技术总结
本实用新型公开了一种尾气处理冷凝器以及尾气处理系统，其中前者包括处理腔室和多个过滤网，其中，处理腔室的侧壁上设置有冷却管路；处理腔室相对的两侧壁上分别预留有进气口和出气口；过滤网均通过安装口安装于处理腔室中，且相邻的过滤网的网眼相互错开。在尾气进入通用型过滤器之前，先使用尾气处理冷凝器将MOCVD的尾气进行处理，降低了通用型过滤器的滤芯消耗，有效的解决有毒物质沉积较多的问题，且可以将有毒沉积物进行收集，保证真空泵、真空阀门和真空规正常工作。由于尾气得到良好的处理，整个设备的损伤率降低，设备的维护周期也相应地缩短，增加了设备的产能。
技术研发人员：管长乐;赵青松
受保护的技术使用者：北京创昱科技有限公司
技术研发日：2018.03.06
技术公布日：2018.12.14