除气泡装置的制作方法

文档序号:15803617发布日期:2018-11-02 21:38阅读:297来源:国知局

本实用新型涉及溶液处理技术领域,特别涉及一种溶液除气泡装置。



背景技术:

当前柔性显示器主要特征是把薄膜晶体管制作在柔性基板上。而当前柔性基板主要的制作过程是:将原料涂布在刚性基板上,然后通过对柔性基底进行加热烘烤使其固化。但由于柔性基底固化前的原料(例如聚酰亚胺)黏度大,故而原料内部的气泡难以去除,同时除气泡过程耗时久,从而容易导致后续薄膜制作及其他制程段出现不良的情况以及影响产能。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种除气泡装置,解决了现有的高黏度溶液不容易除气泡的技术问题。

本实用新型提供一种除气泡装置,用于去除液体中的气泡,包括真空容纳罐,收容于所述真空容纳罐的腔体内的超声波发生器、搅拌件、数个塔板以及薄膜生成器,

所述真空容纳罐的腔体连通有进料管以及出料管,所述搅拌件位于所述腔体的底部,数个所述塔板位于所述搅拌件的上方,数个所述塔板在竖直方向依次间隔排列并形成一流道,所述超声波发生器与数个所述塔板相对,所述薄膜生成器包括与所述进料管连通的进料端和与所述进料端相对的成膜端,所述成膜端与竖直方向上的所述塔板相对接,所述液体经过所述薄膜生成器后以薄膜的形态由所述成膜端进入所述流道,且薄膜形态的所述液体经所述流道流至所述腔体底部,所述搅拌件搅拌所述腔体底部的所述液体直至排除气泡后通过所述出料管排出。

其中,所述薄膜生成器的成膜端与竖直方向上位于最上方的所述塔板相对接。

其中,数个所述塔板通过一承载架支撑,每个所述塔板包括固定端和与所述固定端相对的自由端,每个所述塔板的所述固定端与所述承载架连接,每个所述塔板向所述真空容纳罐的底部倾斜且所述自由端低于所述固定端,进而使数个所述塔板形成供液体由上至下流动的所述流道。

其中,每一所述塔板包括供所述液体流动的表面和位于所述表面的两个相对侧边,两个所述侧边位于所述固定端和所述自由端之间,并且每一所述侧边设置有挡墙,以限制所述液体在所述塔板的表面上从所述固定端流向所述自由端。

其中,所述真空容纳罐连接有监测所述腔体压力的压力监测器,所述压力监测器的压力值用于与预设标准值比对以确定液体排除气泡的程度。

其中,所述除气泡装置还包括循环泵,所述循环泵的吸料端与所述真空容纳罐的腔体连通,所述循环泵的排料端与所述进料管连通,所述循环泵用于将所述真空容纳罐的所述腔体内的所述液体进行循环以排出气泡。

其中,所述循环泵的排料端与所述进料管之间通过三通阀连通,所述三通阀用于切换所述进料管与所述真空容纳罐的导通,和所述循环泵的出料端与所述真空容纳罐的导通。

其中,所述真空容纳罐连接有为所述腔体抽真空的真空泵,所述真空泵与所述真空容纳罐之间连接有第一控制阀。

其中,所述真空容纳罐还连接有加压装置,所述加压装置用于向所述真空容纳罐中施加压力以使所述溶液通过出所述料管排出。

其中,所述加压装置与所述真空容纳罐之间连接有第二控制阀,所述第二控制阀用于调节和控制输送给所述真空容纳罐的压力。

其中,所述搅拌件包括用于搅拌液体的搅拌桨和驱动搅拌桨工作的搅拌泵。

综上所述,本实用新型的所述薄膜生成器使所述液体形成薄膜状,数个所述塔板在竖直方向依次间隔排列并形成一流道,进而薄膜状的所述液体由所述成膜端进入所述流道,且薄膜形态的所述液体经所述流道流至所述腔体底部,所述搅拌件搅拌所述腔体底部的所述液体直至排除气泡后通过所述出料管排出。本实用新型提高了柔性基板制作过程中柔性基板原料除气泡的速度,节约原料处理时间,提升柔性基板制作的产能,相对时间内提升柔性基板制作的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的除气泡装置的结构示意图。

