一种半导体晶圆激光切割用粉尘处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及粉尘回收处理领域，具体为一种半导体晶圆激光切割用粉尘处理装置。


背景技术：

2.在机械加工过程中，凡是改变生产对象的形状、尺寸、位置和性质等，使其成为成品或者半成品的过程称为工艺过程。它是生产过程的主要部分。工艺过程又可分为铸造、锻造、冲压、焊接、机械加工、装配等工艺过程，机械制造工艺过程一般是指零件的机械加工工艺过程和机器的装配工艺过程的总和，其他过程则称为辅助过程，例如运输、保管、动力供应、设备维修等。工艺过程又是由一个或若干个顺序排列的工序组成的，一个工序由有若干个工步组成。激光切割加工基于不可见的光束代替传统的机械刀，具有精度高和切割快速的优点，在切割过程中产生大量粉尘，因此，需配备粉尘回收处理装置对粉尘进行收集处理以提高激光切割环境的环保性，传统的粉尘回收处理装置在使用时，未提供激光切割结构的安装防护影响了集尘结构于装置上安装的契合度，同时，撤去风力时粉尘下落而影响粉尘的回收处理质量且对吸附粉尘的清理不便，影响了粉尘回收处理装置的使用，因此提出一种半导体晶圆激光切割用粉尘处理装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆激光切割用粉尘处理装置，通过设置支撑柱和连接杆对防尘罩进行固定，保证使用时的稳定性，通过在防尘罩内设置吸风机和进气管、在防尘罩顶部设置连接管，对防尘罩内的粉尘进行收集，结构简单实用，提高粉尘的回收处理质量，通过在水箱内设置过滤组件，对吸收的粉尘进行过滤，通过在水箱顶部设置箱盖和把手，便于对吸附粉尘的清理，方便工作人员的使用。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆激光切割用粉尘处理装置，包括工作台，所述工作台上设置有支撑组件、防尘罩和水箱，所述防尘罩内设置有吸气组件，所述防尘罩顶部设置连接管，所述连接管上安装有引风机，所述连接管的另一端位于水箱内部，所述水箱内部设置有过滤组件、排水口和进水口。
5.优选的，所述支撑组件包括支撑柱和连接杆，所述支撑柱设置有四组，每两组所述支撑柱之间皆设置有连接杆。
6.优选的，四组所述支撑柱呈相同设置，且四组所述支撑柱的顶部与防尘罩顶部固定连接，所述防尘罩呈半圆型设置。
7.优选的，所述吸气组件包括两组吸风机和两组进气管，两组所述吸风机位于防尘罩内部，两组所述进气管与防尘罩贯穿连接。
8.优选的，所述过滤组件包括过滤网、活性炭过滤层和活性硅砂过滤层，所述活性炭过滤层位于活性硅砂过滤层的上方，所述活性硅砂过滤层位于过滤网的上方。
9.优选的，所述过滤组件位于水箱的顶部，所述进水口位于过滤组件的下方，所述排
水口位于水箱的底部。
10.优选的，所述水箱顶部设置有箱盖，所述箱盖的上方设置有把手，所述箱盖和水箱的连接处皆设置有密封条。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型主要通过在防尘罩内设置吸风机和进气管、在防尘罩顶部设置连接管，对防尘罩内的粉尘进行收集，结构简单实用，提高粉尘的回收处理质量。
13.2、本实用新型通过设置支撑柱和连接杆对防尘罩进行固定，保证使用时的稳定性。
14.3、本实用新型通过在水箱内设置过滤组件，对吸收的粉尘进行过滤，通过在水箱顶部设置箱盖和把手，便于对吸附粉尘的清理，方便工作人员的使用。
附图说明
15.图1为本实用新型正视图；
16.图2为本实用新型立体结构示意图；
17.图3为本实用新型支撑柱与连接杆结构示意图；
18.图4为本实用新型防尘罩内部结构剖视示意图；
19.图5为本实用新型过滤组件结构示意图。
20.图中：1、工作台；2、防尘罩；3、进气管；4、把手；5、引风机；6、连接管；7、进水口；8、箱盖；9、过滤网；10、水箱；11、活性硅砂过滤；12、吸风机；13、连接杆；14、支撑柱；15、排水口；17、活性炭过滤层。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆激光切割用粉尘处理装置，包括工作台1，工作台1上设置有支撑组件、防尘罩2和水箱10，防尘罩2内设置有吸气组件，防尘罩2顶部设置连接管6，连接管6上安装有引风机5，连接管6的另一端位于水箱10内部，水箱10内部设置有过滤组件、排水口15和进水口7，通过设置支撑柱14和连接杆13对防尘罩2进行固定，保证使用时的稳定性，通过在防尘罩2内设置吸风机12和进气管3、在防尘罩2顶部设置连接管6，对防尘罩2内的粉尘进行收集，结构简单实用，提高粉尘的回收处理质量，通过在水箱10内设置过滤组件，对吸收的粉尘进行过滤，通过在水箱10顶部设置箱盖8和把手4，便于对吸附粉尘的清理，方便工作人员的使用。
23.支撑组件包括支撑柱14和连接杆13，支撑柱14设置有四组，每两组支撑柱14之间皆设置有连接杆13，通过设置支撑柱14和连接杆13对防尘罩2进行固定，保证使用时的稳定性。
24.四组支撑柱14呈相同设置，且四组支撑柱14的顶部与防尘罩2顶部固定连接，防尘罩2呈半圆型设置，通过设置支撑柱14和连接杆13对防尘罩2进行固定，保证使用时的稳定
性。
25.吸气组件包括两组吸风机12和两组进气管3，两组吸风机12位于防尘罩2内部，两组进气管3与防尘罩2贯穿连接，通过在防尘罩2内设置吸风机12和进气管3、在防尘罩2顶部设置连接管6，对防尘罩2内的粉尘进行收集，结构简单实用，提高粉尘的回收处理质量。
26.过滤组件包括过滤网9、活性炭过滤层17和活性硅砂过滤11层，活性炭过滤层17位于活性硅砂过滤11层的上方，活性硅砂过滤11层位于过滤网9的上方，结构简单实用，提高粉尘的回收处理质量。
27.过滤组件位于水箱10的顶部，进水口7位于过滤组件的下方，排水口15位于水箱10的底部，通过在水箱10内设置过滤组件，对吸收的粉尘进行过滤,提高粉尘的回收处理质量。
28.水箱10顶部设置有箱盖8，箱盖8的上方设置有把手4，箱盖8和水箱10的连接处皆设置有密封条，通过在水箱10顶部设置箱盖8和把手4，便于对吸附粉尘的清理，方便工作人员的使用。
29.具体使用时，首先将防尘罩2固定在多组支撑柱14和工作台1上方，然后打开吸风机12和引风机5，通过进气管3和连接管6对内部粉尘进行排出，再通过水箱10内的过滤组件、进水口7和排水口15对粉尘进行处理，对吸收的粉尘进行过滤，通过设置支撑柱14和连接杆13对防尘罩2进行固定，保证使用时的稳定性，通过在防尘罩2内设置吸风机12和进气管3、在防尘罩2顶部设置连接管6，对防尘罩2内的粉尘进行收集，结构简单实用，提高粉尘的回收处理质量，通过在水箱10内设置过滤组件，对吸收的粉尘进行过滤，通过在水箱10顶部设置箱盖8和把手4，便于对吸附粉尘的清理，方便工作人员的使用。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。