一种用于消除白烟的静电除雾器的制作方法

文档序号:32627706发布日期:2022-12-21 00:14阅读:80来源:国知局
一种用于消除白烟的静电除雾器的制作方法

1.本实用新型涉及净化设备技术领域,具体涉及一种用于消除白烟的静电除雾器。


背景技术:

2.目前对于半导体、光伏等行业生产过程中,因蚀刻技术的需要,二流体喷雾技术得到很广泛的使用,二流体喷雾产生的小于10微米的酸性蚀刻物质,对于基材的蚀刻具有很好的效果,但是这些微小气雾颗粒在废气抽取下,进入后端废气处理设置进行处理时,因颗粒物粒径过小,直接穿透处理设备,导致在排气筒出口出现白烟现场,影响设备处理效果;此外一些机台产生的颗粒物,也会在排气筒出口出现白烟现场。
3.因此,需要研发出一种用于消除白烟的静电除雾器,用于消除排气筒的白烟现象。


技术实现要素:

4.本实用新型克服了现有技术的不足,提供一种用于消除白烟的静电除雾器,不仅能净化废气、消除白烟,还能对静电除雾区进行清洗操作。
5.为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:一种用于消除白烟的静电除雾器,包括净化塔,净化塔内设置有反应腔;净化塔上设置有进气口和出气口,反应腔内从下至上依次设置有循环水箱、净化区、静电除雾区,进气口通过净化区和静电除雾区与出气口连接;反应腔内还设置有与静电除雾区对应的清洗机构;净化区包括设置在反应腔内的填料层和填料喷淋层;清洗机构包括分别设置在静电除雾区上侧和下侧的冲洗喷淋层。
6.本实用新型一个较佳实施例中,净化塔上还设置有若干个绝缘箱,净化塔上还设置有若干个绝缘箱;绝缘箱与设置在静电除雾区内的若干个间隔设置的电极悬架电连接,电极悬架上设置有若干个向下垂放的放电极,放电极与电极悬架电连接。
7.具体的,净化塔上的左右对称设置的绝缘箱的金属板间隔设置在静电除雾区中,形成电极悬架。电极悬架的金属板上设置若干个间隔设置的放电极,保障高压电的输送。
8.本实用新型一个较佳实施例中,静电除雾区内设置有多个集尘管,且放电极插入集尘管内;静电除雾区内的集尘管和放电极组合形成静电场。具体的,每个集尘管内放置一支放电极。废气在经过静电场的过程中,水雾、盐酸雾等被赋予电荷,移动到集尘管上富集,在自重或冲洗喷淋层的喷淋下流入下方循环水箱。
9.本实用新型一个较佳实施例中,绝缘箱与电控盘电连接,且电控盘中的高压变频器通过电极悬架与放电极电连接。
10.具体的,电控盘控制整个系统的自动化操作,且电控盘中的高压变频器将380v电压变为0~100kv的高压电后,通过高压电缆输送至电极悬架、放电极。
11.本实用新型一个较佳实施例中,绝缘箱还连接有热风引入机构。具体的,绝缘箱还连接有热风引入机构,用于保障绝缘箱的温度与湿度在一定范围内。
12.本实用新型一个较佳实施例中,热风引入机构包括与绝缘箱连通的热风管;热风管的另一端与风机的出风口连接,且出风口上还设置有用于加热风机的气流的加热器。
13.本实用新型一个较佳实施例中,循环水箱连接有加药管,且循环水箱通过循环管以及循环水泵与填料喷淋层连接,对填料喷淋层供液。
14.本实用新型一个较佳实施例中,循环水箱的循环管还与冲洗喷淋层连接;或,冲洗喷淋层与外部的自来水管以及上水泵连接供液。
15.本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷,本实用新型的有益效果:
16.本实用新型提供一种用于消除白烟的静电除雾器,不仅能净化废气、消除白烟,还能对静电除雾区进行清洗操作。
17.1、去除废气中因二流体喷雾产生的白烟效果显著、稳定,受外界影响小。
18.2、设备一体化制作占地面积小。
19.3、设备可用于废气中的粉尘去除。
附图说明
20.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
21.图1是本实用新型优选实施例的爆炸结构示意图;
22.图2是本实用新型优选实施例一的整体管路结构示意图;
23.图3是本实用新型优选实施例二的整体管路结构示意图;
24.其中,1-循环水箱、2-进气口、3-填料区、4-填料喷淋层、5-冲洗喷淋层一、6-静电除雾区、7-绝缘箱、8-热风管、9-冲洗喷淋层二、10-出气口、11-风机、12-电控盘、13-冲洗喷淋阀、14-循环水泵、15-电极悬架、16-放电极、17-加热器、18-净化塔、19-集成板。
具体实施方式
25.现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明,这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
26.实施例一
27.如图1、图2所示,一种用于消除白烟的静电除雾器,包括净化塔18,净化塔18内设置有反应腔;反应腔内从下至上依次设置有循环水箱1、净化区、静电除雾区6,净化塔18上设置有与反应腔连通的进气口2,净化塔18的顶部设置有与静电除雾区6连接的出气口10。且进气口2通过净化区和静电除雾区6与出气口10连接。
