技术特征：
技术总结
本发明公开了一种高浓度三氟化氯尾气处理装置，包括依次连接的稀释系统、干式处理系统和喷淋系统，稀释系统包括文丘里真空发生器和氮气源，文丘里真空发生器上设有吸附腔入口和压缩气入口，吸附腔入口与尾气气源连接，且两者间设有单向止回阀；压缩气入口与氮气源连接；干式处理系统包括预处理装置和主处理装置，预处理装置的进气端与所述文丘里真空发生器的出气端连接，主处理装置的进气端与预处理装置的出气端连接，预处理装置和主处理装置的结构相同，均包括壳体，壳体内填充有碱性反应剂。本发明还公开了一种高浓度三氟化氯尾气处理方法，本发明的优点在于，通过梯度稀释、反应后完成对三氟化氯气体的吸收处理，具有防倒灌、安全性高的优点。
技术研发人员：朱颜;王陆平;王仕华;黄磊;王智
受保护的技术使用者：全椒南大光电材料有限公司
技术研发日：2018.08.09
技术公布日：2018.12.18