1.一种混合气体分离方法,其中,包括以下工序:
2.根据权利要求1所述的混合气体分离方法,其中,
3.根据权利要求1所述的混合气体分离方法,其中,
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的混合气体分离方法,其中,
11.一种混合气体分离装置,其中,具备:
12.根据权利要求11所述的混合气体分离装置,其中,
13.根据权利要求11所述的混合气体分离装置,其中,
14.根据权利要求11至13中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,
15.根据权利要求11至14中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,
16.根据权利要求11至15中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,
17.根据权利要求11至16中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,
18.根据权利要求11至17中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,
19.根据权利要求11至18中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,
20.根据权利要求11至19中的任一项所述的混合气体分离装置,其中,