鼓风机的制作方法

本发明涉及进行气体的输送的鼓风机。

背景技术：

以往，已知有各种进行气体的输送的鼓风机。例如，在专利文献1中公开有压电驱动的泵。

该泵具备压电盘、接合了压电盘的圆盘、以及与圆盘一起构成空洞的主体。在该主体形成有流体流入的流入口以及流体流出的流出口。流入口被设置于空洞的中心轴与空洞的外周之间。流出口被设置于空洞的中心轴。

在该结构中，专利文献1的泵对压电盘施加驱动电压，使压电盘伸缩。当通过压电盘的伸缩而圆盘弯曲振动时，流体从流入口吸引至空洞内，进而从流出口排出。

专利文献1：日本专利4795428号公报

但是，近年来的鼓风机致力于实现低消耗电力以及大排出流量。因此，谋求不增加消耗电力而使排出流量相比专利文献1的泵大幅增加的鼓风机。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供一种能够大幅增大单位消耗电力内的排出流量的鼓风机。

本发明的鼓风机为了解决上述课题而具备以下的结构。

本发明的鼓风机具备致动器以及壳体。

致动器具有振动部以及驱动体，该振动部具有第1主面与第2主面，该驱动体设置于振动部的第1主面以及第2主面中的至少一个主面，使振动部弯曲振动。

壳体壳体具有第1顶板部、第2顶板部以及侧壁部，该第1顶板部与致动器一起构成第1鼓风机室，且在该第1顶板部设置有第1通风孔，该第2顶板部与致动器一起构成第2鼓风机室，且在该第2顶板部设置有第2通风孔，该侧壁部将第1顶板部与振动部连接，并将第2顶板部与振动部连接。

振动部具有使第1鼓风机室的外周与第2鼓风机室的外周连通的开口部。侧壁部具有使第1鼓风机室的外周以及第2鼓风机室的外周与壳体的外部连通的第3通风孔。

在该结构中，当驱动驱动体时，振动部弯曲振动，第1鼓风机室的容积与第1鼓风机室的容积周期性地变化。具体而言，当第2鼓风机室的容积减少时第1鼓风机室的容积增大，当第1鼓风机室的容积减少时第2鼓风机室的容积增大。即，第1鼓风机室的容积与第2鼓风机室的容积以相反相位变化。

因此，当致动器驱动时，第1鼓风机室的外周的气体与第2鼓风机室的外周的气体经由开口部移动。因此，当致动器驱动时，第1鼓风机室的外周的压力与第2鼓风机室的外周的压力经由开口部相抵消，始终为大气压(波节)。

因此，即便第1鼓风机室的外周以及第2鼓风机室的外周经由较大的开口部以及第3通风孔与壳体的外部连通，该结构的鼓风机也能够防止排出压力、排出流量降低。

并且，在该结构的鼓风机中，当致动器驱动时，将从第3通风孔吸引的第1鼓风机室的气体经由第1通风孔朝壳体的外部排出，并将从第3通风孔吸引的第2鼓风机室的气体经由第2通风孔朝壳体的外部排出。

因而，在该结构的鼓风机中，与从一个通风孔(流出口)排出的专利文献1的泵的排出流量相比，能够大幅增大单位消耗电力内的排出流量。

此外，在本发明的鼓风机中，第3通风孔设置于侧壁部中的包围振动部的区域内，使开口部与壳体的外部连通。

在该结构中，从第1鼓风机室的外周至第3通风孔的最短距离与从第2鼓风机室的外周至第3通风孔的最短距离大致相等。因此，当致动器驱动时，第1鼓风机室的外周的压力与第2鼓风机室的外周的压力的双方容易以大气压(波节)稳定。

此外，在本发明的鼓风机中，优选在第1通风孔设置有第1阀，该第1阀防止气体从第1鼓风机室的外部朝内部流动。

在该结构的鼓风机中，能够利用第1阀防止气体从第1鼓风机室的外部经由第1通风孔朝第1鼓风机室的内部流动。因此，该结构的鼓风机能够实现高的排出压力以及高的排出流量。

此外，在本发明的鼓风机中，在第2通风孔设置有第2阀，该第2阀防止气体从第2鼓风机室的外部朝内部流动。

在该结构的鼓风机中，能够利用第2阀防止气体从第2鼓风机室的外部经由第2通风孔朝第2鼓风机室的内部流动。因此，该结构的鼓风机能够实现高的排出压力以及高的排出流量。

此外，在本发明的鼓风机中，优选驱动体是压电体。

此外，在本发明的鼓风机中，优选第1顶板部伴随着振动部的弯曲振动而弯曲振动。

在该结构中，由于第1顶板部伴随着振动部的振动而振动，因此实质上能够增大振动振幅。由此，本发明的鼓风机能够进一步增加排出压力与排出流量。

此外，在本发明的鼓风机中，优选第2顶板部伴随着振动部的弯曲振动而弯曲振动。

在该结构中，由于第2顶板部伴随着振动部的振动而振动，因此实质上能够增大振动振幅。由此，本发明的鼓风机能够进一步增加排出压力与排出流量。

此外，在本发明的鼓风机中，优选当将通过第1鼓风机室的气体的声速设为c，将满足第一类贝塞尔函数J₀(k₀)＝0的关系的值设为k₀时，从第1鼓风机室的中心轴至第1鼓风机室的外周的最短距离a与振动板的共振频率f满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系。