图2是图1中的薄膜生成器的正视结构示意图。

图3是图1中的薄膜生成器的俯视结构示意图。

图4是图1中的承载架承载塔板的正视结构示意图。

图5是图4中的塔板的剖面结构示意图。

图6是图4中的塔板的俯视结构示意图。

图7图1所示的除气泡装置具有循环泵的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1,本实用新型提供一种除气泡装置,用于去除粘稠液体中的气泡,稠度的液体一般是高度粘稠体,用于柔性基板的制作。所述除气泡装置包括真空容纳罐10,收容于所述真空容纳罐10的腔体107内的超声波发生器20、搅拌件30、数个塔板40以及薄膜生成器50;所述除气泡装置还包括与所述真空容纳罐10连接的监测所述腔体107压力的压力监测器60。所述真空容纳罐10的腔体107连通有进料管101以及出料管102,所述搅拌件30位于所述腔体107的底部。数个所述塔板40位于所述搅拌件30的上方,数个所述塔板40在竖直方向依次间隔排列并形成一流道,所述超声波发生器20位于所述流道一侧且朝向所述流道,用于对经过所述流道的液体进行超声处理。

所述薄膜生成器50包括与所述进料管101连通的进料端501和与所述进料端501相对的成膜端502。所述成膜端502与竖直方向上位于最上方的所述塔板40相对接,所述液体经过所述薄膜生成器50后以薄膜的形态由所述成膜端502进入所述流道,且薄膜形态的所述液体经所述流道流至所述腔体107底部,所述搅拌件30搅拌所述腔体107底部的所述液体直至排除气泡后通过所述出料管102排出。所述压力监测器60的压力值用于与预设标准值比对以确定液体排除气泡的程度,进而确定是否将液体通过出料管102排出真空容纳罐10。其中,所述预设标准值是通过在本实施例所述的真空容纳罐10注入同样容量的液体进行搅拌排气泡,反复试验得到的液体达到排出气泡的标准时,真空容纳罐10内的气压值。当然,所述压力监测器60的压力显示比预设标准值小,证明气泡排出的更为干净。

本实用新型的所述薄膜生成器50使所述液体形成薄膜状,并沿着数个塔板40形成的流道以薄膜形状流动,增大了所述液体与所述真空容纳罐10中的真空区域的接触面积,先经过所述超声波发生器20进行除气泡,再进一步搅拌,促进了所述液体中的所述气泡排出,实现了提高粘稠液体中的除气泡效率,提高了所述柔性基板制作的良率,进而提高了后续薄膜制作的良率以及后续其他制程段的良率,增加了产能。

在本实施例中,所述真空容纳罐10为柱形罐,具有一腔体107,所述真空容纳罐10包括侧壁103以及连接于所述侧壁103相对两端的顶壁104以及底壁105,所述侧壁103围成所述腔体107。可以理解的是,在其他实施例中,所述真空容纳罐10形状可以有多种样式,不做限定。

本实施例中,所述超声波发生器20与所述塔板40相对,具体的,所述超声波发生器20置于所述侧壁103的与所述薄膜生成器50的所述成膜端502相对的位置,用于对从所述塔板40流下并经过所述流道的液体进行超声,以促进所述液体中的气泡的排出。所述进料管101以及所述出料管102分别穿过侧壁103与所述腔体107连通。

所述出料管102上设有出料管控制阀106,所述出料管控制阀106用于控制所述出料管102的导通与闭合,即当所述真空容纳罐10排液时,所述出料管控制阀106开启,当所述真空容纳罐10中的所述液体脱气泡时,所述出料管控制阀106关闭。

所述压力监测器60为真空压力表。所述真空压力表位于真空容纳罐10的所述顶壁104上,所述真空压力表具有一真空管,所述真空管穿过所述顶壁104伸入所述真空容纳罐10的腔体107中以使所述真空压力表检测所述腔体中的压力值。具体为,当所述真空容纳罐10中的气泡仍然存在时,所述真空压力表的示数波动,当所述真空容纳罐10中的气泡排尽时,所述真空压力表的示数稳定。进而可以根据所述真空压力表的示数稳定性来判断液体中的气泡是否排尽。

