技术特征：
1.一种片盒清洗机，其特征在于，所述片盒清洗机包括：监测模块，所述监测模块用于监控片盒并获取当所述片盒清洗后完成烘干的相对湿度；控制模块，所述控制模块用于接收所述监测模块获取的所述相对湿度，并依据所述相对湿度与所述相对湿度的预设的报警阈值大小比较结果生成相应的控制信号；报警模块，所述报警模块用于接收所述控制信号，并发出警报；还包括加载端口、卸载端口、清洗模块和烘干模块。2.根据权利要求1所述的片盒清洗机，其特征在于，所述控制模块经配置为：当所述相对湿度小于35％时，则生成第一控制信号；当所述相对湿度大于35％并小于45％时，则生成第二控制信号；当所述相对湿度大于45％时，则生成第三控制信号。3.根据权利要求2所述的片盒清洗机，其特征在于，所述报警模块包括红、黄、绿三种颜色的报警指示灯，所述报警模块经配置为接收不同的所述控制信号闪烁不同的所述报警指示灯。4.根据权利要求3所述的片盒清洗机，其特征在于，所述报警模块经配置为：当接收所述第一控制信号时，则闪烁绿光；当接收所述第二控制信号时，则闪烁黄光；当接收所述第三控制信号时，则闪烁红光。5.根据权利要求1所述的片盒清洗机，其特征在于，所述监测模块通过湿度传感器获取所述片盒的所述相对湿度。6.根据权利要求2所述的片盒清洗机，其特征在于，所述控制模块还经配置为当生成所述第二控制信号或者所述第三控制信号时，所述片盒重新进行烘干。7.根据权利要求2所述的片盒清洗机，其特征在于，所述控制模块还经配置为当生成所述第一控制信号时，所述片盒被传送出所述片盒清洗机。8.根据权利要求1所述的片盒清洗机，其特征在于，所述片盒清洗机还包括用于在各模块之间转运所述片盒的机械手。9.根据权利要求1所述的片盒清洗机，其特征在于，所述控制模块包括用于输入所述报警阈值的交互界面。
技术总结
本实用新型公开了一种片盒清洗机，所述片盒清洗机包括：监测模块，所述监测模块用于监控片盒并获取当所述片盒清洗后完成烘干的相对湿度；控制模块，所述控制模块用于接收所述监测模块获取的所述相对湿度，并依据所述相对湿度与所述相对湿度的预设的报警阈值大小比较结果生成相应的控制信号；报警模块，所述报警模块用于接收所述控制信号，并发出警报。通过上述结构，控制片盒内部的湿度以在后续存储硅片中保障硅片的表面质量。硅片中保障硅片的表面质量。硅片中保障硅片的表面质量。
技术研发人员：郭盾
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技有限公司
技术研发日：2022.01.10
技术公布日：2022/8/16