技术特征：
1.一种集成式显影槽喷头，用于显影设备，其特征在于，包括：本体；至少两个清洗液喷嘴和至少一个显影液喷嘴；清洗液接口，用于连接所述显影设备的清洗液管路；显影液接口，用于连接所述显影设备的显影液管路；其中，所述本体具有至少一个清洗液通道和至少一个显影液通道，所述清洗液接口和所述清洗液喷嘴均与所述清洗液通道连通，所述显影液接口和所述显影液喷嘴均与所述显影液通道连通；至少一个所述显影液喷嘴的两侧各设置有一个所述清洗液喷嘴。2.根据权利要求1所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述显影液喷嘴设置于所述本体的底部，且喷射方向向下；所述显影液喷嘴两侧的所述清洗液喷嘴的喷射方向分别向下向外地斜向设置。3.根据权利要求2所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述显影液喷嘴的数量为至少2个，且排成一列；所述清洗液喷嘴的数量为多个，且在排成一列的所述显影液喷嘴的两侧各排成一列。4.根据权利要求3所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述本体的底部的两侧具有倒角状的斜面，所述清洗液喷嘴设置于所述斜面上，所述显影液喷嘴设置于所述底部的中部。5.根据权利要求3所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述清洗液通道的数量为2个，每个所述清洗液通道与位于所述显影液喷嘴一侧的所述清洗液喷嘴连通；每个所述清洗液通道均和至少2个所述清洗液接口连通。6.根据权利要求1至5中任一项所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述显影液通道还和至少一个所述清洗液接口连通。7.根据权利要求1至5中任一项所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述显影液通道和至少2个所述显影液接口连通。8.根据权利要求1至5中任一项所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，还包括连接杆，固定至所述本体，所述连接杆具有一沿长度方向延伸的贯通槽，用于调节所述集成式显影槽喷头和所述显影设备的显影槽机械臂的连接位置；所述清洗液喷嘴和所述显影液喷嘴均呈凸起设置于所述本体的喷管状。9.根据权利要求1至5中任一项所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，每个所述清洗液接口均用于连接至独立控制的所述清洗液管路；每个所述显影液接口均用于连接至独立控制的所述显影液管路。10.一种显影设备，其特征在于，包括：权利要求1至9中任一项所述的集成式显影槽喷头；显影槽机械臂，所述集成式显影槽喷头的本体连接至所述显影槽机械臂；其中，所述显影槽机械臂用于移动所述集成式显影槽喷头进行硅片的显影液喷涂工艺和清洗工艺。
技术总结
本申请提供了一种集成式显影槽喷头及显影设备。显影槽喷头包括本体、清洗液喷嘴、显影液喷嘴、清洗液接口、显影液接口和连接杆。清洗液接口用于连接显影设备的清洗液管路，显影液接口用于连接显影设备的显影液管路，本体具有至少一个清洗液通道和至少一个显影液通道，清洗液接口和清洗液喷嘴均与清洗液通道连通，显影液接口和显影液喷嘴均与显影液通道连通；排成一列的显影液喷嘴的两侧各设置有一列清洗液喷嘴，且清洗液喷嘴斜向设置于本体底部两侧的倒角状斜面上。每个清洗液通道可与多个清洗液接口连接，每个显影液通道可与多个显影液接口连接，显影液通道还可与清洗液接口连接。显影设备包括上述集成式显影槽喷头。影设备包括上述集成式显影槽喷头。影设备包括上述集成式显影槽喷头。
技术研发人员：金浩天 刘祝
受保护的技术使用者：上海众鸿电子科技有限公司
技术研发日：2022.05.17
技术公布日：2022/10/13