管式炉用坩埚的制作方法

文档序号:12353884阅读:来源:国知局

技术特征:

1.管式炉用坩埚,其特征在于:包括坩埚槽(1)、坩埚架(2)和上盖(3),所述坩埚槽(1)呈圆弧状且两端封闭,坩埚槽(1)的圆弧角度不超过180°,所述上盖(3)的下边缘设置凸起(4),凸起(4)呈矩形环状,且与所述坩埚槽(1)上表面相适配;所述坩埚槽(1)内放置至少一层所述坩埚架(2),坩埚架(2)的两侧均呈弧形且与坩埚槽(1)弧形内表面相适配,坩埚架(2)上设置多个通孔(5)和/或凹槽(6);并且当坩埚架(2)上设有通孔(5)时,通孔(5)内分别放置小坩埚体(7),小坩埚体(7)呈顶部开口的筒状。

2.如权利要求1所述的管式炉用坩埚,其特征在于:所述坩埚槽(1)内放置至少两层坩埚架(2),各层坩埚架(2)互相平行;当坩埚架(2)的数量达到3时,各层坩埚架(2)在坩埚槽(1)内等间距分布;所述通孔(5)为圆形,所述凹槽(6)为半球状。

3.如权利要求2所述的管式炉用坩埚,其特征在于:最底层的坩埚架(2)上等间距排列设置半球状的凹槽(6),其他层的坩埚架(2)上等间距排列设置圆形的通孔(5)。

4.如权利要求1至3任一权利要求所述的管式炉用坩埚,其特征在于:所述上盖(3)扣合于坩埚槽(1)上时,上盖(3)的凸起(4)位于坩埚槽(1)的外侧。

5.如权利要求1至3任一权利要求所述的管式炉用坩埚,其特征在于:所述上盖(3)上还设置至少一个排气孔(8)。

6.如权利要求1至3任一权利要求所述的管式炉用坩埚,其特征在于:所述上盖(3)的上表面的中心处设置提环(9)。

7.如权利要求1至3任一权利要求所述的管式炉用坩埚,其特征在于:所述坩埚槽(1)的两端分别设置半圆状的手柄(10)。

8.如权利要求1至3任一权利要求所述的管式炉用坩埚,其特征在于:所述小坩埚体(7)的顶部外边缘具有翻边结构,坩埚架(2)上设置通孔(5),翻边结构的直径大于通孔(5)的直径。

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