一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于电子级单晶硅抛光硅片生产技术领域，主要涉及一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽。
【背景技术】
[0002]传统片盒清洗机清洗硅片包装盒的工艺过程中，由于使用的纯水槽为贯通式一体槽且无加热功能，工艺过程中采用常温纯水清洗包装盒，受水温限制清洗腔内温度始终保持在较低温度。一方面由于室温时，包装盒表面的颗粒不容易清洗掉，虽经高压纯水冲洗，但相当一部分沾污仍残留在包装盒表面，另一方面在包装盒干燥过程中，由于温度较低，要使包装盒充分干燥，必须延长干燥时间同时要求旋转装置具有较高的转速，以更大的离心力才能使水珠脱离包装盒。这样一来不仅大大降低生产效率，而且使设备的损耗加剧，经济性、安全性、实用性都没有实现最优化。
[0003]当前包装盒清洗方法是:将包装盒牢固安放在片盒架上，首先经过数分钟的常温纯水冲洗，湿润包装盒的同时将表面容易清洗的大颗粒及沾污冲洗掉，冲洗同时旋转装置处于低速且顺时针、逆时针交替旋转状态。然后在较高的转速下开始进入干燥阶段，干燥时间为纯水冲洗时间的数倍，期间旋转装置同样处于顺时针、逆时针交替旋转状态。工艺完成后水槽中的纯水基本消耗完，需要再次补水待下一个工艺过程使用，补水时间约几分钟。这种传统工艺一方面需要大量纯水，浪费严重，同时由于水温低清洗效果有限。另一方面高速旋转的转动装置对设备本身损伤严重，且存在较大的安全隐患，一旦出现事故后果非常严重。
【实用新型内容】
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，该装置可实现片盒清洗机连续、高效、安全运行，解决原有工艺的清洗效果不彻底，不连续，工艺周期长，生产成本高，存在安全隐患等问题。
[0005]本实用新型所采用的技术方案是:一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，所述纯水槽通过隔断分为两个分槽槽A和槽B，两个分槽通过循环水管相互连通，分槽的内部均设有电加热器，每个分槽的侧边均从低到高依次设有低液位传感器、满液位传感器和溢流液位传感器，设置在两个分槽外部的循环水管上设有两个循环气动阀，两个循环气动阀之间的循环水管上设有循环泵，循环泵通过出水管连接清洗机的清洗腔，出水管上设有抽水气动阀；所述槽A通过进水管与纯水水源连接，纯水管上设有注水气动阀。
[0006]进一步优化，所述隔断的高度低于纯水槽的高度。
[0007]与现有技术相比，本实用新型至少具有下述优点及有益效果:
[0008]本实用新型提供的具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，可实现片盒清洗机连续、高效、安全运行。安装电加热器后可实现纯水温度准确控制，将水温设定在包装片盒清洗的最佳温度，能有效去除包装盒表面沾污，较之常温水清洗能力可以提高2-3倍。同时由于高温纯水的热扩散效应，清洗腔内温度也明显高于室温，在包装盒甩干阶段，此温度更利于包装盒干燥。一方面干燥时间约可减少五分之一，大大缩短了一个完整工艺过程的周期，提高了生产效率；另一方面旋转装置可以在较低的转速下运行，即减轻了设备自身的折旧损伤又大大降低了安全隐患，可以有效保证安全生产。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型加热后两个分槽之间纯水流动示意图；
[0011]附图标记:1、隔断，2、槽A，3、槽B，4、注水气动阀，5、电加热器，6、低液位传感器，7、满液位传感器，8、溢流液位传感器，9、循环水管，10、循环气动阀，11、循环泵，12、抽水气动阀。
【具体实施方式】
[0012]为使本实用新型的内容更明显易懂，以下结合具体实施例，对本实用新型进行详细描述。
