一种酸性和碱性废气处理装置的制作方法

本实用新型涉及气体净化技术领域，更具体地说，涉及一种酸性和碱性废气处理装置。

背景技术：

在半导体、面板显示器、LED、太阳能和MEMS微机电等制造领域中，生产过程中都会产生废气，以半导体制造为例，清洗制程设备生产过程中排放的气体，由于其排放量较大，因此现有的处理方式为：通过中央排气管道直接输送到后端中央处理塔进行处理。但是，清洗制程设备排出气体多为酸性气体(如氢氟酸或硫酸)或碱性气体(如氨气)，在排气管道中，酸性或碱性气体互相接触混合会产生化学反应，例如氟化氢气体和氨气相遇就会发生化合反应，生成氟化铵固体，这种固体形状的副产物会附着在管道内壁而堵塞管道，影响处理气体的容量，甚至还会形成安全隐患。现有的气体处理装置,由于尺寸体积的原因，并不适应在寸土寸金的无尘室工厂中安装使用，并且不能同时去除清洗制程设备排出的酸性和碱性废气，而是必须分为两种设备来分别处理酸性和碱性废气。

因此，如何有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道，是目前的一个亟待解决的问题。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种酸性和碱性废气处理装置，能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。

本实用新型提供的上述酸性和碱性废气处理装置，包括：

处理腔主体；

所述处理腔主体包括仅上部互相连通的左腔和右腔，所述左腔的下部具有第一水箱，所述右腔的下部具有第二水箱；

所述左腔的上部设置有废气进气口，所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；

所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；

其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体。

优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第二液气分离单元的外部还连接有排气风机。

优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一级填充料单元和所述第二级填充料单元的外形均为圆柱形。

优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一级填充料单元和所述第二级填充料单元里面的填充料均为聚丙烯圆球。

优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述聚丙烯圆球的直径范围为10毫米至20毫米。

优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一极性液体为氢氧化钠溶液，且所述第二极性液体为硫酸。

优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一极性液体为硫酸，且所述第二极性液体为氢氧化钠溶液。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的上述酸性和碱性废气处理装置，由于所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体，因此能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的示意图；

图2为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的工作过程示意图。

具体实施方式

本实用新型的核心思想在于提供一种酸性和碱性废气处理装置，能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的示意图。该酸性和碱性废气处理装置包括：

处理腔主体1；

所述处理腔主体1包括仅上部互相连通的左腔和右腔，也就是说，图中的左腔和右腔之间是分隔开的，仅仅靠近顶部的位置可以连通，气体可以从这个位置通过，所述左腔的下部具有第一水箱2，所述右腔的下部具有第二水箱3，这两个水箱也是互相分隔开的，互相不受影响，用于盛放不同类型的液体；

所述左腔的上部设置有废气进气口4，用于使清洗制程设备排出的废气流入该装置内部，所述第一水箱2的上方安装有第一级填充料单元5，所述第一级填充料单元5的周围设置有向所述第一级填充料单元5喷淋第一极性液体的第一喷淋单元6，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元7；

所述第二水箱3的上方安装有第二级填充料单元8，所述第二级填充料单元8的周围设置有向所述第二级填充料单元8喷淋第二极性液体的第二喷淋单元9，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元10；

其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体。

上述装置的工作过程如图2所示，图2为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的工作过程示意图。气体从进入装置后，首先从第一级填充料单元5的底部进入，经过第一喷淋单元6的喷淋之后，被其中的一种极性液体吸收，并落入第一水箱2中，未被吸收的气体再从第一级填充料单元5的顶部经过第一液气分离单元7之后，到达第二级填充料单元8的底部，此时经过第二喷淋单元9的喷淋，喷出的第二极性液体吸收掉另一种极性的气体，并落入第二水箱3中，经过两次的喷淋过程，就能够将废气中的酸性和碱性气体都吸收完毕，处理之后的气体再穿过第二液气分离单元10之后，就符合环保标准，并被排放到外界。

从上述技术方案可以看出，本申请实施例所提供的上述第一种酸性和碱性废气处理装置，由于所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体，因此能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。

本申请实施例提供的第二种酸性和碱性废气处理装置，是在上述第一种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

继续参考图1，所述第二液气分离单元10的外部还连接有排气风机11。这种排气风机可调速，用于将装置内的风速和压力保持在恒定状态，在运行过程中可在装置内部保持负压稳定性。

本申请实施例提供的第三种酸性和碱性废气处理装置，是在上述第二种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述第一级填充料单元和所述第二级填充料单元的外形均为圆柱形。圆柱形的填充料单元在装进填充料之后，整体就很紧密，不会出现空隙，相对于填充料单元为矩形的四个角的位置没有填料导致漏风空隙的情况来说，这种圆柱形的填料单元更具有优势。

本申请实施例提供的第四种酸性和碱性废气处理装置，是在上述第三种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述第一级填充料单元和所述第二级填充料单元里面的填充料均为聚丙烯圆球。这种圆球细密紧实，能够增加接触面的面积，从而使废气能够与液体形成更大面积的接触，增强吸收效果。

本申请实施例提供的第五种酸性和碱性废气处理装置，是在上述第四种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述聚丙烯圆球的直径范围为10毫米至20毫米。进一步的，可以优选为采用Globe-Pac 0.5英寸的聚丙烯圆球，较小的填充料通常会增加接触面的面积，实现气体和液体的充分混合，从而形成更好的废气处理效果。

本申请实施例提供的第六种酸性和碱性废气处理装置，是在上述任一种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述第一极性液体为氢氧化钠溶液，且所述第二极性液体为硫酸。这样，就是先用氢氧化钠溶液吸收废气中的酸性气体，然后用硫酸吸收废气中的碱性气体，经过这两个步骤之后就能够将废气中的酸性和碱性气体吸收干净，起到较好的处理效果。

本申请实施例提供的第七种酸性和碱性废气处理装置，是在上述任一种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：

所述第一极性液体为硫酸，且所述第二极性液体为氢氧化钠溶液。这样，就是先用硫酸吸收废气中的碱性气体，然后用氢氧化钠溶液吸收废气中的酸性气体，经过这两个步骤之后就能够将废气中的酸性和碱性气体吸收干净，起到较好的处理效果。

利用上述装置，能够将这酸性气体和碱性气体的浓度控制在平衡值以下例如，在室温条件下，将该值降低至100ppm以下。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。