干泵安全停止装置及其使用方法以及干泵系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开一种干泵安全停止装置及其使用方法以及干泵系统，所述干泵安全停止装置包括：通过手摇接口与干泵连接的联轴器；设置于所述联轴器上的马达以及离合器，所述离合器位于所述马达与手摇接口之间；以及与所述马达以及离合器连接的控制器。采用本发明的干泵安全停止装置，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动干泵正常运转，从而避免干泵由于异常停止卡死。
【专利说明】干泵安全停止装置及其使用方法以及干泵系统
【技术领域】
[0001〕 本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种干泵安全停止装置及其使用方法以及干栗系统。
【背景技术】
[0002]平板显示器(1^0)行业中，干泵通常使用在化学气相沉积((^0)、干法刻蚀(00 等工艺制程中，由于工艺制程环境恶劣例如具有较多粉尘，干泵不允许异常停止，一旦干泵异常停止，粉尘等污染物会附着在干泵的转子上，很容易导致干泵卡死异常。
[0003]目前，为解决干泵异常停止的问题，业界通常的做法是在干泵异常停止后使用口?3电源保持干泵正常运转或安全停止，但干泵本身运行功率较大，即3电源较贵，成本较高。另一种做法是工作人员手动摇动干泵，以保持干泵正常运转，然而干泵数量较多，若手动摇动干泵，往往不能保证干泵及时和充分的摇动，仍然容易造成干泵卡死异常。
[0004]因此，提供一种能够实现干泵自动、安全停止的装置是十分必要的。
【发明内容】
[0005]本发明提供一种干泵安全停止装置，以解决干泵卡死异常的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本发明提供一种干泵安全停止装置，所述干泵包括一手摇接口，所述干泵安全停止装置包括:
[0007]通过所述手摇接口与所述干泵连接的联轴器；
[0008]设置于所述联轴器上的马达以及离合器，所述离合器位于所述马达与手摇接口之间；以及
[0009]与所述马达以及离合器连接的控制器；
[0010]其中，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。
[0011〕 可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述干泵安全停止装置还包括一减速机，所述减速机设置于所述联轴器上并与所述马达连接。
[0012]可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述干泵安全停止装置还包括一支架，所述支架用以支撑所述减速机。
[0013]可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述马达是减速马达。
[0014]可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述马达是直流马达。
[0015]可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述干泵安全停止装置还包括一电池，所述电池用于为所述马达以及控制器供电。
[0016]可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述控制器还连接一主设备的控制柜，所述控制器根据所述控制柜发送的信号控制所述离合器和马达。
[0017]可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述主设备是化学气相沉积设备或干法刻蚀设备。
[0018]本发明还提供一种干泵系统，包括一干泵，还包括如上所述的干泵安全停止装置。
[0019]本发明又提供一种干泵安全停止装置的使用方法，包括:
[0020]所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；以及
[0021]所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。
[0022]采用本发明的干泵安全停止装置，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转，从而避免干泵由于异常停止而卡死。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1为本发明干泵系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]下面将结合示意图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
[0025]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0026]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0027]如图1所示，本发明提供一种干泵安全停止装置，所述干泵10包括一手摇接口 11，所述干泵10安全停止装置包括:通过所述手摇接口 11与所述干泵10连接的联轴器21 ；设置于所述联轴器21上的马达22以及离合器23，所述离合器23位于所述马达22与手摇接口 11之间；以及与所述马达22以及离合器23连接的控制器24 ；其中，所述干泵10正常运转时，所述控制器24控制所述离合器23处于分离状态，并控制所述马达22不运转；所述干泵10发生异常时，所述控制器24控制所述离合器23处于连接状态，并控制所述马达22运转，以带动干泵10正常运转，从而避免干泵10由于异常停止而卡死。
[0028]优选实施例中，所述干泵10安全停止装置还包括一减速机25，所述减速机25设置于所述联轴器21上并与所述马达22连接，利用减速机25的低转速高扭矩的原理，即便采用小功率的马达，也可以通过减速机25实现小功率驱动干泵10低速旋转的目的。例如，所述马达22的转速为几千转(如)，所述减速机25可减速至几十转，以此带动干泵10低速运转一预定时间段，实现干泵10的安全停止。所述干泵10安全停止装置还可包括一支架27，所述减速机25设置于所述支架24上，通过所述支架27支撑所述减速机25。当然，本发明并不局限于上述方案，也可直接选用减速马达，如此则不必安装减速机，同样可实现带动干泵安全低速运转的目的。
