一种电镀模具抽真空设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型一种电镀模具抽真空设备属于集成电路制造领域。
【背景技术】
[0002]目前，集成电路的生产领域中，电子框架的选择性电镀是离不开电镀模具的辅助。但不管是轮镀头还是平板镀头一般都是采用RTV664A与RTV664B型的液态硅胶来制造而成的，但在实际生产过程中，以此类液态硅胶所生产的电镀模具容易出现气泡，出现了气泡的电镀模具产品将无法应用于后期的生产当中，从而为加大了企业的生产成本。因此，如何避免电镀模具在生产过程中出现气泡成为急需解决的问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于避免现有技术的不足，提供一种能避免电镀模具在生产过程中出现气泡的抽真空设备。
[0004]本实用新型的目的是通过以下措施来达到的，一种电镀模具抽真空设备由排气阀、真空压力表、箱体、活动隔板、箱门、气管、真空泵、支架组件组成，箱体的顶部分别设置有排气阀与真空压力表，箱门通过活动关节铰接于箱体的一侧，活动隔板安装在箱体的内部，所述的支架组件由支架、上底板、下底板构造而成，上底板与下底板按照从上到下的顺序嵌接与支架上，箱体盛放于支架上的上底板，真空泵则放置在下底板上，真空泵通过气管连接箱体。
【附图说明】
[0005]附图1是本实用新型的结构图。
【具体实施方式】
[0006]下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0007]图中:排气阀1、真空压力表2、箱体3、活动隔板4、箱门5、气管6、真空泵7、支架8、上底板9、下底板10。
[0008]如附图1所示，本实用新型一种电镀模具抽真空设备由排气阀1、真空压力表2、箱体3、活动隔板4、箱门5、气管6、真空泵7、支架组件组成，箱体3的顶部分别设置有排气阀I与真空压力表2，箱门5通过活动关节铰接于箱体3的一侧，活动隔板4安装在箱体3的内部，所述的支架组件由支架8、上底板9、下底板10构造而成，上底板9与下底板10按照从上到下的顺序嵌接与支架8上，箱体3盛放于支架上的上底板9，真空泵7则放置在下底板10上，真空泵8通过气管6连接箱体3。
[0009]本实用新型的工作原理:
[0010]将胶体放入箱体中，在真空泵的作用下，通过气管将里面的气体抽离。先是抽空箱体的气，然后在压力的作用下，胶体内部的气体膨胀，爆破，从而脱离胶体，形成致密的胶体，待抽完气泡后压制脱粒(或I父片)。
【主权项】
1.一种电镀模具抽真空设备，其特征是，由排气阀、真空压力表、箱体、活动隔板、箱门、气管、真空泵、支架组件组成，箱体的顶部分别设置有排气阀与真空压力表，箱门通过活动关节铰接于箱体的一侧，活动隔板安装在箱体的内部，所述的支架组件由支架、上底板、下底板构造而成，上底板与下底板按照从上到下的顺序嵌接与支架上，箱体盛放于支架上的上底板，真空泵则放置在下底板上，真空泵通过气管连接箱体。
2.根据权利要求1所述的一种电镀模具抽真空设备，其特征是，所述的活动隔板是可拆卸的。
【专利摘要】本实用新型公开了一种电镀模具抽真空设备，解决了以液态硅胶生产电镀模具的过程中容易出现气泡的问题，它由排气阀、真空压力表、箱体、活动隔板、箱门、气管、真空泵、支架组件组成，箱体的顶部分别设置有排气阀与真空压力表，箱门通过活动关节铰接于箱体的一侧，活动隔板安装在箱体的内部，所述的支架组件由支架、上底板、下底板构造而成，上底板与下底板按照从上到下的顺序嵌接与支架上，箱体盛放于支架上的上底板，真空泵则放置在下底板上，真空泵通过气管连接箱体。
【IPC分类】C25D5-02, C25D1-10
【公开号】CN204401122
【申请号】CN201420796104
【发明人】李发飘
【申请人】广州丰江微电子有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年12月17日