一种配置蚀刻液用酸性原料的混合系统的制作方法

1.本实用新型属于蚀刻液原料混合技术领域，特别是涉及一种配置蚀刻液用酸性原料的混合系统。


背景技术：

2.半导体产业包含印刷电路板、光伏、液晶面板、集成电路等等，此产业工艺流程中，常用的电子化学品有氨水、硫酸、双氧水、氯化氢、氟化氢、氟化铵及含氟蚀刻液等，此相关电子化学品主要在集成电路中被使用在湿式制程工艺车间，进行湿式制程工艺，如去光阻、湿式蚀刻和湿式化学清洗是湿式制程车间工艺内最普遍的制程，故又称为湿式化学品；
3.在上述产业中，因不同产业产品规格及其相关工艺，所对应的电子化学品的清洗与蚀刻的纯度也有所不同，电子化学品最高纯度的等级是应用在半导体产业中芯片集成电路、大尺寸集成电路(如12吋芯片)等，电子化学品纯度，其中最重要技术指标是微量金属含量及颗粒数，分别为每个金属微量小于50ppt，每毫升颗粒数大于或等于0.1微米，不得超过100颗，目前的工业级氯化氢、氟化氢、硝酸反应液提纯之后，会对其按照一定的比例进行混合，适用于工业使用；
4.但是现有的用于氯化氢、氟化氢、硝酸反应液混合的混合系统在实际的使用中依然存在以下的不足：
5.1.现有的蚀刻液用酸性原料的混合系统在实际的使用中存在各物料混合不均匀的问题，影响蚀刻液的使用质量；
6.2.现有的蚀刻液用酸性原料的混合系统在实际的使用中，为固定配合的设置，从而不方便工作人员对其进行有效彻底的清洗；
7.因此，有必要对现有技术进行改进，以解决上述技术问题。


