接板相互靠近的一侧安装有同一个固定杆，固定杆上滑动安装有滑板。
5.优选的，所述滑杆的底端延伸至放置槽内并安装有夹板，所述放置槽内设有晶圆，夹板与晶圆相配合。
6.优选的，所述固定孔的数量为五到十个，且五到十个固定孔等间距间隔设置。
7.优选的，所述连接板的一侧设有水箱。
8.优选的，所述滑板的一侧安装有第一弹簧，滑板的顶部安装有第一齿条，扇形齿轮与第一齿条相配合。
9.优选的，所述滑板的底部开设有转槽，转槽内转动安装有转柱，转柱的底端延伸至转槽的外侧并安装有扇叶，扇叶与晶圆相配合。
10.优选的，所述水箱的一侧设有连接管，连接管的一端安装有通管，通管上设有多个喷头。
11.优选的，转柱上套设有齿轮，连接板上设有第二齿条，第二齿条与齿轮相啮合上。
12.有益效果：
13.1、该可对晶圆两面同时清洗的晶圆单片式清洗机，通过将晶圆放在放置槽内，然
后送开滑杆，此时通过夹板与晶圆的配合设置从而能够使得当夹板在第二弹簧的弹力作用下对晶圆进行固定。
14.2、该可对晶圆两面同时清洗的晶圆单片式清洗机，通过第二齿条与齿轮的啮合设置从而能够使得当齿轮在第二齿条上进行移动的同时也能够进行转动，从而齿轮能够带动扇叶进行转动，从而能够对晶圆进行很好的风干，便于人们进行使用。
附图说明
15.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
16.图1为本发明结构示意图；
17.图2为图1中a部分的放大结构示意图；
18.图3为图1中b部分的放大结构示意图；
19.图4为本发明中齿轮和第二齿条的啮合结构示意图。
20.图中：1、底板；2、连接板；3、水箱；4、通管；5、喷头；6、连接管；7、第一伺服电机；8、转板；9、固定杆；10、滑板；11、第一齿条；12、固定孔；13、第一弹簧；14、第二伺服电机；15、扇形齿轮；16、晶圆；17、滑杆；18、连接槽；19、固定柱；20、第二弹簧；21、夹板；22、转柱；23、齿轮；24、第二齿条；25、扇叶。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
22.本发明实施例中的附图：图中不同种类的剖面线不是按照国标进行标注的，也不对元件的材料进行要求，是对图中元件的剖视图进行区分。
23.请参阅图1-4，一种可对晶圆两面同时清洗的晶圆单片式清洗机，包括底板1，所述底板1的顶部安装有两个对称设置的连接板2，两个连接板2相互靠近的一侧转动安装有同一个转板8，所述连接板2的一侧安装有第一伺服电机7，第一伺服电机7的输出轴安装在转板8上，所述转板8的顶部开设有多个固定孔12，固定孔12的两侧内壁上均开设有放置槽，放置槽的顶部内壁上开设有圆孔，圆孔内滑动安装有滑杆17，所述圆孔的两侧内壁上均开设有连接槽18，连接槽18的顶部内壁和底部内壁上安装有同一个固定柱19，固定柱19上滑动安装有限位板，限位板的顶部安装有第二弹簧20，限位板的一侧延伸至圆孔内并安装在滑杆17上，所述连接板2上安装有连接块，连接块上安装有第二伺服电机14，第二伺服电机14的输出轴上套设有扇形齿轮15，两个连接板2相互靠近的一侧安装有同一个固定杆9，固定杆9上滑动安装有滑板10。
24.其中，所述滑杆17的底端延伸至放置槽内并安装有夹板21，所述放置槽内设有晶圆16，夹板21与晶圆16相配合，通过夹板21与晶圆16的配合设置从而能够使得当夹板21在第二弹簧20的弹力作用下对晶圆16进行固定。
25.其中，所述固定孔12的数量为五到十个，且五到十个固定孔12等间距间隔设置，通过多个固定孔12的设置从而能够对晶圆16进行批量的冲洗。
26.其中，所述连接板2的一侧设有水箱3，水箱3的一侧设有连接管6，连接管6的一端安装有通管4，通管4上设有多个喷头5，通过多个喷头5的设置能够对晶圆16进行更好的冲洗。
27.其中，所述滑板10的一侧安装有第一弹簧13，滑板10的顶部安装有第一齿条11，扇形齿轮15与第一齿条11相配合，通过扇形齿轮15与第一齿条11的配合设置从而能够使得当扇形齿轮15转动时能够带动第一齿条11进行移动。
28.其中，所述滑板10的底部开设有转槽，转槽内转动安装有转柱22，转柱22的底端延伸至转槽的外侧并安装有扇叶25，扇叶25与晶圆16相配合，转柱22上套设有齿轮23，连接板2上设有第二齿条24，第二齿条24与齿轮23相啮合上，通过第二齿条24与齿轮23的啮合设置从而能够使得当齿轮23在第二齿条24上进行移动的同时也能够进行转动。
29.使用时，拉动滑杆17，将晶圆16放在放置槽内，然后送开滑杆17，此时通过夹板21与晶圆16的配合设置从而能够使得当夹板21在第二弹簧20的弹力作用下对晶圆16进行固定，此时通过水箱3和喷头5的设置对晶圆16进行冲洗；
30.当晶圆16的一面冲洗完成后，启动第一伺服电机7，将晶圆16的另一面对准喷头5，此时通过喷头5能够对晶圆16进行两面冲洗，此时启动第二伺服电机14；
31.第二伺服电机14的输出轴都对扇形齿轮15进行转动，扇形齿轮15转动能够带动第一齿条11进行滑动，第一齿条11滑动能够带动滑板10压缩第一弹簧13，当扇形齿轮15转动到与第一齿条11不啮合时，此时滑板10便会在第一弹簧13弹力作用下滑动到原位，实现滑板10的来回滑动，从而能够使得齿轮23在第二齿条24上来回滑动；
32.通过第二齿条24与齿轮23的啮合设置从而能够使得当齿轮23在第二齿条24上进行移动的同时也能够进行转动，从而齿轮23能够带动扇叶25进行转动，从而能够对晶圆16进行很好的风干，便于人们进行使用；
33.本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
34.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
35.以上描述仅为本技术的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本技术中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本技术中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。