本发明属于高纯材料生产领域，具体涉及一种蒸镀高纯材料的破碎机及其制造方法。
背景技术：
目前主要针对蒸镀材料烧结成锭子后的，如何破碎成客户需求的粒径范围在0.1-1毫米、1-3毫米、3-5毫米的不规则颗粒，而采用现有的破碎机都是采用合金甚至是氧化锆的复合锤头来进行对物料的破碎，这样会导致，因破碎球头或者破碎机内壁损伤与物料摩擦产生的粉末杂质，其主要来源于破碎机本身，因此在铁质破碎机后续的工艺中会加入除铁器，而对于复合物料制成的破碎锤头，如果和物料颜色一致，根本无法区分物料和杂质，这样最终导致高纯材料纯度的下降，造成蒸镀材料膜层折射率的不稳定，因此寻找一种可靠的破碎方法为行业的急需。
技术实现要素：
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种蒸镀高纯材料的破碎机及其制造方法。
为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：
本发明实施例提供一种蒸镀高纯材料的破碎机，该破碎机包括锤头和内壁衬板，所述锤头和内壁衬板由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成，以隔绝其它金属单质对高纯材料的污染。
上述方案中，所述破碎机的内部所有紧固件均由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成。
上述方案中，所述被破碎的金属氧化物所对应的金属元素为高纯金属单质。
本发明实施例还提供一种蒸镀高纯材料的破碎机的制造方法，该方法为：由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成锤头和内壁衬板。
上述方案中，该方法还包括：由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成所述破碎机的内部所有紧固件。
上述方案中，所述被破碎的金属氧化物所对应的金属元素为高纯金属单质。
上述方案中，被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质经过物理硬化处理制成锤头。
与现有技术相比，本发明不会额外的引入其它杂质，能够解决高纯材料在破碎的过程中引入其它杂质问题，降低生产成本，又可以提高生产效率。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明实施例提供一种蒸镀高纯材料的破碎机，该破碎机包括锤头和内壁衬板，所述锤头和内壁衬板由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成，以隔绝其它金属单质对高纯材料的污染。
具体地，所述破碎机的内部所有紧固件均由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成。
所述被破碎的金属氧化物所对应的金属元素为高纯金属单质。
本发明实施例还提供一种蒸镀高纯材料的破碎机的制造方法，该方法为：由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成锤头和内壁衬板。
进一步地，该方法还包括：由被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质制成所述破碎机的内部所有紧固件。
所述被破碎的金属氧化物所对应的金属元素为高纯金属单质。
被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质经过物理硬化处理制成锤头。
实施例1
本实施例的被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质为高纯铝化合物锭子，如氧化铝、铝酸镧、铝硅氧化混合物(6:4)等，纯度达到99.999％，那采用高纯铝单质做为破碎机的锤头、内壁的衬板及紧固件，纯度达到99.999％，采用物理硬化处理，在高速动能破碎机里能破碎氧化铝并且避免了额外的引入其它杂质，确保了高纯氧化铝蒸镀颗粒的纯度。
实施例2
本实施例的被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质为高纯钛化合物锭子，如五氧化三钛、一氧化钛、二氧化钛、钛酸镧(9:1)、钛酸锶等，纯度达到99.99％，那采用高纯钛单质做为破碎机的锤头、内壁的衬板及紧固件，纯度达到99.99％，采用物理硬化处理，在高速动能破碎机里能钛化合物并且避免了额外的引入其它杂质，确保了高纯钛化合物蒸镀颗粒的纯度。
实施例3
本实施例的被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质为高纯锆化合物锭子，如二氧化锆、锆钛化合物(8:2)、锆铌氧化混合物(7:3)等，纯度达到99.99％，那采用高纯锆单质做为破碎机的锤头、内壁的衬板及紧固件，纯度达到99.99％，采用物理硬化处理，在高速动能破碎机里能锆化合物并且避免了额外的引入其它杂质，确保了高纯锆化合物蒸镀颗粒的纯度。
实施例4
本实施例的被破碎的金属氧化物所对应的金属元素的单质为高纯铌化合物锭子，如五氧化二铌、铌锆氧化混合物(9:1)等，纯度达到99.99％，那采用高纯铌单质做为破碎机的锤头、内壁的衬板及紧固件，纯度达到99.99％，采用物理硬化处理，在高速动能破碎机里能铌化合物并且避免了额外的引入其它杂质，确保了高纯铌化合物蒸镀颗粒的纯度。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。