用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽及其清洗设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种清洗槽，特别涉及一种用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽及其清洗设备，属于半导体设备技术领域。
【背景技术】
[0002]蓝宝石因具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，而得到广泛应用，其强度高、硬度大、耐冲刷和抗腐蚀，可在接近2000°C高温的恶劣条件下工作，而且其还具有良好的热传导性、电气绝缘性和良好的透光性，被广泛的应用于半导体技术领域。
[0003]现如今，一般用于两英寸、四英寸和六英寸蓝宝石的清洗设备只有一个槽，实用性较差，在进行蓝宝石清洗时，槽子内的浓硫酸和双氧水不能在短时间内进行混合活化，降低了清洗效果，而且还会出现二次清洗的情况，延长了清洗作业时间，另外进行长时间清洗时混酸液中的颗粒物会增加，也会一定程度的影响清洗效果，因此目前的清洗槽不能满足使用需求。
【发明内容】
[0004]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽，可将槽内的浓硫酸、双氧水充分混合，增大混合液的活性，有效提高了对蓝宝石晶片的清洗效率。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用的一种用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽，包括用于清洗蓝宝石晶片的内槽，所述的内槽中接有用于进液的双氧水管和硫酸管；
[0006]还包括设置在内槽外侧的外槽，所述的外槽底部开有若干循环孔，循环孔外接循环管路，所述的循环管路上接有循环栗，循环栗的另一端接有循环进酸管，所述的循环进酸管通入至内槽中；
[0007]所述内槽的侧壁上设置有温度传感器及加热器，当温度传感器监测内槽中酸液温度低于设定温度时，加热器启动对内槽中酸液进行加热，温度传感器监测达到设定温度后，加热器停止加热；
[0008]所述外槽的侧壁上由低至高依次设置有用于监测液面高度的浓硫酸位置感应器和双氧水位置感应器，当外槽内液面升至浓硫酸位置感应器时，硫酸管停止进液，当外槽内液面升至双氧水位置感应器时，双氧水管停止进液。
[0009]作为本实用新型的改进，所述的循环管路上还接有耐酸过滤器，所述的耐酸过滤器安装在循环栗上靠近循环孔的一侧，管路内的液体经耐酸过滤器流入循环栗。
[0010]作为本实用新型的改进，所述的循环栗安装在清洗槽的外部或机台的内部，循环栗中接触酸液的部件采用聚四氟乙烯为材质，循环栗中的换向阀为三向先导阀。
[0011]作为本实用新型的改进，所述的外槽为三层结构，包括内侧的石英槽体、中间的石英纤维层及外侧的特氟龙壳体。
[0012]作为本实用新型的改进，所述的内槽为三层结构，包括内侧的石英槽体、中间的石英纤维层及外侧的特氟龙壳体。
[0013]作为本实用新型的改进，所述的加热器上外漏导线安装在由聚偏氟乙烯材料制成的防护密封槽内。
[0014]作为本实用新型的改进，所述的加热器为U形加热器。
[0015]作为本实用新型的改进，所述的外槽的侧壁上还装有高液位位置感应器，所述的高液位位置感应器高于双氧水位置感应器一定距离。
[0016]另外，本实用新型还提供了一种清洗设备，该清洗设备中包括上述任一项所述的用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽。
[0017]本实用新型的有益效果是:通过在现有的清洗内槽外侧设置外槽，依靠内槽与外槽配合，使加入到内槽中的酸液流至外槽，再通过外槽循环回流至内槽中，可将槽内的浓硫酸、双氧水充分混合，增大混合液的活性，有效提高对蓝宝石晶片的清洗效率。
[0018]另外，本实用新型还提供了一种清洗设备，由于清洗设备中包括上述内外循环混酸清洗槽，所以该清洗设备也会产生相应的有益效果。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型实施例的结构示意图；
[0020]图2为本实用新型实施例的内部结构示意图；
[0021]图中:1、外槽，2、内槽，3、高液位位置感应器，4、双氧水位置感应器，5、浓硫酸位置感应器，6、循环管路，7、耐酸过滤器，8、循环栗，9、循环进酸管，10、加热器，11、双氧水管，12、硫酸管，13、温度传感器，14、循环孔。
【具体实施方式】
[0022]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
[0023]如图1和图2所示，一种用于蓝宝石的内外循环混酸清洗槽，包括用于清洗蓝宝石晶片的内槽2，所述的内槽2中接有用于进液的双氧水管11和硫酸管12 ；
[0024]还包括设置在内槽2外侧的外槽I，所述的外槽I底部开有若干循环孔14，循环孔14外接循环管路6，所述的循环管路6上接有循环栗8，循环栗8的另一端接有循环进酸管9，所述的循环进酸管9通入至内槽2中；
[0025]所述内槽2的侧壁上设置有温度传感器13及加热器10，当温度传感器13监测内槽2中酸液温度低于设定温度时，加热器10启动对内槽2中酸液进行加热，温度传感器13监测达到设定温度后，加热器10停止加热；
[0026]所述外槽I的侧壁上由低至高依次设置有用于监测液面高度的浓硫酸位置感应器5和双氧水位置感应器4，当外槽I内液面升至浓硫酸位置感应器5时，硫酸管12停止进液，当外槽I内液面升至双氧水位置感应器4时，双氧水管11停止进液。
[0027]作为实施例的改进，所述的循环管路6上还接有耐酸过滤器7，所述的耐酸过滤器7安装在循环栗8上靠近循环孔14的一侧，管路内的液体经耐酸过滤器7流入循环栗8，能在使用中对酸液进行自清洗过滤，延长酸液的使用时间，同时降低蓝宝石清洗时出现的黄边、胶残留、颗粒等情况，可使清洗效果提升20%，显著降低生产成本。
[0028]作为实施例的改进，所述的循环栗8安装在清洗槽的外部或机台的内部，循环栗8中接触酸液的部件采用聚四氟乙烯为材质，可在酸液170°C高温强酸腐蚀下正