氯硅烷可以直接送入到吸收塔中进行后续的工艺。多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的作用是将尾气中的氯硅烷、氢气及氯化氢进行分离，此时尾气回收冷凝系统是将尾气中的氯硅烷变成液体，没有被冷凝下来的氢气、氯化氢仍然是以气相的形式存在进入压缩机9升压后进入吸收塔，吸收塔的作用是将尾气中的氯化氢进行吸收，氢压机的目的就是为氢气、氯化氢加压，使其达到吸收塔的高压操作条件。
[0111]本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的氯硅烷储罐8后得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。
[0112]实施例5
[0113]如图5所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环水换热器1，所述循环水换热器I包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器I用于一级降温冷凝；
[0114]气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口 21、气气换热器第一出口 22，所述气气换热器第一入口 21与所述循环水换热器出口 11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；
[0115]盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口 31、盐水换热器第一出口 32，所述盐水换热器第一入口 31与所述气气换热器第一出口 22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；
[0116]气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口 61、气液分离器第一出口62、气液分离器第一出口 63，所述气液分离器入口 61与所述盐水换热器第一出口 32连接，所述气液分离器6用于气液分离；
[0117]尾气深冷器7，所述尾气深冷器7包括尾气深冷器入口 71、尾气深冷器第一出口72，所述尾气深冷器入口 71与所述气液分离器第一出口 62连接，所述尾气深冷器7用于四级降温冷凝；
[0118]氯硅烷储罐8，所述氯硅烷储罐8包括氯硅烷储罐第一入口 81、氯硅烷储罐第二入口 82、氯硅烷储罐第一出口 83，所述氯硅烷储罐第一入口 81与所述气液分离器第一出口 63连接，所述氯硅烷储罐第二入口 82与所述尾气深冷器第二出口 73连接，所述氯硅烷储罐8用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；
[0119]过滤器10，所述过滤器10包括过滤器入口 101、过滤器第一出口 102，所述过滤器入口 101与所述氯硅烷储罐第一出口 83连接，所述过滤器10用于过滤；其中，所述过滤器第一出口 102用于排出过滤后的液体，该液体的主要成分为液相氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。
[0120]所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述过滤器10还包括过滤器第二出口 103，
[0121]或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口 23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述过滤器第二出口 103连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口 23连接，
[0122]和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口 34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述过滤器第二出口 103连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口 34连接。
[0123]本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的过滤器10后得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。
[0124]实施例6
[0125]如图6所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括:循环水换热器1，所述循环水换热器I包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器I用于一级降温冷凝；
[0126]气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口 21、气气换热器第一出口 22，所述气气换热器第一入口 21与所述循环水换热器出口 11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；
[0127]盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口 31、盐水换热器第一出口 32，所述盐水换热器第一入口 31与所述气气换热器第一出口 22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；
[0128]气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口 61、气液分离器第一出口62、气液分离器第一出口 63，所述气液分离器入口 61与所述盐水换热器第一出口 32连接，所述气液分离器6用于气液分离；
[0129]尾气深冷器7，所述尾气深冷器7包括尾气深冷器入口 71、尾气深冷器第一出口72，所述尾气深冷器入口 71与所述气液分离器第一出口 62连接，所述尾气深冷器7用于四级降温冷凝；
[0130]氯硅烷储罐8，所述氯硅烷储罐8包括氯硅烷储罐第一入口 81、氯硅烷储罐第二入口 82、氯硅烷储罐第一出口 83，所述氯硅烷储罐第一入口 81与所述气液分离器第一出口 63连接，所述氯硅烷储罐第二入口 82与所述尾气深冷器第二出口 73连接，所述氯硅烷储罐8用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；
[0131]过滤器10，所述过滤器10包括过滤器入口 101、过滤器第一出口 102，所述过滤器入口 101与所述氯硅烷储罐第一出口 83连接，所述过滤器10用于过滤；
[0132]升压泵14，所述升压泵14包括升压泵入口 141、升压泵第一出口 142，所述升压泵入口 141与所述过滤器第一出口 102连接，所述升压泵14用于升压；其中，所述升压泵第一出口 142用于排出升压后得到的液体，该液体的主要成分为液相氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。
[0133]所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述升压泵14还包括升压泵第二出口 143，
[0134]或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口 23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述升压泵第二出口 143连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口 23连接，
[0135]和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口 34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述盐水换热器第二出口 33连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口 34连接。
[0136]本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的升压泵14后得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。
[0137]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括:循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝； 气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝，所述盐水换热器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体； 其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二出口， 或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接， 和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，其特征在于，所述第一清洗管道上设置有用于控制流量的第一控制阀，所述第二清洗管道上设置有用于控制流量的第二控制阀。
3.—种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括:循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝； 气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第