一种插片机双筒式过滤装置的制作方法

文档序号:15472607发布日期:2018-09-18 20:33阅读:185来源:国知局

本实用新型涉及硅片加工装置领域,具体涉及一种插片机双筒式过滤装置。



背景技术:

硅片加工过程中使用插片机插片时,需要使用过滤桶过滤循环水中的硅粉杂质,防止硅粉进入管道,导致插片机上料分片机构中的前喷头和侧喷头堵塞,以实现插片工艺正常运行。过滤桶在使用过程中需要定期清理滤芯,以实现过滤装置的可持续高效运行,现有技术中的过滤装置在清理过滤桶滤芯时需要停机,而停机清理或更换过滤桶中的滤网会严重影响产能,降低硅片加工效率。



技术实现要素:

针对现有技术不足,本实用新型提供了一种可连续过滤工作的插片机双筒式过滤装置。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为:一种插片机双筒式过滤装置,其包括吸水泵及并排设置的两个过滤桶,过滤桶上部和下部分别由设置有控制装置的进液歧管和出液歧管连接水池和吸水泵,控制装置可切换的控制两个过滤桶中的一个在吸水泵产生的负压下通入液体进行过滤。

进一步地,所述的过滤桶的上部通过进液歧管连接水池的下部,过滤桶的下部通过出液歧管与吸水泵连接,进液歧管和出液歧管在连接过滤桶处分别装设有控制装置,所述控制装置为气动阀。

进一步地,所述进液歧管包括连接水池的总管及总管的两个分管,两个分管分别连接两个过滤桶的上部,两个分管上分别设置有气动阀;所述出液歧管包括连接两个过滤桶下部的两个支管,及两个支管汇集后与吸水泵连接的统管,两个支管上分别设置有气动阀。

进一步地,所述的吸水泵通过管道与前喷头水管和侧喷头水管连接,用于在吸水泵加压后将过滤后的水连接至前喷头和侧喷头。

进一步地,所述的过滤桶内部设置300目304不锈钢滤网。

与现有技术相比,本实用新型具备的有益效果为:

1、本实用新型的双过滤桶循环过滤系统及相应的管道排布方式,双过滤桶相互切换使用,清洗过滤装置不必停机,保证连续生产,提升生产效率,提升生产产能,节约人力成本;

2、工作原理和结构简单,容易安装、拆卸和维护;

3、滤芯网材质均为全不锈钢制作,耐腐蚀性强、使用寿命长。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1所示的一种插片机双筒式过滤装置,其包括吸水泵及并排设置的两个过滤桶1,过滤桶1上部和下部分别由设置有控制装置2的进液歧管3和出液歧管4连接水池5和吸水泵6,进液歧管3用于从水池5通入未过滤的水,出液歧管4用于导出过滤后的水;控制装置2可切换的控制两个过滤桶1中的一个在吸水泵6产生的负压下通入液体进行过滤,使水池5中的水通过吸水泵6吸入过滤桶1,并加压后排出。

进一步地,所述的过滤桶1的上部通过进液歧管3连接水池5的下部,过滤桶1的下部通过出液歧管4与吸水泵5连接,进液歧管3和出液歧管4在连接过滤桶1处分别装设有控制装置2,所述控制装置2为气动阀,所述气动阀通过PLC控制,实现在两个过滤桶1中切换过滤,从而实现不停机清洗过滤桶的功能。通过PLC内部程序计时,到达设定时间后提醒作业员工清洗或更换过滤桶1中滤芯网。

进一步地,所述进液歧管3包括连接水池的总管31及总管的两个分管32,两个分管32分别连接两个过滤桶1的上部,两个分管32上分别设置有气动阀;所述出液歧管4包括连接两个过滤桶1下部的两个支管42,及两个支管42汇集后与吸水泵连接的统管41,两个支管42上分别设置有气动阀。连接同一个过滤桶1的分管32和支管42上的气动阀同时控制此过滤桶1的进出水管开/关,防止更换滤网时候有水流出。

进一步地,所述的吸水泵6通过管道与前喷头水管7和侧喷头水管8连接,用于在水泵6加压后将过滤后的水连接至水池5上部的前喷头和侧喷头,前喷头水管7和侧喷头水管8上设置有手动球阀9,用于控制水的流量。

进一步地,所述的过滤桶1采用SUS304不锈钢制造,内、外表面抛光0.4um,内部设置300目304不锈钢滤网。

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