28.具体的,净化区包括嵌设在反应腔内的填料层,填料层的上部设置有与填料层对应的填料喷淋层4。
29.具体的,净化塔18上还设置有相对设置的一组绝缘箱7,绝缘箱7还连接有热风引入机构。热风引入机构包括与绝缘箱7连接的热风管8;热风管8的另一端与风机11的出风口连接,且出风口上还设置有用于加热风机11的气流的加热器17。风机11吸取外界大气,通过加热器17加热后,热风通过热风管8进入绝缘箱7用于干燥绝缘箱7的内部供电环境,提升电气安全性能。
30.具体的,绝缘箱7与设置在静电除雾区6内的多个间隔设置的电极悬架15电连接,且电极悬架15上设置有多个间隔设置的放电极16。绝缘箱7与电控盘12电连接,且电控盘12中的高压变频器通过绝缘箱7与电极悬架15、放电极16电连接。静电除雾区6内还设置有多
个集尘管,集尘管包括多个拼接组装的集尘板。静电除雾区6内的集尘管和电极悬架15、放电极16组合形成静电场。进一步的,集尘管的形式包括但不限于方形管和六边型管,集尘板要求导电,材质包括但不限于cfrp(含碳粉的玻璃钢材质)、钢材。电极悬架15和放电极16的材质能根据待净化的废气的组成成分,选择不同的金属材质,包括但不限于sus304不锈钢、sus316不锈钢、钛材、904l不锈钢中的一种或多种。通过电控盘12中高压变频器将转换后的高压电输送至电极悬架15和放电极16,在通过放电极16进行放电,在静电除雾区6的多个集尘管形成静电场,去除污染物。
31.反应腔内还设置有与静电除雾区6对应的清洗机构;清洗机构包括分别设置在静电除雾区6上侧和下侧的冲洗喷淋层。位于静电除雾区6下上侧的为冲洗喷淋层一5,位于静电除雾区6上侧的为冲洗喷淋层二9。冲洗喷淋层二9布置在静电除雾区6的上方,循环水通过冲洗喷淋层二9的喷嘴向下喷出,冲洗静电除雾区6的集尘板。冲洗喷淋层一5在填料喷淋层4的上方,循环水通过冲洗喷淋层一5的喷嘴向上喷出,冲洗静电除雾区6的集尘板。
32.循环水箱1连接有加药管,且循环水箱1通过循环管以及循环水泵14与填料喷淋层4连接,对填料喷淋层4供液。循环水箱1的循环管还与冲洗喷淋层连接。
33.实施例二
34.在实施例一的基础上,如图1、图2所示,处理风量2000cmh,废气来源于半导体行业的des机台二流体喷雾产生的盐酸雾。
35.一种用于消除白烟的静电除雾器,包括净化塔18,净化塔18内设置有反应腔;反应腔内从下至上依次设置有循环水箱1、净化区、静电除雾区6,净化塔18上设置有与反应腔连通的进气口2,净化塔18的顶部设置有与静电除雾区6连接的出气口10。且进气口2通过净化区和静电除雾区6与出气口10连接。净化区包括嵌设在反应腔内的填料层,填料层的上部设置有与填料层对应的填料喷淋层4。具体的,循环水箱1位于净化塔18内部的底部,循环水箱1安装有进排水阀门、加药阀门、液位计、ph计、电导率计。循环水泵14安装在循环水箱1上。加药阀门采用加入30%氢氧化钠的方式进行加药。
36.净化区中的填料层安装在净化区中进气口2的上方,通过在填料层摆放散堆的填料构成净化区,散堆填料选择鲍尔环。循环水泵14通过循环管将循环水箱1中的液体运输至填料喷淋层4,并通过填料喷淋层4的喷嘴向下喷出,将填料区3的填料湿润。
37.静电除雾区6内设置有与外部的绝缘箱7连接的电极悬架15,通过线路将电控盘12中高压变频器转换后的高压电通过绝缘箱7输送至静电除雾区6内电极悬架15和放电极16,通过放电极16进行放电,在静电除雾区6的多个集尘管形成静电场,去除污染物。电极悬架15和放电极16的材质根据废气的组成成分,选择不同的金属材质,本实施例中电极悬架15的材质是904l不锈钢,放电极16的材质是钛材。
38.循环水通过冲洗喷淋层一5的喷嘴向上喷出,冲洗静电除雾区6的集尘板。静电除雾区6有多个集尘管组成,集尘管有四个集尘板拼接成方形管的形式,集尘板材质选择cfrp(含10%碳粉的玻璃钢材质)。冲洗喷淋层二9布置在静电除雾区6的上方,循环水通过冲洗喷淋层二9的喷嘴向下喷出,冲洗静电除雾区6的集尘板。冲洗喷淋阀13安装在循环管上,控制冲洗喷淋层一5和冲洗喷淋层二9的喷淋。
39.风机11吸取外界大气,通过加热器17加热后,热风通过热风管8进入绝缘箱7中进行干燥处理。
40.实施例三
41.如图1、图3所示,在实施例一或实施例二的基础上冲洗喷淋层与外部的自来水管以及上水泵连接供液。即冲洗喷淋阀13安装在自来水管上,控制冲洗喷淋层一5和冲洗喷淋层二9的喷淋。
42.工作原理:
43.如图1-图3所示,通过进气口2将废气引入净化塔18内的反应腔,净化区中的填料喷淋层4抽取循环水箱1中的液体从上朝下对调料层润湿填料,引入的废气通过反应腔内的净化区对废气进行初步降尘净化;然后通过静电除雾区6中的集尘板以及电极悬架15和放电极16对废气进行静电集尘,然后经过静电除雾区6中的静电除雾区6进行废气除雾。通过静电除雾区6中清洗机构中的冲洗喷淋层一5和冲洗喷淋层二9对静电除雾区6的集尘板进行冲洗。
44.以上依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
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