[0029]继续参考图1，所述干泵10安全停止装置还包括一电池26，所述电池26用于为所述马达22以及控制器24供电，如此，即便出现断电情况，干泵10异常停止时，所述马达22、控制器24仍然可以依靠电池26正常运行，以驱动干泵10低速旋转一段时间，实现干泵10安全停止。所述马达22例如是2价或487的直流马达22，相应的采用2价或487的电池，所述控制器24还可以连接一交流电源，一方面所述交流电源可以为所述电池26充电，另一方面若并非是断电情况下导致干泵异常，那么交流电源也可同时为控制器24供电。
[0030]其中，所述离合器23为电磁离合器，可以由所述电池26为所述电磁离合器供电。当然，本发明不局限于电磁离合器，亦可采用其他类型的离合器，只要实现接合或断离动力传递作用的目的即可。
[0031〕 本实施例中，所述干泵10用于一主设备，所述控制器24连接于所述主设备的控制柜30，正常情况下，控制器24接收主设备的控制柜30发送的正常信号，电磁离合器23处于分离状态，干泵10正常运转时，安全停止装置不运转。当干泵10异常停止时，控制器24接收到主设备的控制柜30发送的异常信号，控制器24控制离合器23若干秒后闭合(通常，干泵异常停止后不会立即停止，在惯性的作用下会运行若干秒)，同时马达22运转，这时安全启动装置带动干泵10正常运转，一段时间后停止。
[0032]其中，所述干泵10可以是干式螺杆真空泵、无油往复真空泵、爪式真空泵或无油涡旋真空泵。所述主设备可以是平板显示器(1^0)行业或者半导体工艺所使用的化学气相沉积(￠:%)设备、干法刻蚀设备，也可以是其他行业所使用的其他设备，只要涉及到干泵需要安全停止的情况下均可适用于本发明的干泵安全停止装置。
[0033]本发明的干泵安全停止装置的结构简单，可选用价格低廉的马达22、减速机、电磁离合器以及控制器24实现干泵10的安全停止，一旦出现异常情况如干泵10突然断电时，通过干泵安全停止装置的电池为马达22、电磁离合器以及控制器24供电，从而带动干泵10低速旋转一预定时间段，然后再停止下来，如此可避免由于突然地异常停止而导致干泵卡死现象发生。即，只需要较低的成本就可以实现干泵的自动安全停止。此外，对于其他情况引起的干泵异常，同样可采用本发明的干泵安全停止装置实现干泵的自动安全停止。
[0034]根据本发明的另一面，还提供一种干泵系统，包括至少一个干泵10以及至少一个如上所述的干泵安全停止装置。其中，每个干泵10均对应一个如上所述的干泵安全停止装置，也可以仅部分干泵10安装了干泵安全停止装置。
[0035]相应的，本发明还提供一种干泵安全停止装置的使用方法，所述干泵10用于一主设备，所述干泵安全停止装置使用方法包括:
[0036]所述干泵10正常运转时，所述控制器24控制所述离合器23处于分离状态，并控制所述马达22不运转；以及
[0037]所述干泵10发生异常时，所述控制器24控制所述离合器23处于连接状态，并控制所述马达22运转，以带动所述干泵10正常运转。
[0038]其中，所述主设备包括一控制柜30，正常情况下，控制器24接收主设备的控制柜30发送的正常信号，电磁离合器23处于分离状态，干泵正常运转时，安全停止装置不运转。当干泵异常停止时，控制器24接收到主设备的控制柜30发送的异常信号，控制器24控制离合器23若干秒后闭合(通常，干泵异常停止后不会立即停止，在惯性的作用下会运行若干秒)，同时马达22运转，这时安全启动装置带动干泵正常运转，一段时间后停止。或者，当干泵异常停止时，也可以是干泵本身发出异常信号给控制器，即，干泵异常停止后可以是主设备发出异常信号，也可以是干泵本身发出异常信号，控制器24根据干泵或者主设备的控制柜30发出的异常信号控制所述离合器23处于连接状态，并控制所述马达22运转，以带动所述干泵10正常运转。如此，即可实现干泵的自动、安全停止。
[0039]需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的方法而言，由于与实施例公开的装置相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见装置部分说明即可。
[0040]显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种干泵安全停止装置，所述干泵包括一手摇接口，其特征在于，所述干泵安全停止装置包括: 通过所述手摇接口与所述干泵连接的联轴器； 设置于所述联轴器上的马达以及离合器，所述离合器位于所述马达与手摇接口之间；以及 与所述马达以及离合器连接的控制器； 其中，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。
2.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述干泵安全停止装置还包括一减速机和一支架，所述减速机设置于所述联轴器上并与所述马达连接，所述支架用以支撑所述减速机。
3.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述马达是减速马达。
4.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述马达是直流马达。
5.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述干泵安全停止装置还包括一电池，所述电池用于为所述马达以及控制器供电。
6.如权利要求1至5中任一项所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述控制器还连接一主设备的控制柜，所述控制器根据所述控制柜发送的信号控制所述离合器和马达。
7.如权利要求1至5中任一项所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述控制器还连接所述干泵，所述控制器根据所述干泵发送的信号控制所述离合器和马达。
8.如权利要求1至5中任一项所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述主设备是化学气相沉积设备或干法刻蚀设备。
9.一种干泵系统，包括至少一个干泵，其特征在于，还包括至少一个如权利要求1至8中任一项所述的干泵安全停止装置。
10.一种如权利要求1所述的干泵安全停止装置的使用方法，其特征在于，包括: 所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；以及 所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。
【文档编号】F04C28/06GK104295497SQ201410542981
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年10月14日 优先权日:2014年10月14日
【发明者】张田超, 汪建平, 王冰 申请人:昆山国显光电有限公司