一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法与流程

本发明属于光刻胶，具体为一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法。

背景技术：

1、光刻胶是一种用于微电子制造中的材料，它可以通过光刻技术制造微小的结构和线路。光刻胶通常由聚合物、单体、溶剂和光敏剂等组成。在光刻过程中，光敏剂会吸收光能并引起化学反应，从而使光刻胶产生化学或物理变化，形成所需的微结构和线路，光刻胶是目前制造先进集成电路的关键材料，光刻胶的成膜材料是各类光刻胶树脂，目前主流的arf和krf光刻胶都是通过自由基聚合制备出树脂溶液，并通过进行过滤纯化得到高质量光刻胶。

2、现有技术中的光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，在使用过程中，通常需要经过初级过滤、离心分离和色谱柱分离，进行从低到高精度的过滤纯化，然而目前的过滤纯化过程中需要单独依次进行多重分离纯化的步骤，实际在完成初级过滤后进行后续等纯化操作时，均需要进行不同容器的装载和转移，使得光刻胶成膜树脂进行过滤纯化时的效率较低，多步骤协同处理的连续性较差，整体装置的集成度较低，使得中间操作时间大大增加，降低处理效率的同时大大增加了安装布置的空间体积，实际使用效果不佳。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法，包括处理筒，所述处理筒的内部套设有初滤板，所述处理筒的内部固定套接有一号引导套，所述初滤板的底面固定连通有套杆，所述套杆的下端穿过一号引导套并延伸至下方且固定连接有挡板，所述挡板的顶面与一号引导套的底面之间固定连接有弹簧，所述初滤板的内部活动套接有转轴，所述转轴的外表面固定套接有离心筒，所述离心筒位于一号引导套的下方且与一号引导套相连通，所述处理筒的顶部固定安装有转动机构，所述转动机构的输出轴与转轴的上端固定连接，所述初滤板的顶面固定安装有引导弧板，所述引导弧板环形等间距分布在初滤板的顶部，所述转轴的外表面固定套接有推动机构，所述推动机构包括固定环、中间板、一号环板和推杆，所述推杆的下端位于引导弧板的上方，所述处理筒的底面螺纹套接有安装套，所述安装套的内表面固定套接有二号引导套，所述二号引导套的底面固定连通有导出管，所述导出管的下方套设有连通机构，所述连通机构包括有连通套、曲管、连通框、压板和顶部杆，所述顶部杆的顶面固定安装有连接机构，所述处理筒的外表面固定连接有侧板，所述侧板的底面固定连接有电动推杆，所述电动推杆的下端与连接机构可拆卸连接，所述连通机构的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面套设有出料机构，所述出料机构包括出料套、安装孔、中间腔、出口孔和套孔，所述出料套活动套设在固定杆的外表面上，所述固定杆的外表面螺纹套接有螺纹套，所述安装孔的内表面活动套设有色谱柱，所述色谱柱的上端与连通机构相连通，所述处理筒外表面的上方设有缺口。

3、优选的，所述转动机构包括安装架、电机架和电机，所述安装架固定安装在处理筒的顶部，所述电机架固定安装在安装架的顶部，所述电机固定安装在电机架的内部，所述电机的输出轴与转轴固定连接。

4、优选的，所述固定环固定套接在转轴的外表面上，所述一号环板位于固定环的外侧，所述中间板的两端分别与一号环板和固定环固定连接，所述推杆固定安装在一号环板的底面上。

5、优选的，所述转轴的外表面固定套接有套管，所述套管的外表面固定连接有环形分布的搅动板，所述搅动板位于初滤板的顶部。

6、优选的，所述连通套活动套接在导出管的外侧，所述曲管固定连通在连通套的底面上，所述连通框的侧面与曲管的外端固定连通，所述压板活动套接在连通框的内部，所述顶部杆活动套接在连通框的顶部，所述顶部杆的下端与压板固定连接，所述连通框的底部与色谱柱相连通。

