多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统。
【背景技术】
[0002]传统的多晶硅生产工艺主要包括三氯氢硅合成工艺、三氯氢硅氢还原工艺、四氯化硅氢还原工艺，上述工艺所产生的尾气均输送至尾气回收冷凝系统进行分离回收利用，达到节能降耗的目的。上述尾气主要包括气相氢气、氯化氢、氯硅烷和固体硅粉尘，所述氯硅烷包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅，其中硅粉尘来源于三氯氢硅合成工艺带来的未反应的硅粉颗粒及三氯氢硅氢还原工艺中产生的粉尘硅粉。上述硅粉的产生原理如下:
[0003]三氯氢硅合成工艺，主要反应如下:HC1+Si = SiHCl3+H2，其中原料硅粉为固体颗粒，其中，没有反应完全的硅粉夹带至尾气中进入尾气回收冷凝系统。
[0004]三氯氢硅氢还原工艺，在1000°C至1200°C的条件下，在高纯硅芯上，用高纯氢气还原高纯三氯氢硅生成多晶硅沉积在高纯硅芯上，主要反应如下:SiHCl3+H2= Si+HCl，在温度及原料进料量增大的情况下生成的多晶硅不能完全沉积在硅芯上，生成的多晶硅就随着尾气进入尾气回收冷凝系统。上述硅粉是本领域技术人员熟知的固体颗粒。
[0005]上述尾气进入尾气回收冷凝系统，利用低温介质换热降温将多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷冷凝成液体，从而达到氢气、氯化氢与氯硅烷分离的目的，在此过程中尾气中的固体颗粒也沉积下来，沉积在多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的设备及管线上，造成多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线堵塞，一方面多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统内产生压差影响尾气输送，另一方面堵塞换热器后直接导致换热器的换热效果较差，降低尾气冷凝效果。在传统的尾气回收冷凝系统中，要除去上述沉积在尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线上的固体颗粒，需要整个尾气回收冷凝系统停车后拆洗，增加了尾气回收冷凝系统安全风险，影响尾气回收冷凝系统连续稳定运行。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统冷凝得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器和/或盐水换热器中，可以实现对于气气换热器和/或盐水换热器的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器和/或盐水换热器进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险。
[0007]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；
[0008]气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝，所述盐水换热器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体；
[0009]盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝;
[0010]所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二出口，
[0011 ] 或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，
[0012]和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。
[0013]优选的是，所述第一清洗管道上设置有用于控制流量的第一控制阀，所述第二清洗管道上设置有用于控制流量的第二控制阀。
[0014]本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；
[0015]气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝;
[0016]盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝;
[0017]气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离，所述气液分离器第一出口用于排出气液分离得到的液体；
[0018]所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述气液分离器还包括气液分离器第二出口，
[0019]或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述气液分离器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，
[0020]和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述气液分离器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。
[0021 ] 本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；
[0022]气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝;
[0023]盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝;
[0024]气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；
[0025]尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝，所述尾气深冷器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体；
[0026]所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述尾气深冷器还包括尾气深冷器第二出口，
[0027]或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述尾气深冷器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，
[0028]和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述尾气深冷器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。
[0029]本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；
[0030]气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝;
[0031 ] 盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝;
[0032]气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；
[0033]尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；
[0034]氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第一出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷，所述氯硅烷储罐第一出口用于排出其内的液体；
[0035]所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述氯硅烷储罐还包括氯硅烷储罐第二出口，
[0036]或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，
[0037]和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。
[0038]优选的是，所述氯硅烷储罐第一出口与所述气气换热器的壳程连接，从所述氯硅烷储罐第一出口排出的液体进入气气换热器的壳程与气气换热器的管程内的尾气进行换热。
[0039]优选的是，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括压缩机，所述压缩机与所述气气换热器的壳程连接，所述压缩机用于将从气气换热器的壳程的排出物进行压缩。
[0040]本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环