本发明涉及半导体玻璃钝化
技术领域：
，尤其是涉及一种硅片玻璃钝化电泳工艺。
背景技术：
：随着半导体技术的发展，对半导体表面钝化的要求越来越高，作为钝化材料，应具备良好的电气性能、可靠性、良好的化学稳定性、可操作性以及经济性。根据上述要求，半导体钝化专用玻璃作为一种较为理想的半导体钝化材料在半导体行业中开始应用。利用半导体钝化专用玻璃制作的芯片称为玻璃钝化芯片(glasspassivationprocesschip)，即gpp芯片。目前生产gpp芯片的主要工艺是电泳工艺，通常达到所需要的玻璃层厚度的话，电泳液需要一定的浓度，而玻璃粉浓度高的电泳液进行电泳常常会出现很多不良，比如电泳过程不稳定、槽内玻璃造型不对称、甚至出现批量槽内玻璃不良的产品，而玻璃粉浓度低时电泳一段时间后电泳液中的玻璃粉无法有效的涂覆至硅片表面，导致生产过程中玻璃粉损耗高，玻璃粉利用率低。技术实现要素：本发明要解决的问题是提供一种硅片玻璃钝化电泳工艺，可以降低电泳过程中玻璃粉的损耗，提高玻璃粉利用率。为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种硅片玻璃钝化电泳工艺，包括将多批次硅片依次放入同一含有溶剂、玻璃粉和第一电解液的电泳液中进行电泳，并且在电泳若干批次硅片后向所述电泳液中添加第二电解液，然后继续电泳剩余若干批次硅片。技术方案中，优选的，在电泳至电泳液中玻璃粉的浓度不足以使玻璃粉电泳至硅片上时向电泳液中添加第二电解液。技术方案中，优选的，所述第二电解质溶液的添加量为每8-9l所述电泳液添加1-5ml所述第二电解液。技术方案中，优选的，所述第二电解液为酸或碱的溶液。技术方案中，优选的，所述第二电解液为硝酸或氨水的丙酮溶液。技术方案中，优选的，所述第一电解液为酸或碱的溶液。技术方案中，优选的，所述第一电解液为硝酸或氨水的溶液。技术方案中，优选的，所述电泳液浓度为每8-9l溶剂中加入60-120g所述玻璃粉和2-7ml所述第一电解液。技术方案中，优选的，所述电泳液的溶剂为丙酮。本发明具有的优点和积极效果是：本发明在电泳过程中通过向电泳液中加入电解液，显著提高了相同电泳液量，相同玻璃粉浓度下电泳液处理硅片的处理量，提高了玻璃粉的利用率，降低了玻璃粉的损耗。具体实施方式使用电泳法工艺对硅片进行玻璃钝化时，使用的玻璃粉的初始浓度不易过高，玻璃粉浓度高的电泳液进行电泳常常会出现很多不良，比如电泳过程不稳定、槽内玻璃造型不对称、甚至出现批量槽内玻璃不良的产品，但是使用玻璃粉浓度较低的电泳液，电泳一段时间后由于玻璃粉浓度低，使得适宜电泳时间内被涂覆至硅片上的玻璃粉量不足，此时更换新的电泳液会造成原电泳液中的玻璃粉被浪费，玻璃粉利用率低。如下表所示，为向电泳槽中添加1杯电泳液8-9l，浓度为每8-9l溶剂丙酮中加入60-120g玻璃粉和2-7ml浓度为2-6％的硝酸的丙酮溶液，使用该电泳液处理多架硅片，如表所示，该电泳液仅可有效处理7架硅片，共73片硅片，玻璃粉利用率低为52.81％，单片损耗高为1.78g。架数时间(s)增重(mg)产品编号电泳后效果1429612075ok2489822020ok354.39422071ok465.39952023ok575.78842067ok61009442027ok71358942081ok序号电泳架数片数玻璃粉利用率单片损耗(g)177352.81％1.78为解决这一问题，本发明提供一种硅片玻璃钝化电泳工艺，包括将多批次硅片依次放入同一含有玻璃粉和第一电解液的电泳液中进行电泳，并且在处理若干批次硅片后向电泳液中添加第二电解液，然后继续处理若干批次硅片。在电泳液中玻璃粉被消耗一定量后，玻璃粉的浓度下降，继续进行电泳，电泳液中的玻璃粉不易电泳至硅片表面，而此时加入一定量的第二电解液，其中的电解液在溶液中电离而带电，电泳液中的电荷增加，电泳速率会提升，在控制电泳时间之内可多电泳若干架硅片，且电泳玻璃粉增重合格；这样使得使用相同电泳液量，相同玻璃粉浓度下，电泳液可处理硅片的量增加，玻璃粉的利用率提高。