一种片盒清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及清洁装置领域，尤其涉及一种片盒清洗机。


背景技术：

2.硅抛光片的清洗工艺在ic制造中的作用越来越大，据估计由于硅片表面颗粒和金属沾污造成的损失占整个器件制造中总损失的一半以上，不仅清洗步骤越来越多，而且国际半导体技术发展路线对硅片表面可接受的颗粒尺寸及数目提出更高要求，硅片清洗后，表面颗粒密度非常低，有些硅片在存放过程中会出现颗粒增长的现象，颗粒增长一般开始表现为小尺寸颗粒的增多，在强光照射下观察会变色，硅片表面颗粒聚集形成时间依赖性雾(tdh)。
3.由于tdh是在后续存放过程中产生的，不可提前预测和检测，对后续器件加工有非常致命的影响。目前认为tdh产生的原因一般有以下几种：清洗后化学液体残留、清洗后硅片的干燥程度、硅片存放的环境(洁净度、湿度和化学气氛等)、以及片盒的洁净度和湿度。在研究后发现，晶片装盒并完成真空包装后，将处于相对密闭的空间中，那么在包装之前片盒的湿度就至关重要。目前片盒湿度水平的监测主要为通过湿度监测计对片盒内部的湿度水平进行抽检，很难对清洗后片盒内部的实际湿度水平进行很好的管理。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型实施例期望提供一种片盒清洗机，通过该片盒清洗机能够对清洗之后的片盒进行有效的湿度监测。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种片盒清洗机，所述片盒清洗机包括：
7.监测模块，所述监测模块用于监控片盒并获取当所述片盒清洗后完成烘干的相对湿度；控制模块，所述控制模块用于接收所述监测模块获取的所述相对湿度，并依据所述相对湿度与所述相对湿度的预设的报警阈值大小比较结果生成相应的控制信号；报警模块，所述报警模块用于接收所述控制信号，并发出警报。
8.本实用新型实施例提供了一种片盒清洗机，通过监测模块有效地获得清洗过后的片盒的湿度，并通过控制模块将所述监测模块获得的所述湿度与报警阈值对比，若对比结果不符合工艺需求则向工作人员报警并将片盒重新进行真空干燥，通过上述结构该片盒清洗机能够有效监控片盒内部的湿度并及时向工作人员报警提示，降低硅片表面产生tdh的风险，提高硅片的工艺质量。
附图说明
9.图1为现有技术中用于清洗片盒的冲洗装置的示意图；
10.图2为根据本实用新型的实施例的一种片盒清洗机的示意图。
具体实施方式
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
12.参见附图1，其示出了现有技术中用于清洗片盒的冲洗装置10的示意图，其中包括加载端口1、卸载端口4、清洗模块2和烘干模块3。通过加载端口1将待清洗片盒放入冲洗装置10，冲洗装置10内部具有用以转移待清洗片盒的机械手，机械手将待清洗片盒传递至清洗模块2，清洗模块2对片盒进行自动清洗。清洗结束之后，机械手将清洗过的片盒传递至烘干模块3，片盒在真空环境下通过烘干模块3内的加热单元进行除水干燥。完成干燥的片盒被传送至卸载端口4以投入使用。
13.在使用现有技术中的冲洗装置10清洗片盒的过程中，由于片盒材质对水份有一定程度的吸收能力，若片盒在清洗完成后的湿度水平较高，那么在之后的包装及运输存放晶片的过程中，便有极大概率产生tdh，对客户端的正常生产造成影响。
14.现有技术中的的片盒冲洗装置只完成片盒的清洗及干燥过程，并没有清洗完成后的湿度检测功能，从而也不能完全保证片盒在清洗完成后的干燥程度，一旦片盒在完成清洗后其湿度水平过高，便很容易形成tdh，影响客户端的正常生产。因此在片盒完成清洗干燥后需要对其湿度进行检测以避免其湿度水平高于实际情况中的工艺需求，从而导致存储在其中的硅片形成tdh。本实用新型实施例提供了一种片盒清洗机100，该片盒清洗机100基于冲洗装置10的模块之外还包括监测模块20、控制模块30和报警模块40。
15.监测模块20用于在片盒清洗完成后对片盒进行湿度检测，保证投入使用的片盒在清洗完成后处于很好的干燥条件。该监测模块20通过湿度感应器实现获取片盒内部的相对湿度的功能。
16.控制模块30用于接收监测模块20获取到的相对湿度，并且将获取到的相对湿度与预设的相对湿度的报警阈值进行对比，根据对比结果该控制模块30能够发出相应的控制信号。该控制模块30包括用于设置报警阈值的交互界面，通过交互界面工作人员可以设定符合实际加工需要的湿度报警阈值以满足后续工艺流程。优选地，在相对湿度分别为35％、40％、45％的条件下，通过观察tdh的分布，发现在相对湿度低于35％时，tdh受到的影响最小；当相对湿度大于45％时，tdh明显恶化，已不能满足客户端的使用要求。因此，控制模块30将通过监测模块20获取的相对湿度与35％、40％、45％进行比对，当该相对湿度小于35％时，则生成第一控制信号；当该相对湿度大于35％并小于45％时，则生成第二控制信号；当该相对湿度大于45％时，则生成第三控制信号。当控制模块30生成第二控制信号或者第三控制信号时，说明片盒内部湿度较高，不能投入后续使用，需要将片盒传送至烘干模块3进一步重新干燥；当控制模块30生成第一控制信号时，说明片盒内部湿度符合工艺需求，则将片盒传送卸载端口4投入后续使用。
17.报警模块40用于接收控制模块30发出的控制信号，并根据不同的控制信号反馈不同的报警提示。报警模块40通过设置不同颜色的报警指示灯对不同的控制信号作出反馈，以表征片盒的湿度情况并通知工作人员作出相应的处理。优选地，设有红、黄、绿三种颜色
的报警指示灯，当报警模块40接收到第一控制信号时，则闪烁绿色报警指示灯；当接收第二控制信号时，则闪烁黄光报警指示灯；当接收第三控制信号时，则闪烁红光报警指示灯。通过闪烁不同颜色的报警指示灯使得工作人员实时掌握该片盒清洗机内部片盒清洗的状态，保证出货片盒在清洗完成后处于符合工艺需求的干燥条件。
18.本实用新型的实施例在工作时，通过加载端口将待清洗的片盒放入片盒清洗机，机械手将片盒转依次运至清洗模块和烘干模块，完成烘干工艺的片盒被转运至监测模块以获取片盒内部的相对湿度，通过与预设的片盒内部相对湿度大小进行对比，根据对比结果相应颜色的报警指示灯闪烁，当红色和黄色的灯闪烁，说明片盒内部湿度不符合工艺标准，机械手将片盒重新传送至烘干模块进行干燥，当绿色的灯闪烁，说明该片盒便可投入后续使用，工作人员根据相应的报警指示灯进行特别关注，避免在片盒内部湿度水平已超出正常值的情况下仍进行分选装盒作业，从而可以避免在后续存放运输中导致tdh的产生，有效规避了因tdh的影响，导致客户端无法正常使用而引起的品质危机、客诉等问题。
19.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。