一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器的制作方法

本实用新型属于真空热处理技术领域，涉及一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器。

背景技术：

真空化学气相沉积工艺过程中，从炉内排出的气体中含有大量的焦油和炭墨杂质，有时还会有炭墨随气体排出，必须采用一定的方法, 将杂质中主要的焦油除去，否则这些粘度很大的焦油或炭墨会吸附在管道、阀门、真空泵等内壁上，若不及时处理会堵塞管道、影响阀门的密封与调节功能，进入真空泵的焦油会影响真空油的粘度和转子的运动，严重时会造成真空泵能力下降，抽力不足、启动困难、磨损加剧的现象，影响工艺的正常进行，真空泵的维护工作量也特别大，甚至报废。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器，该过滤器能够将气相沉积炉内的焦油、炭墨过滤掉，防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。

本实用新型所采用的技术方案是，一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体的上端从上往下依次设有盖板及挂板，挂板的下方连接有过滤体，过滤体内从上至下设有若干过滤单元，过滤器本体的底部设有排污口，过滤器本体一侧的上端设有排气口，排气口处设有压力传感器A，过滤器本体另一侧的下端设有进气口，进气口处设有压力传感器B，挂板上均匀分布有透气孔。

本实用新型的特点还在于，

排气口位于盖板与挂板之间。

过滤单元中包括圆筒状的金属网架，金属网架的外壁上贴合有一圈焦油、炭墨吸附层。

焦油、炭墨吸附层为炭毡或炭布吸附层。

本实用新型的有益效果是，本发明中在过滤体的内壁上通过金属网贴合一层焦油吸附层，焦油吸附层将焦油吸附后，再经过过滤体内部的过滤单元进行过滤，尾气中焦油约90％已被过滤，达到非常好的过滤效果，本装置体积小、不易堵塞、更换维护简单、成本低。与目前传统使用的焦油过滤罐比较，可使管道、阀门、真空泵检修周期延长3-5倍，大大降低了工人的劳动强度，延长了阀门与真空泵的使用寿命，提高了工艺参数的控制精度。

附图说明

图1是本实用新型一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器的结构示意图；

图2是本实用新型一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器中过滤器本体与真空泵的连接结构示意图。

图中，1.过滤器本体，2.盖板，3.挂板，4.过滤体，5.排污口， 6.排气口，7.压力传感器A，8.进气口，9.压力传感器B，10.真空泵，11.角阀，12.横管，13.调压阀。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器，如图1 所示，包括过滤器本体1，过滤器本体1的上端从上往下依次设有盖板2及挂板3，挂板3的下方连接有过滤体4，过滤体4内从上至下设有若干过滤单元，过滤器本体1的底部设有排污口5，过滤器本体 1一侧的上端设有排气口6，排气口6处设有压力传感器A7，过滤器本体1另一侧的下端设有进气口8，进气口8处设有压力传感器B9。

排气口6位于盖板2与挂板3之间，挂板3上均匀分布有透气孔。

过滤单元中包括圆筒状的金属网架，金属网架的外壁上贴合有一圈焦油、炭墨吸附层，焦油、炭墨吸附层为炭毡或炭布吸附层。

过滤本体1的底部为圆锥状结构。过滤体4内部设有不锈钢龙骨，各组过滤单元被固定在不锈钢龙骨上，过滤单元总数n＝气体总量/每个过滤单元过滤气体量。

本实用新型一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器的使用方法为，如图2所示，将过滤器本体1的进气口8与冷凝器出口连接，过滤器本体1的排气口6依次连接横管12、角阀11及真空泵10，横管12与排气口6之间设有调压阀13，使用时，炉内排出的气体经进气口8进入过滤体4内部，过滤体4内过滤单元上的焦油、炭墨吸附层将气体中含有的焦油和炭墨吸附掉，气体再通过排气口6排出，通过压力传感器A7和压力传感器B8分别测量排气口6和进气口8处的压力，比较尾气经过滤体4过滤前后的压力差，将此信号接入PLC控制系统中，当压差值大于设定值时，系统报警，提示清理或更换过滤体。当炉内尾气通过管道进入冷凝器后，由于温度降低，尾气中一部分的焦油会冷凝为液态，吸附在冷凝片上，余下不能液化的部分焦油随尾气继续下行，进入过滤器本体1中进行过滤。

实施例

将本实用新型提供的过滤器应用于φ2800XH3200双室真空电阻化学气相沉积炉真空系统中，炉罐内工作气氛：天然气、丙烯、及相应反应产物、氮气、炭毡挥发物，两路气体流量为0～20m³/h，工作温度1060℃，炉膛压力1000-5000Pa。

电炉生产中所产生的尾气经过水冷管道(图中未示出)、冷凝器 (图中未示出)后，经过滤器6→调压阀4→横管3→角阀2→真空泵 1后接车间尾气管道排出。所有部件之间均为法兰连接，密封圈密封。压力传感器A7和压力传感器B8的压力范围均为0-10KPa。比较尾气经过滤器过滤前后的压差，此信号接入PLC控制系统中，当此压差值大于500Pa时，系统报警，提示清理管道或更换过滤体。

本实施例中过滤体4中共使用20个过滤单元，每个过滤单元过滤面积为1平方米，总过滤面积为20平方米，这就大大增强了过滤器的过滤能力，有效的延长了管道、阀门、真空泵的检修周期，大大降低了工人的劳动强度，本实用新型提供的过滤器与传统焦油过滤罐的检修周期对比，见下表1所示：

表1