废气处理方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种工业NF3废气的去除方法。
【背景技术】
[0002]NF3是近年来用于电子工业的一种新型蚀刻气和清洗气，其温室效应潜值达17200，存留时间约740a。在2008年召开的联合国环境大会上，NF3被列为限制排放的温室气体。因此，对于工业过程产生的NF3,废气先分解再排放是一项十分必要的工作。催化水解法是消除NF3等全氟化合物的有效方法，某些磷酸盐是NF3水解反应的良好催化剂，但NF3的水解产物HF是一种腐蚀性气体，对催化剂和反应器有强的腐蚀作用。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种操作安全简单、不产生腐蚀性气体HF的无水条件下NF3的去除方法。
[0004]本发明所述工业NF3废气的去除方法包括以下步骤:
(一)脱氟剂的制备
(I)用Mn (NO3) 2和Cr (NO3)3溶液分别浸渍MgO粉末；(2)在100°C下干燥；(3 )450°C下焙烧3 h，制得此/1^0和0/1^0系列脱氟剂，记为#/。，其中1/^0; (4)用等体积的纯水浸渍MgO;
[5]在450°C下焙烧3h，制得MgO试样；(5)Μη2θ3和Cr2O3试样分别由Mn2O4.2^0和Cr(NO3)3,.9Η20试剂经600°C焙烧3 h制得。
[0005](二)NF3分解反应，NF3分解反应在固定床反应器中进行，反应气体积组成为2%NF3/98%He，流量50mL/min，脱氟剂用量2 g，在400°C恒温下反应。
[0006]本发明所述工业NF3废气的处理方法，在400°C恒温下可以得到较好的转化效果，明显优于Fe/MgO，Co/MgO，Ni/MgO脱氟剂
【具体实施方式】:
本发明所述工业NF3废气的去除方法包括以下步骤:
(一)脱氟剂的制备
(I)用Mn (NO3) 2和Cr (NO3)3溶液分别浸渍MgO粉末；(2)在100°C下干燥；(3 )450°C下焙烧3 h，制得此/1^0和0/1^0系列脱氟剂，记为#/。，其中1/^0; (4)用等体积的纯水浸渍MgO;
(5)在450°C下焙烧3 h，制得MgO试样；(5)Μη2θ3和Cr2O3试样分别由Mn2O4.2^0和Cr(NO3)3,.9Η20试剂经600°C焙烧3 h制得。
[0007](二)NF3分解反应，NF3分解反应在固定床反应器中进行，反应气体积组成为2%NF3/98 % He，流量50mL/min，脱氟剂用量2 g，在400°C恒温下反应。用NF3全转化时间表示脱氟剂的反应活性。反应尾气用上海海欣色谱仪器公司的GC950型气相色谱仪分析。分析条件:He作载气，流量30
mL/min,Hayesep D固定相，柱温100°C，TQ)检测，桥电流12011^。测试结果表明400°(3时，NF3在MgO上的全转化时间为220 min，相比较而言，Mn/MgO的脱氟活性高于MgO，其中10%Mn/MgO的活性最高，NF3全转化时间达460 min，脱氟活性也明显优于Fe/MgO，Co/MgO，Ni/MgO脱氟剂。
【主权项】
1.工业NF3废气的去除方法，其特征在于包括以下步骤:(一)脱氟剂的制备:(I)用Mn(NO3)2和Cr(NO3)3溶液分别浸渍MgO粉末；(2)在100°C下干燥；(3)450°C下焙烧3 h，制得Mn/MgO和Cr/MgO系列脱氟剂，记为x%，其中M/MgO; (4)用等体积的纯水浸渍MgO; (5)在450°C下焙烧3 h，制得MgO试样；(5)Mn203和Cr2O3试样分别由Mn2O4.2Η20和Cr(NO3)3，.9Η20试剂经600°C焙烧3 h制得；(二)NF3分解反应，NF3分解反应在固定床反应器中进行，反应气体积组成为2%NF3/98%He，流量50mL/min，脱氟剂用量2 g，在400°C恒温下反应。
【专利摘要】本发明所述工业NF3废气的处理方法，涉及一种工业NF3废气的去除方法，本发明在400℃恒温下可以得到较好的转化效果，明显优于Fe／MgO，Co／MgO，Ni／MgO脱氟剂。
【IPC分类】B01D53/68, B01D53/82, B01D53/54
【公开号】CN105435622
【申请号】CN201510777912
【发明人】李长英
【申请人】陕西聚洁瀚化工有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年11月16日