一种MEMS传感器低应力封装管壳及封装系统的制作方法

文档序号:12389467阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MEMS传感器低应力封装管壳,其特征在于,所述封装管壳用于封装MEMS芯片,所述封装管壳底端内部设有孤岛结构和应力隔离槽,其中;

孤岛结构,所述孤岛结构位于所述MEMS芯片中心下方,用于支撑所述MEMS芯片;

应力隔离槽,所述应力隔离槽位于所述孤岛结构周侧,用于隔离封装管壳形变对MEMS芯片的影响。

2.根据权利要求1所述的封装管壳,其特征在于,所述孤岛结构包括点胶孤岛、镂空凹槽和封闭支撑,所述点胶孤岛位于所述镂空凹槽内,所述封闭支撑位于所述镂空凹槽周侧,所述点胶孤岛通过镂空凹槽连接封闭支撑。

3.根据权利要求2所述的封装管壳,其特征在于,所述封闭支撑为方形或圆形凸起,所述封闭支撑与所述点胶孤岛高度相同。

4.根据权利要求2所述的封装管壳,其特征在于,所述应力隔离槽连接在所述封闭支撑外侧,所述应力隔离槽为方形或圆形的环状凹槽,所述应力隔离槽位于所述MEMS芯片周侧下方。

5.根据权利要求1所述的封装管壳,其特征在于,所述封装管壳内还设有温度传感器,所述温度传感器位于封装管壳内的MEMS芯片旁侧,孤岛结构外侧,用于测量MEMS芯片贴片区域的温度,作为温度补偿的依据。

6.根据权利要求1所述的封装管壳,其特征在于,所述封装管壳为氮化铝材料。

7.一种MEMS传感器低应力封装系统,基于上述权利要求1-6之一所述的封装管壳,其特征在于,所述封装系统包括封装管壳、电路板和勾形引脚,所述封装管壳通过勾形引脚连接所述电路板。

8.根据权利要求7所述封装系统,其特征在于,所述勾形引脚为可伐合金。

9.根据权利要求7所述封装系统,其特征在于,所述电路板为陶瓷材质,所述电路板位于封装管壳下方。

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