1.一种超微气泡产生设备,其通过使得加热元件在液体中产生膜沸腾而产生超微气泡,包括:
元件基板,其包括设有多个加热元件的加热部,其中,
所述元件基板构造成抑制输入到所述加热部中的加热元件的能量的变化。
2.根据权利要求1所述的超微气泡产生设备,其中,
所述加热部包括加热元件的集合,来自电极板的能量输入到所述加热元件。
3.根据权利要求2所述的超微气泡产生设备,其中,
所述加热元件中的至少两个以上通过加热部中的相同公共布线连接到所述电极板,并且
所述多个加热元件以时分方式被驱动。
4.根据权利要求3所述的超微气泡产生设备,其中,
所述元件基板包括多个加热部,并且
在所述多个加热部中的每个加热部中,所述多个加热元件以时分方式被驱动。
5.根据权利要求3所述的超微气泡产生设备,其中,
在所述加热部中加热元件的形状根据通过共用布线彼此连接的加热元件的位置关系而不同。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的超微气泡产生设备,其中,
以时分方式施加到每个加热元件的电压或者驱动加热元件的时长根据共用布线中的电阻之间的差而改变。
7.根据权利要求1或2所述的超微气泡产生设备,其中,
在所述加热部中,加热元件均连接到单独布线。
8.根据权利要求7所述的超微气泡产生设备,其中,
所述单独布线布局成使得每个单独布线的电阻值落在预定范围内。
9.根据权利要求3所述的超微气泡产生设备,其中,
所述公共布线的宽度或膜厚设定为使得在公共布线中的电阻值与加热元件的电阻和各自连接到加热元件的布线的电阻之和成预定比例或更小。
10.根据权利要求9所述的超微气泡产生设备,其中,
所述公共布线的宽度或膜厚设定为使得在用于通过加热元件产生膜沸腾的能量设定为第一值的情况下,分别输入到连接至公共布线的多个加热元件的能量设定为第一值的1.1倍以上且3倍以下。
11.根据权利要求9或10所述的超微气泡产生设备,其中,
在所述元件基板中,所述公共布线形成在与形成有加热元件的层不同的层上。
12.根据权利要求9所述的超微气泡产生设备,其中,
所述公共布线形成在元件基板的与形成有加热元件的表面相反的背面上。
13.根据权利要求12所述的超微气泡产生设备,其中,
所述电极板形成在背面上。
14.根据权利要求9或10所述的超微气泡产生设备,还包括:
产生单元,其中在晶片上形成多个元件基板。
15.根据权利要求7所述的超微气泡产生设备,其中,
以时分方式在不同的定时驱动多个组,所述多个组包括设置有至少两个以上加热元件的组,所述至少两个以上加热元件均连接到单独布线并且被同时驱动。
16.根据权利要求15所述的超微气泡产生设备,其中,
在所述加热部中,每个组包括相同数量的被同时驱动的加热元件。
17.根据权利要求15所述的超微气泡产生设备,其中,
均设有在加热部中被同时驱动的至少两个以上加热元件的组被以不同的时分按定时驱动,并且施加到每个加热元件的电压或者驱动加热元件的时长根据每个定时中被同时驱动的加热元件的数量而改变。
18.根据权利要求6所述的超微气泡产生设备,还包括:
监控单元,其监控加热部中加热元件的电阻,其中
以时分方式施加到每个加热元件的电压或者驱动加热元件的时长根据监控单元的监控结果而改变。
19.根据权利要求15所述的超微气泡产生设备,其中,
在加热部中,在相同布线上被同时驱动的多个加热元件串联连接。
20.根据权利要求19所述的超微气泡产生设备,其中,
在串联连接的每个加热元件中,在电流流动方向上的电阻图案长度小于电阻图案的宽度。
21.根据权利要求1或2所述的超微气泡产生设备,还包括:
用于使得能量恒定的单元,其使得在加热部中施加到多个加热元件中的每个加热元件或者预定数量的加热元件中的每个加热元件的能量恒定。
22.根据权利要求21所述的超微气泡产生设备,其中,
用于使得能量恒定的单元保持在每个加热元件的两端或一端中的电压或电流恒定。