请参阅图2、图3,在本实施例中,所述薄膜生成器50包括与所述进料管101连通的成膜腔体503、与所述成膜腔体503连接的狭缝喷嘴504。

为了方便描述,定义L1为第一方向,L2为第二方向,L3为第二方向,所述第一方向L1与所述第二方向L2垂直,所述第三方向L3垂直于所述第一方向L1与所述第二方向L2形成的平面。所述成膜腔体503包括所述进料端501,所述成膜腔体503大致为等腰梯形体,所述进料端501位于等腰梯形较短的底边位置;所述狭缝喷嘴504为扁平状,位于其等腰梯形较长的底边位置,所述狭缝喷嘴504包括所述成膜端502,所述成膜端502位于所述狭缝喷嘴504远离所述成膜腔体503的一端。在所述第三方向L3上所述成膜腔体503的尺寸大于所述狭缝喷嘴504的尺寸,在所述第三方向L3上所述成膜腔体503的尺寸沿着所述第一方向L1逐渐增减小,直至与所述狭缝喷嘴502的尺寸适配,实现了所述成膜腔体503与所述狭缝喷嘴502的精准对接;在所述第二方向L2上所述成膜腔体503的尺寸沿着所述第一方向L1逐渐增大,直至与所述塔板40的尺寸相适配,实现了薄膜状的所述液体可由所述成膜端502精准流向所述塔板40。

请参阅图4-图6,数个所述塔板40通过塔板承载架80支撑,每个所述塔板40包括固定端401和与固定端401相对的自由端402,每个所述塔板40的固定端401与所述承载架80连接,每个所述塔板40向所述真空容纳罐10的底部倾斜且所述自由端402低于所述固定端401,进而使数个所述塔板40形成供液体由上至下流动的所述流道。每一所述塔板40包括供所述液体流动的表面403和位于所述表面403的两个相对侧边404,两个所述侧边404位于所述固定端401和所述自由端402之间,并且每一所述侧边404设置有挡墙405,以限制所述液体在所述塔板40的表面上403从所述固定端401流向所述自由端402。

具体的,所述塔板40由所述固定端401至所述自由端402向所述真空容纳罐10的底部倾斜,且所述自由端402与所述承载架80之间有间隙,每两个相邻的所述塔板40中,位于上方的所述塔板40的自由端402位于其下方的所述塔板40的固定端401之上,所述薄膜形态的液体从位于上方的所述塔板40的自由端402经间隙流至下方的塔板40上。在本实施例中,所述流道包括由所述塔板40的表面403与所述挡墙405围成的空间以及所述塔板40的自由端402与所述承载架80之间的间隙。

所述薄膜生成器50的成膜端502对接在竖直方向上最上方的所述塔板40的固定端401,通过所述进料管101的所述液体进入薄膜生成器50经所述成膜腔体503、所述狭缝喷嘴502,形成薄膜状的所述液体,由所述成膜端502流出,所述薄膜状的所述液体到达在竖直方向上的最上方的所述塔板40的固定端401,即进入所述流道,并流经其余的所述塔板40直至经过最后一个所述塔板40的自由端402流入所述腔体107的底部。由于每个所述塔板40的边缘设置有两个所述挡墙403,进而限制所述薄膜状的所述液体从每个所述塔板40的所述固定端401流向所述自由端402,实现了避免所述薄膜状的所述液体从所述塔板40两侧流出,而影响所述薄膜状的所述液体在超声波作用下的气泡溢出效果。数个所述塔板40形成流道供膜状液体流动,保证液体流动时保持膜状,增大了所述液体与所述真空容纳罐10中的真空区域的接触面积,提高排出气泡效率。