7、优选的，所述连接机构包括二号环板、顶部套和螺栓，所述二号环板的底面与顶部杆固定连接，所述顶部套固定连接在二号环板的顶面，所述顶部套套设在电动推杆下端的外侧，所述螺栓螺纹套接在顶部套的外表面上。

8、优选的，所述出料机构还包括有套孔，所述套孔的内表面与固定杆活动套接，所述中间腔开设在出料套的内部，所述安装孔和出口孔分别开设在出料套的上下面上，所述安装孔和出口孔均于中间腔相连通，所述套孔贯穿出料套的上表面且与中间腔相连通，所述螺纹套位于出口孔中。

9、优选的，所述处理筒的底面开设有环槽，所述环槽的内表面开设有螺纹，所述环槽的内表面与安装套螺纹套接。

10、一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化方法，包括以下操作方法：

11、第一步：初级过滤、将处理后的光刻胶成膜树脂溶液从处理筒顶部投入，并填充至初滤板的顶部，使得大颗粒杂质过滤在初滤板的顶部，过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下渗透，同时启动转动机构，使得电机带动转轴旋转，转轴旋转时同时带动推动机构和套管旋转，使得推动机构中的推杆沿着初滤板的顶部边缘旋转，并间歇的沿着引导弧板顶部转动，同时压缩初滤板向下移动，随着间歇下压引导弧板以及初滤板底部弹簧的形变，使得初滤板振动过滤；

12、第二步：离心分离、随着振动过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下掉落至一号引导套的内部，并沿着其内壁向下滑落至离心筒中，同时随着转轴的旋转，使得转轴带动离心筒旋转，将离心筒的光刻胶成膜树脂溶液中的悬浮物和不溶性物质过滤在离心筒的内部，二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液通过离心筒外侧渗透出并向下滑落至二号引导套中，且沿着其内壁向下滑落至连通机构中；

13、第三步：色谱分离、随着离心分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下流动至连通机构中，并沿着多组曲管进入到连通框中，使得光刻胶成膜树脂溶液进入到连通框底部对中连通的色谱柱中，并在色谱柱中进行杂质分离，分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下汇聚在出料机构中，并通过出料机构底面的出口孔向下流出，采用外接容器完成盛接即可。

14、本发明的有益效果如下：

15、1、本发明通过利用内置于处理筒中的初滤板与转轴活动套接，且利用转动机构中的电机带动转轴旋转时，同时带动转轴外表面上固定套接的离心筒旋转，在转轴的旋转下实现离心筒旋转时，随着初级过滤后的光刻胶成膜树脂溶液引导落入处理筒内部的离心筒中，实现过滤后的快速离心分离，并得到二次过滤的光刻胶成膜树脂溶液，同时配合底部活动安装的连通机构，将二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液再次引导至多组色谱柱中，进行色谱分离，实际三次不同类型的分离过程一起合成，且三组过滤方式集成在处理筒的内部和底部，大大减少了中间操作，在投入初始光刻胶成膜树脂溶液后直接从底部盛接多级过滤纯化后的光刻胶成膜树脂溶液，且在实际处理过程中同步完成初级过滤的加强处理，实际过滤纯化效率高，集成化下的纯化装置体积小，减小空间占比，使用效果好。

16、2、本发明通过再次利用转轴旋转时带动外表面套接的推动机构旋转，且配合初滤板顶面环形分布的引导弧板，在过滤并且旋转过程中，使得推动机构中的推杆间歇推动初滤板向下移动，且配合弹簧的弹性推力，实现初滤板的间歇振动，在不额外增加振动动力组件的情况下实现震动的初级过滤，减小辅助设备的采购和布置，使用效果好。

17、3、本发明通过配合处理筒外侧面上的电动推杆，并与连接机构通过螺栓固定夹紧，在色谱柱内部堵塞下通过启动电动推杆并推动连接机构下行，同时带动压板在连通框中挤压内部的光刻胶成膜树脂溶液，使得增压下将色谱柱内部堵塞物推出，实现便捷高效的清堵，维持稳定的色谱过滤效果，稳定实际纯化过程中，使用效果好。