激振装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激振装置。
【背景技术】
[0002]已知有在正交3轴方向上对振动台进行激振的3轴激振装置。为了在正交3轴方向上进行激振，例如需要将振动台与在Z轴方向上对该振动台进行激振的Z轴致动器利用2轴滑块以在X轴和Y轴方向上可滑动的方式连结。
[0003]在专利文献1中记载了通过使用由液压轴承构成的2轴滑块来实现3轴激振的激振装置。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特公昭49-7171号公报【实用新型内容】
[0007]实用新型要解决的技术问题
[0008]但是，液压轴承当例如以超过1kHz那样的高的频率进行动作时，存在摩擦热蓄积而使润滑油起火的情况。因此，不能够实现可在高频下进行多轴(2轴或3轴)激振的激振
目.ο
[0009]本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于实现高频下的多轴激振。
[0010]用于解决问题的技术方案
[0011]根据本实用新型一实施方式，提供一种激振装置，其包括:固定部；相对于固定部可移动的振动台；在第一方向上驱动振动台的驱动部；和通过滚动接触而在与第一方向垂直的第二方向上可滑动地连结驱动部与振动台的连结部。
[0012]在上述激振装置中，可以为以下结构，连结部包括:直线导向器，其在与第一方向垂直的方向上通过滚动接触来引导振动台相对于驱动部的移动；和连结驱动部与直线导向器的框架，直线导向器包括:在与第一方向垂直的方向上延伸的轨道；和在该轨道上移动的滑架，框架包括:固定于驱动部的底板；和设立在该底板上的连结板，连结板的规定方向上的前端形成有与该规定方向垂直的前端面，轨道安装于该前端面。
[0013]在上述激振装置中，可以为以下结构，连结板的第二方向上的宽度在前端面中与轨道的长度相当，在与底板接合的基端面中与该底板的宽度相当，底板的第二方向上的宽度与安装该底板的驱动部的振动台的顶板的宽度相当，连结板的第二方向上的宽度随着从前端面接近基端面而逐渐变窄，轨道的长度大于底板的第二方向上的宽度。
[0014]在上述激振装置中，可以为以下结构，直线导向器包括:第一直线导向器；和引导方向与该第一直线导向器正交的第二直线导向器，第二直线导向器的第二滑架固定于第一直线导向器的第一滑架，第一直线导向器的第一轨道固定于框架，第二直线导向器的第二轨道固定于振动台，直线导向器包括η个第二直线导向器，其中，η为自然数，第一直线导向器包括:1条第一轨道；和在该第一轨道上移动的η个第一滑架，第二直线导向器包括:1条第二轨道；和在第二轨道上移动的1个第二滑架，第二滑架各自固定于对应的第一滑架，η个第二直线导向器的第二轨道固定于振动台，η个第二直线导向器的第二轨道等间隔地配置在第一轨道的延长方向上。
[0015]在上述激振装置中，可以为以下结构，滑架包括:滑架主体；和夹在轨道与滑架主体之间，伴随滑架的移动而在轨道的轨道面上滚动的多个滚动体，滑架主体具有:滚动面，其与轨道的轨道面相对，夹在滚动面与该轨道面之间的滚动体在滚动面上滚动；和连通路径，在其两端，与形成在轨道的轨道面与滚动面之间的间隙连通，形成滚动体循环路径，滑架包括:比滚动体柔软的多个间隔件，该间隔件设置在滚动体间，与多个滚动体一同在滚动体循环路径循环；和连结多个间隔件的柔软的带状物，间隔件和带状物由树脂形成为一体，滚动体为圆柱状或球状，轨道的至少一个固定于振动台，固定于振动台的轨道的延伸方向为铅垂方向，在轨道形成有用于安装该轨道的多个轨道安装孔，轨道的延伸方向上的轨道安装孔的间隔s在以下(a)?(e)的任一范围内，(a)轨道的宽度W的2倍以下，(b)轨道的宽度W的3/2倍以下，(c)轨道的宽度W以下，(d)轨道的宽度W的50%至80%，(e)轨道的宽度W的60%至70%。
[0016]在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括:在X轴方向上驱动振动台的X轴驱动部；和在与X轴方向正交的Y轴方向上驱动振动台的Y轴驱动部，连结部包括:在Y轴方向上可滑动地连结X轴驱动部与振动台的X轴连结部；和在X轴方向上可滑动地连结Y轴驱动部与振动台的Y轴连结部，X轴连结部包括作为直线导向器的Y轴直线导向器，该Y轴直线导向器在Y轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于X轴驱动部的移动，Y轴连结部包括作为直线导向器的X轴直线导向器，该X轴直线导向器在X轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Y轴驱动部的移动。