请继续参阅图1,所述搅拌件30包括搅拌桨301和搅拌泵302。在竖直方向上数个所述塔板40的下方设置有所述搅拌桨301,所述搅拌桨301伸出所述真空容纳罐10的端部连接有所述搅拌泵302,所述搅拌泵302驱动所述搅拌桨301转动,实现了在所述液体的搅拌时所述液体中尺寸较小的气泡集成为尺寸较大的气泡,进而尺寸较大的气泡从所述液体中排出,在真空条件下的所述腔体107内被消除。具体为,流过最后一个所述塔板40的自由端402流入所述腔体107的底部的所述液体,在所述搅拌泵302驱动下,所述搅拌桨301搅拌所述液体,使所述液体中尺寸较小的气泡集成为尺寸较大的气泡,进而尺寸较大的所述气泡从所述液体中排出。

所述真空容纳罐10连接有为所述腔体107抽真空的真空泵100,所述真空泵100与所述真空容纳罐10之间连接有第一控制阀1001。具体为,所述真空泵100设于所述真空容纳罐10的顶壁105上,所述真空泵100包括连通所述真空泵100与所述真空容纳罐10的顶壁105的抽气管1002以及连通所述真空泵100与外界的排气管1003,所述抽气管1002上设有所述第一控制阀1001,所述第一控制阀1001用于控制所述抽气管1002的开闭。在所述真空容纳罐10的所述液体排气泡的过程中,所述第一控制阀1001控制所述抽气管1002导通,所述真空泵100开启,所述真空泵100将所述真空容纳罐10的气体依次从所述抽气管1002、所述真空泵100以及所述排气管1003排到外界。

所述真空容纳罐10还连接有加压装置110,所述加压装置110用于向所述真空容纳罐10中施加压力以使所述溶液通过出所述料管102排出。所述加压装置110与所述真空容纳罐10之间连接有第二控制阀1101,所述第二控制阀1101用于调节和控制输送给所述真空容纳罐10的压力。具体为,所述加压装置110设于所述真空容纳罐10的顶壁105上,所述加压装置110包括连通所述真空容纳罐10与所述加压装置110的加压管1102,所述加压管1102上装设有所述第二控制阀1101,所述第二控制阀1101用于控制所述加压管1102的导通与闭合。在所述液体中气泡排出后,所述第二控制阀1101控制所述加压管1102导通,所述加压装置110开启,所述加压装置110将所述真空容纳罐10的所述液体从所述出料管102排出。

请参阅图7,所述除气泡装置还包括循环泵70,所述循环70的吸料端701与所述真空容纳罐10的腔体107连通,所述循环泵70的排料端702与所述进料管101连通,所述循环泵70用于将所述真空容纳罐10的腔体107内的液体进行循环以排出气泡。所述循环泵70的排料端702与所述进料管101之间通过三通阀703连通,所述三通阀703用于切换所述进料管10与所述真空容纳罐10的导通,和所述循环泵70的出料端702与所述真空容纳罐10的导通。具体为,所述循环泵70包括与所述真空容纳罐10连通的吸料管704以及与所述进料管10连通的排料管705。所述吸料管704包括吸料端701,所述吸料端701位于所述吸料管704远离所述循环泵70的一端;所述排料管705包括排料端702,所述排料端702位于所述排料管705远离所述循环泵70的一端。所述吸料管704上设有第三控制阀706,所述第三控制阀706用于控制所述吸料管704的导通与关闭。在所述液体循环时,所述第三控制阀控制所述吸料管704连通,所述三通阀703切换至所述循环泵70的出料端702与所述真空容纳罐10的导通,所述循环泵70开启,所述加循环泵70将所述真空容纳罐10的所述液体从所述吸料端701吸入所述吸料管705,并将所述液体从所述吸料管704抽至所述排料管705,所述液体经所述排料端702进入所述进料管101,进而进入所述真空容纳罐10的腔体107内进行循环。

所述除气泡装置还包括控制装置,所述控制装置控制所述搅拌泵302、所述真空泵100、所述循环泵70以及所述加压装置110的开启与关闭。具体为,当所述液体排气泡时,所述控制装置控制所述搅拌泵302开启以及控制所述真空泵100开启;当所述液体需循环时,所述控制装置控制所述循环泵70开启;当所述液体中的气泡排尽需排出时,所述控制装置控制所述加压装置110开启。当所述液体需排出时,所述控制装置控制所述搅拌泵302关闭以及控制所述真空泵100关闭;当所述液体循环结束时,所述控制装置控制所述循环泵70关闭;当所述液体排出所述真空脱气罐10时,所述控制装置控制所述加压装置110关闭。所述循环泵70实现了所述液体的循环,提高了所述液体的排气泡效果。