[0013]如图所示，一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，所述纯水槽通过隔断I分为两个分槽槽A2和槽B3，两个分槽通过循环水管9相互连通，分槽的内部均设有电加热器5，每个分槽的侧边均从低到高依次设有低液位传感器6、满液位传感器7和溢流液位传感器8，设置在两个分槽外部的循环水管9上设有两个循环气动阀10，两个循环气动阀10之间的循环水管9上设有循环泵11，循环泵11通过出水管连接清洗机的清洗腔，出水管上设有抽水气动阀12 ;所述槽A2通过进水管与纯水水源连接，纯水管上设有注水气动阀4。
[0014]为了使本实用新型具有更好的技术效果，所述的隔断I的高度低于纯水槽的高度，隔断I和纯水槽均为聚偏氯乙烯材料，该材料的特殊性质能够保证纯水的洁净度不受污染。电加热器5为高效热阻丝式电加热器，具有快速升温，温控精确等特点。所有的液位传感器均为高灵敏度耐水性传感器，能及时准确检测到液位的变化，保证水槽中维持合适的纯水量。
[0015]本实用新型的使用:工艺过程开始时，首先注水气动阀4开启，纯水开始注入槽A2，当槽A2中液位达到低液位传感器6时，槽A2中的电加热器5开始工作，给纯水持续加热，当液位到达满液位传感器7时，两个循环气动阀10打开，同时循环泵11开始工作，将纯水从槽A2输送至槽B3，当槽B3中的低液位传感器6监测到液位时，其对应的电加热器5启动，直至温度达到设定值时加热功能停止；两个分槽内的液位持续上升至满液位传感器7时，满液位传感器7迅速动作，由系统自动控制将注水气动阀4、两个循环气动阀10及循环泵11关闭，停止加水。待水温达到包装片盒清洗的最佳温度，且温度稳定后开始包装盒清洗操作，此时槽B3中的循环气动阀10开启，循环泵11将纯水从槽B3抽出经过抽水气动阀12进入清洗腔，开始包装盒清洗作业。清洗过程完成后抽水气动阀12关闭，循环泵11将槽A2中的高温水经气动阀13和14输送至槽B3，此时槽B3中的水温基本满足工艺要求的温度，可以即刻进行下一次包装盒清洗，节约了时间，实现了连续生产。与此同时槽A2中低液位传感器6监测到液位低，注水气动阀4自动开启，开始补水并加热，为槽B3准备下一工艺过程所需的纯水。
【主权项】
1.一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，其特征在于:所述纯水槽通过隔断(I)分为两个分槽槽A (2)和槽B (3)，两个分槽通过循环水管(9)相互连通，分槽的内部均设有电加热器(5)，每个分槽的侧边均从低到高依次设有低液位传感器(6)、满液位传感器(7 )和溢流液位传感器(8 )，设置在两个分槽外部的循环水管(9 )上设有两个循环气动阀(10)，两个循环气动阀(10)之间的循环水管(9)上设有循环泵(11)，循环泵(11)通过出水管连接清洗机的清洗腔，出水管上设有抽水气动阀(12);所述槽A (2)通过进水管与纯水水源连接，纯水管上设有注水气动阀(4 )。
2.如权利要求1所述的一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，其特征在于:所述隔断(I)的高度低于纯水槽的高度。
【专利摘要】本实用新型公开一种具有加热及隔断功能的片盒清洗机纯水槽，所述纯水槽通过隔断分为两个分槽槽A和槽B，两个分槽通过循环水管相互连通，分槽的内部均设有电加热器，每个分槽的侧边均从低到高依次设有低液位传感器、满液位传感器和溢流液位传感器，设置在两个分槽外部的循环水管上设有两个循环气动阀，两个循环气动阀之间的循环水管上设有循环泵，循环泵通过出水管连接清洗机的清洗腔，出水管上设有抽水气动阀；所述槽A通过进水管与纯水水源连接，纯水管上设有注水气动阀。本实用新型可实现片盒清洗机连续、高效、安全运行，解决原有工艺的清洗效果不彻底，不连续，工艺周期长，生产成本高，存在安全隐患等问题。
【IPC分类】B08B13-00, B08B3-02
【公开号】CN204583752
【申请号】CN201520249898
【发明人】吴跃峰, 熊诚雷, 邵奇
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年4月23日