[0017]在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括:在X轴方向上驱动振动台的X轴驱动部；在与X轴方向正交的Y轴方向上驱动振动台的Y轴驱动部；和在与X轴方向和Y轴方向两个方向正交的z轴方向上驱动振动台的Z轴驱动部，连结部包括:在Y轴方向和Z轴方向两个方向上可滑动地连结X轴驱动部与振动台的X轴连结部；在z轴方向和X轴方向两个方向上可滑动地连结Y轴驱动部与振动台的Y轴连结部；和在X轴方向和Y轴方向两个方向上可滑动地连结z轴驱动部与振动台的Z轴连结部，X轴连结部包括:作为直线导向器的Y轴直线导向器，其在Y轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于X轴驱动部的移动；和作为直线导向器的Z轴直线导向器，其为直线导向器，在Z轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于X轴驱动部的移动，Y轴连结部包括:作为直线导向器的Z轴直线导向器，其在Z轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Y轴驱动部的移动；和作为直线导向器的X轴直线导向器，其在X轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Y轴驱动部的移动，Z轴连结部包括:作为直线导向器的X轴直线导向器，其在X轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Z轴驱动部的移动；和作为直线导向器的Y轴直线导向器，其在Y轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于z轴驱动部的移动。
[0018]在上述激振装置中，可以为以下结构，Z轴连结部包括多个交叉导向器，该交叉导向器相对于Z轴驱动部在X轴方向和Y轴方向两个方向上引导振动台，交叉导向器包括:x轴直线导向器；和X轴直线导向器和滑架彼此所相互连结的Y轴直线导向器，多个交叉导向器包括多个第一交叉导向器和多个第二交叉导向器，第一交叉导向器的第一 X轴轨道固定于驱动部，第一交叉导向器的第一 Y轴轨道固定于振动台，第二交叉导向器的第二 X轴轨道固定于振动台，第二交叉导向器的第二 Y轴轨道固定于驱动部。
[0019]在上述激振装置中，可以为以下结构，第一交叉导向器与第二交叉导向器的个数差为1以下，多个交叉导向器的配置具有4次旋转对称性(360° /4旋转对称)，第二交叉导向器与第一交叉导向器相邻配置。
[0020]在上述激振装置中，可以为以下结构，包括:2个第一交叉导向器；和2个第二交叉导向器，第一交叉导向器与第二交叉导向器交替配置在正方形的顶点上。
[0021]实用新型的效果
[0022]根据本实用新型的一实施方式，不使用中间台就能够构成直线导向器方式的交叉导向器，通过实现小型且轻量化而能够提高激振装置的频率特性。
【附图说明】
[0023]图1是本实用新型实施方式的激振装置的俯视图。
[0024]图2是本实用新型实施方式的激振装置的侧视图。
[0025]图3是本实用新型实施方式的激振装置的侧视图。
[0026]图4是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的俯视图。
[0027]图5是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的侧视图。
[0028]图6是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的侧视图。
[0029]图7是本实用新型实施方式的X轴激振单元的俯视图。
[0030]图8是本实用新型实施方式的X轴激振单元的侧视图。
[0031]图9是本实用新型实施方式的X轴激振单元的正视图。
[0032]图10是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的侧视图。
[0033]图11是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的正视图。
[0034]图12是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的纵截面图。
[0035]图13是放大本实用新型实施方式的水平驱动用电动型致动器的中立弹簧机构附近的纵截面图。
[0036]图14是本实用新型实施方式的交叉导向器的外观图。
[0037]图15是本实用新型实施方式的A型直线导向器的俯视图。
