技术特征：
技术总结
本发明提供基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法，利用硅微加工技术，在柔性基底上设置电极对；然后通过交流耦合介电电泳的方法，使单壁碳纳米管在悬浮液中的电场力作用下定向沉积在柔性基底上的电极对间；接着配比饱和的Au电镀液，实施区域选择性电沉积Au技术，实现Au电极上的定域沉积Au压覆单壁碳纳米管。本发明实现了单根或单束单壁碳纳米管的一维定向排布，提高器件的灵敏性和稳定性，易于工业化生产。
技术研发人员：郑富中;吴晨光;杨兴;周兆英;吴英;蒲杰;张杰
受保护的技术使用者：四川理工学院
技术研发日：2019.01.07
技术公布日：2019.04.12