本实施例中,当除气泡装置工作时,所述控制装置控制所述搅拌泵302、所述超声波发生器20以及所述真空泵100开启,所述第一控制阀1001控制所述真空泵100的抽气管1002连通,所述三通阀703切换至所述进料管101与所述真空容纳罐10的连通,所述液体穿过所述进料管101达到所述薄膜生成器50的进料端501,并穿过所述成膜腔体503后形成薄膜状液体后从所述狭缝喷嘴504的成膜端502到达在竖直方向上的最上方的所述塔板40的固定端401,进入所述流道,薄膜状的所述液体从第一个所述塔板40的固定端401开始流动直至经过最后一个所述塔板40的自由端402流入所述腔体107的底部,所述搅拌泵302驱动所述搅拌桨301转动,所述搅拌桨301搅拌所述液体,将所述液体中尺寸较大小的气泡集成为尺寸较大的气泡,进而尺寸较大的所述气泡从所述液体中排出,在真空条件下的所述腔体107内消失,当所述真空压力表的显示的所述真空容纳罐10的压力值与预设标准值相同或者比所述预设标准值小且所述真空压力表的示数稳定时,即所述液体中的气泡排尽,所述控制装置控制所述压力装置110开启,所述第二控制阀1101控制所述加压装置110的加压管1102连通,所述出料管控制阀106控制所述出料管102连通,所述加压装置110向所述真空容纳罐10中施加压力以使所述液体通过所述出料管102排出;当所述真空压力表的显示的所述真空容纳罐10的压力值大于所述预设标准值且所述真空压力表的示数波动时,即所述液体中仍然存在气泡,所述出料管控制阀106控制所述出料管102闭合,所述第二控制阀1101控制所述加压装置110的加压管1102的闭合,所述控制装置控制所述压力装置110关闭,所述第三控制阀706控制所述吸料管704连通,所述三通阀703切换至所述循环泵70的出料端702与所述真空容纳罐10的导通,所述控制装置控制所述循环泵70开启,所述加循环泵70将所述真空容纳罐10的所述液体从所述吸料端701吸入所述吸料管705,并将所述液体从所述吸料管704抽至所述排料管705,所述液体经所述排料端702进入所述进料管101,进而进入所述真空容纳罐10的腔体107内进行循环,当所述液体循环后,所述真空压力表的显示的所述真空容纳罐10的压力值与预设标准值相同或者比所述预设标准值小且所述真空压力表的示数稳定时,即循环后的所述液体中的气泡排尽,所述控制装置控制所述压力装置110开启,所述出料管控制阀106控制所述出料管102连通,所述第二控制阀1101控制所述加压装置110的加压管1102的连通,所述加压装置110向所述真空容纳罐10中施加压力以使所述液体通过出所述料管102排出。

使用所述真空容纳罐10排出气泡时,液体通过所述薄膜生成器50形成薄膜状,数个所述塔板40以及所述塔板40与所述承载架80之间的间隙形成的所述流道供薄膜状液体流动,并与所述超声波发生器20配合,在增大所述液体与所述真空容纳罐10中的真空区域的接触面积同时,通过所述超声波发生器20的进一步超声,促进了所述液体中的所述气泡排出,提高了粘稠液体的除气泡效率。之后所述液体流入所述腔体107底部,再通过所述搅拌桨301对流经所述塔板40的所述液体搅拌,实现了将尺寸较小的气泡集成为尺寸较大的气泡,进而尺寸较大的所述气泡从所述液体中排出,再根据所述真空压力表显示的压力值确定所述液体中的气泡是否排除干净,最后形成排出真空容纳罐10的无气泡液体,实现了提高整体过程中粘稠液体中的除气泡效率,提高了柔性基板制作的良率,进而提高了柔性基板后续薄膜制作的良率以及后续其他制程段的良率,增加了产能。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。

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