技术总结
本发明公开了一种电离式传感器的制造方法，包括在微纳电极基片基体材料上制备正面微纳放电电极阵列及背面电极；在转接板绝缘体基体材料上设置导电层电极；连接微纳电极基片的背面电极与转接板的正面电极，并相对固定；切断微纳电极基片但不切断转接板，在微纳放电电极阵列之间形成一条或多条气体间隙，以及将转接板电极接入信号检测电路，进行传感器信号检测等步骤。与现有技术相比，本发明通过分别控制微纳功能结构和辅助结构的加工质量，在器件结构具有微小电极间隙、放电电极系统为微纳结构的基础上，实现快速、低成本、高工艺兼容性的大批量加工制造。
技术研发人员：侯中宇
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2017.12.14
技术公布日：2018.06.08