因为电解液的定义为在含有电解质的溶液，而电解质在溶剂中可电离出带电粒子的化合物，因此根据以上原理可知，其中的第二电解液可以是任何种类的电解质的溶液，只要在溶液中可产生带点粒子的电解液均可实现本方案。优选方案，在电泳至电泳液中玻璃粉的浓度不足以使玻璃粉电泳至硅片上时向电泳液中添加第二电解液。电泳液中玻璃粉被消耗一定量，剩余较少量时添加第二电解液效果更好，如果在玻璃粉被消耗量较少时加入第二电解液，由于此时玻璃粉浓度还较高，第二电解液又加速玻璃粉的增重速度，会使玻璃粉增重速率过快产生电泳过程不稳定、槽内玻璃造型不对称等不良。优选方案，第二电解液的添加量为每8-9l电泳液添加1-5ml第二电解液。优选方案，第二电解液为酸或碱的溶液。优选方案，第二电解液为硝酸或氨水的丙酮溶液。优选方案，第一电解液为酸或碱的溶液。优选方案，第一电解液为硝酸或氨水的溶液。优选方案，电泳液浓度为每8-9l溶剂中加入60-120g玻璃粉和2-7ml第一电解液，电泳液中玻璃粉浓度不宜过高，过高会导致电泳过程不稳定、槽内玻璃造型不对称、甚至出现批量槽内玻璃不良的产品。优选方案，所述电泳液的溶剂为丙酮。下面结合具体实施例对本发明做详细介绍。实施例一向电泳槽中添加1杯电泳液8-9l，浓度为每8-9l溶剂丙酮中加入60-120g玻璃粉和2-7ml硝酸的丙酮溶液，使用该电泳液处理7架硅片后，向电泳液中添加5ml电解液，电解液为浓度为2-6％的硝酸的丙酮溶液，如表所示，添加电解液后，该电泳液又可多处理一架硅片，共处理8架硅片，共84片，玻璃粉利用率高，为64.72％，单片损耗较低，为1.55g。因此，可以看出，在电泳液中玻璃粉消耗掉一部分后加入适量的电解液，可以提高该电泳液对硅片的处理量，提高电泳液中玻璃粉的利用率，降低玻璃粉的损耗。架数时间(s)增重(mg)电泳后效果147941ok2511003ok362975ok473993ok5100967ok61351044ok71731010ok8200941ok序号电泳架数片数玻璃粉利用率单片损耗(g)288464.72％1.55实施例二向电泳槽中添加1杯电泳液8-9l，浓度为每8-9l溶剂丙酮中加入60-120g玻璃粉和2-7ml硝酸的丙酮溶液，使用该电泳液处理6架硅片后，向电泳液中添加3ml电解液，电解液为浓度为2-6％的硝酸的丙酮溶液，如表所示，添加电解液后，该电泳液又可处理两架硅片，共处理8架硅片，共81片，玻璃粉利用率高，为62.51％，单片损耗较低，为1.59g。因此，可以看出，在电泳液中玻璃粉消耗掉一部分后加入适量的电解液，可以提高该电泳液对硅片的处理量，提高电泳液中玻璃粉的利用率，降低玻璃粉的损耗。序号电泳架数片数玻璃粉利用率单片损耗(g)288162.51％1.59实施例三向电泳槽中添加1杯电泳液8-9l，浓度为每8-9l溶剂丙酮中加入60-120g玻璃粉和2-7ml硝酸的丙酮溶液，使用该电泳液处理7架硅片后，向电泳液中添加1ml电解液，电解液为浓度为2-6％的硝酸的丙酮溶液，如表所示，添加电解液后，该电泳液又可处理两架硅片，共处理8架硅片，共80片，玻璃粉利用率高，为62.23％，单片损耗较低，为1.57g。因此，可以看出，在电泳液中玻璃粉消耗掉一部分后加入适量的电解液，可以提高该电泳液对硅片的处理量，提高电泳液中玻璃粉的利用率，降低玻璃粉的损耗。架数时间(s)增重(mg)电泳后效果148976ok257998ok3681002ok480993ok598987ok61401003ok71711012ok8188967ok序号电泳架数片数玻璃粉利用率单片损耗(g)288062.23％1.57以上对本发明的几个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。当前第1页12