技术实现要素：

8.本实用新型的目的在于提供一种混合均匀度高且便于清洗的配置蚀刻液用酸性原料的混合系统，解决了现有的蚀刻液用酸性原料的混合系统在实际的使用过程中存在混合均匀度低且不方便工作人员对其进行清洗的问题。
9.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
10.本实用新型为一种配置蚀刻液用酸性原料的混合系统，包括混合槽和搅拌机构，所述搅拌机构主要由搅拌轴和搅拌叶构成，多个所述搅拌叶沿搅拌轴的轴线方向呈阵列设置在搅拌轴上，所述搅拌轴的两端均通过滚动轴承转动连接在拆卸板上，所述拆卸板的两侧面及地面上均设置有卡板，同时混合槽的两侧面上均设置有用于拆卸板放置及卡板间隙配合的插槽；
11.所述混合槽的一侧面上端位置固定连接有进液pp管，同时进液pp管的另一端与三个输料pp管连接，每一个所述输料pp管上均固定安装有一个隔膜泵；
12.所述混合槽的底面与混合槽的一侧面上端位置通过循环pp管连接，所述循环pp管
上依次固定安装有循环泵和第一电磁阀。
13.进一步地，所述搅拌轴的一端穿过拆卸板延伸至拆卸板的外侧嵌合在电机的输出端中，所述电机固定连接在拆卸板的外侧壁上。
14.进一步地，所述搅拌轴由两个同轴的杆体组成，且两个杆体相对较近的端面上设置有l形卡槽，所述l形卡槽位置的杆体上沿轴线方向设置有贯穿孔，在两个l形卡槽配合成一个柱体时，相对齐的贯穿孔之间通过固定螺栓配合固定。
15.进一步地，所述卡板靠近混合槽内部一侧的插槽中放置有u形橡胶板，同时u形橡胶板位置的混合槽外侧壁上螺旋配合有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的一端抵合在卡板上。
16.进一步地，所述混合槽的顶面上还设置有密封盖，所述密封盖与混合槽的一侧面之间通过铰链铰合。
17.进一步地，所述混合槽的底面一侧还固定安装有出液pp管，所述出液pp管上固定安装有第二电磁阀。
18.本实用新型具有以下有益效果：
19.1、本实用新型通过三个输料pp管的设置，方便氯化氢、氟化氢、硝酸反应液的进入，而通过隔膜泵的设置，可以用于调整各反应液添加量的控制，使整个配比更加的准确，通过进液pp管进入混合槽中的各反应液除了在搅拌机构搅拌混合的作用下，还可以通过循环泵带动循环pp管控制，来实现更加充分的混合，避免底部的反应液因无法充分搅拌而导致的混合不均匀。
20.2、本实用新型通过拆卸板的设置，在工作人员松开锁紧螺栓的作用下，可以实现拆卸板相对于插槽的拆卸，进而将整个搅拌机构从混合槽中拆卸下来，便于工作人员对搅拌机构和混合槽的充分清洗。
附图说明
21.图1为本实用新型的整体结构示意图；
22.图2为本实用新型图1结构的仰视图；
23.图3为本实用新型中搅拌轴的待组合图。
24.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
25.1、混合槽；2、隔膜泵；3、搅拌轴；4、密封盖；5、拆卸板；6、u形橡胶板；7、循环pp管；101、进液pp管；102、插槽；103、锁紧螺栓；104、出液pp管；105、第二电磁阀；201、输料pp管；301、搅拌叶；302、电机；303、l形卡槽；304、固定螺栓；305、贯穿孔；401、铰链；501、卡板；701、循环泵；702、第一电磁阀。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
27.请参阅图1-3所示，本实用新型为一种配置蚀刻液用酸性原料的混合系统，包括混合槽1和搅拌机构，混合槽1的顶面上还设置有密封盖4，密封盖4与混合槽1的一侧面之间通过铰链401铰合，密封盖4的设置可以在混合操作时，起到安全防护的作用，避免混合槽1中的反应液飞溅，搅拌机构主要由搅拌轴3和搅拌叶301构成，多个搅拌叶301沿搅拌轴3的轴
线方向呈阵列设置在搅拌轴3上，搅拌轴3的两端均通过滚动轴承转动连接在拆卸板5上，搅拌轴3的一端穿过拆卸板5延伸至拆卸板5的外侧嵌合在电机302的输出端中，电机302固定连接在拆卸板5的外侧壁上，拆卸板5的两侧面及地面上均设置有卡板501，同时混合槽1的两侧面上均设置有用于拆卸板5放置及卡板501间隙配合的插槽102；
28.卡板501靠近混合槽1内部一侧的插槽102中放置有u形橡胶板6，u形橡胶板6的设置可以起到密封的作用，避免反应液从插槽102位置溢出，同时u形橡胶板6位置的混合槽1外侧壁上螺旋配合有锁紧螺栓103，锁紧螺栓103的一端抵合在卡板501上；
29.上述设置在使用时，电机302的转动可以带动搅拌轴3进行转动，在搅拌轴3转动的作用下，可以带动搅拌叶301对混合槽1中的反应液进行搅拌，在实际使用中，当需要对搅拌机构进行拆卸时，只需要通过工具拧松锁紧螺栓103，及便于拆卸板5的抽拉取出，而清洗完成之后，在拆卸板5配合在插槽102中之后，只需要拧紧锁紧螺栓103使u形橡胶板6处于挤压状态，即实现本装置的安装；
30.另外，在实际使用中，本装置中各电器元件通过传导线与控制器连接，便于控制器对各电器元件的控制，u形橡胶板6采用耐酸耐腐蚀材质构成。
31.其中如图1-2所示，混合槽1的一侧面上端位置固定连接有进液pp管101，同时进液pp管101的另一端与三个输料pp管201连接，每一个输料pp管201上均固定安装有一个隔膜泵2，隔膜泵2的设置便于反应液流量的调整，输料pp管201外接提纯系统或储存罐；
32.混合槽1的底面与混合槽1的一侧面上端位置通过循环pp管7连接，循环pp管7上依次固定安装有循环泵701和第一电磁阀702，第一电磁阀702用于控制循环pp管7的通断；
33.混合槽1的底面一侧还固定安装有出液pp管104，出液pp管104上固定安装有第二电磁阀105，出液pp管104的设置便于混合之后的反应液转移，第二电磁阀105的设置用于控制出液pp管104的通断；
34.上述设置在使用时，在隔膜泵2的工作下，反应液通过输料pp管201和进液pp管101进入混合槽1中，控制器控制循环泵701工作，在搅拌机构搅拌的同时，混合槽1底部的反应液通过循环pp管7流向混合槽1上部，实现充分的混合，混合之后，通过打开第二电磁阀105，出液pp管104实现混合液的排出。
35.其中如图3所示，搅拌轴3由两个同轴的杆体组成，且两个杆体相对较近的端面上设置有l形卡槽303，l形卡槽303位置的杆体上沿轴线方向设置有贯穿孔305，在两个l形卡槽303配合成一个柱体时，相对齐的贯穿孔305之间通过固定螺栓304配合固定，该设置便于搅拌轴3从中部拆卸下来，便于较大的搅拌机构从混合槽1中的搬离。
36.以上仅为本实用新型的优选实施例，并不限制本实用新型，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，所作的任何修改、等同替换、改进，均属于在本实用新型的保护范围。