[0038]图16是本实用新型实施方式的A型直线导向器的侧视图。
[0039]图17是本实用新型实施方式的A型直线导向器的正视图。
[0040]图18是本实用新型实施方式的B型直线导向器的俯视图。
[0041]图19是本实用新型实施方式的B型直线导向器的侧视图。
[0042]图20是本实用新型实施方式的B型直线导向器的正视图。
[0043]图21是说明安装于中继框架的顶板的轨道配置图。
[0044]图22是滚柱轴承式直线导向器的横截面图。
[0045]图23是图22的I 一 I截面图。
[0046]图24是表示直线导向器的滚柱与保持件的配置关系图。
[0047]图25是放大振动台附近的俯视图。
[0048]图26是放大X轴激振单元的支承单元的弹簧机构附近的图。
[0049]图27是本实用新型实施方式的激振装置的驱动控制系统的方块图。
[0050]图28是球轴承式直线导向器的横截面图。
[0051]图29是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0052]图30是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。
[0053]图31是本实用新型第二实施方式的Z轴激振单元的可动部外观图。
[0054]图32是本实用新型第二实施方式的中继框架外观图。
[0055]图33是本实用新型第二实施方式的XY滑块的Y轴轨道的立体图。
[0056]图34是放大本实用新型第三实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0057]图35是放大本实用新型第四实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0058]图36是放大本实用新型第四实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。
[0059]图37是本实用新型第五实施方式的激振装置的侧视图。
[0060]图38是本实用新型第五实施方式的激振装置的侧视图。
[0061]图39是本实用新型第六实施方式的激振装置的俯视图。
[0062]图40是本实用新型第六实施方式的激振装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0063]以下，参照【附图说明】本实用新型的实施方式。
[0064]另外，各图中就同一或对应的要素注记同一或对应的符号，并省略重复的说明。
[0065]<第一实施方式>
[0066]图1是本实用新型第一实施方式的电动型3轴激振装置1 (以下简称为“激振装置1”)的机构部10的俯视图。在以下的说明中，将图1中的左右方向设为X轴方向(将右方向设为X轴正方向)，将上下方向设为Y轴方向(将下方向设为Y轴正方向)，将垂直于纸面的方向设为z轴方向(将从纸面背面侧朝向表面侧的方向设为Z轴正方向)。另外，Z轴方向是铅垂方向，且X轴和Y轴方向是水平方向。此外，图2和图3分别是激振装置1的侧视图。另外，图2是朝向Y轴负方向(图1中的上方向)观看激振装置1的图，图3是朝向X轴负方向(图1中的左方向)观看激振装置1的图。
[0067]如图1所示，激振装置1的机构部10包括:在其上表面固定被测体(未图示)的振动台400 ;对振动台400分别在X轴、Y轴和Z轴方向上进行激振的3个激振单元(X轴激振单元100、Y轴激振单元200和Ζ轴激振单元300);和安装各激振单元100、200和300的装置底座500。
[0068]图4是Ζ轴激振单元300的俯视图，图5和图6是Ζ轴激振单元300的侧视图。另夕卜，图5是朝向Υ轴负方向观看Ζ轴激振单元300的图，图6是朝向X轴负方向观看Ζ轴激振单元300的图。
[0069]此外，图7、图8和图9分别是X轴激振单元100的俯视图、侧视图和正视图。另夕卜，图7、图8和图9分别是朝向Ζ轴负方向、Υ轴负方向和X轴负方向观看X轴激振单元100的图。
[0070]各激振单元100、200和300是分别包括电动型致动器(音圈马达)的直动激振单元。振动台400与各激振单元100、200和300分别经由作为滑动连结机构的两轴滑块(ΥΖ滑块160、ZX滑块260和XY滑块360)而连结。激振装置1使用各激振单元100、200和300，对振动台400和固定于振动台400上的被测体在正交3轴方向上进行激振。
[0071 ]图27是表示激振装置1的驱动控制系统la的概略结构的方块图。驱动控制系统la包括:控制整个装置动作的控制部20 ;计测振动台400的振动的计测部30 ;对控制部20供给电力的电源部40 ;和与外部进行输入输出的接口部50。<