在该结构中，振动部以及壳体形成为使得第1鼓风机室为最短距离a。驱动体使振动部以共振频率f振动。

此处，在af＝(k₀c)/(2π)的情况下，振动部的振动的波节中的最外侧的波节与第1鼓风机室的压力振动的波节一致，产生压力共振。进而，在满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的情况下，振动部的振动的波节中的最外侧的波节也与第1鼓风机室的压力振动的波节大致一致。

因而，在满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的情况下，该结构的鼓风机能够实现高的排出压力以及高的排出流量。

此外，在本发明的鼓风机中，优选从第2鼓风机室的中心轴至第2鼓风机室的外周的最短距离为a。

在该结构中，振动部以及壳体形成为使得第1鼓风机室以及第2鼓风机室的双方为最短距离a。驱动体使振动部以共振频率f振动。

此处，在af＝(k₀c)/(2π)的情况下，振动部的振动的波节中的最外侧的波节与第1鼓风机室的压力振动的波节和第2鼓风机室的压力振动的波节一致，产生压力共振。进而，在0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的情况下，振动部的振动的波节中的最外侧的波节也与第1鼓风机室的压力振动的波节和第2鼓风机室的压力振动的波节大致一致。

因而，在满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的情况下，该结构的鼓风机能够从第1通风孔以及第2通风孔的双方实现高的排出压力以及高的排出流量。

根据本发明，能够大幅增大单位消耗电力内的排出流量。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的压电鼓风机100的外观立体图。

图2是图1所示的压电鼓风机100的外观立体图。

图3是图1所示的振动板41的俯视图。

图4是图1所示的压电鼓风机100的S－S线的剖视图。

图5是使图1所示的压电鼓风机100以一阶模式的频率(基波)动作时的压电鼓风机100的S－S线的剖视图。

图6是示出图1所示的压电鼓风机100中的、第1鼓风机室31的各点的压力变化与振动板41的各点的移位之间的关系的图。

图7是示出图1所示的压电鼓风机100的、半径a×共振频率f与压力振幅之间的关系的图。

图8是图1所示的第1壳体17的第1变形例所涉及的壳体517的俯视图。

图9是图1所示的第1壳体17的第2变形例所涉及的壳体617的俯视图。

图10是图1所示的第1壳体17的第3变形例所涉及的壳体717的俯视图。

图11是图1所示的第1壳体17的第4变形例所涉及的壳体817的俯视图。

具体实施方式

《本发明的实施方式》

以下，对本发明的实施方式所涉及的压电鼓风机100进行说明。

图1是本发明的实施方式所涉及的压电鼓风机100的外观立体图。图2是图1所示的压电鼓风机100的外观立体图。图3是图1所示的振动板41的俯视图。图4是图1所示的压电鼓风机100的S－S线的剖视图。

压电鼓风机100从上向下依次具备第1阀80、第1壳体17、振动板41、压电元件42、第2壳体117以及第2阀180，具有将上述部件依次层叠而成的构造。

振动板41为圆板状，例如由不锈钢(SUS)构成。振动板41的厚度为0.6mm。振动板41具有第1主面40A与第2主面40B。

如图3所示，振动板41具有：振动部141，在振动部141设置有压电元件42，该振动部141通过压电元件42而弯曲振动；第3侧壁部143，该第3侧壁部143包围振动部141的周围，且与后述的第1侧壁部19以及第2侧壁部119接合；以及连结部142，该连结部142将振动部141与第3侧壁部143连结在一起，且相对于第3侧壁部143弹性支承振动部141。振动板41例如通过对金属板实施冲裁加工而形成。

压电元件42为圆板形状，例如由锆钛酸铅类陶瓷构成。在压电元件42的两主面形成有电极。压电元件42与振动板41的第2鼓风机室131侧的第2主面40B接合，与所施加的交流电压相应地进行伸缩。此处，振动部141、连结部142以及压电元件42构成致动器50。

第1壳体17形成为下方开口的剖面コ字状。第1壳体17的前端与振动板41的第1主面40A接合。第1壳体17例如由金属构成。

第1壳体17与振动板41从振动板41的厚度方向夹压在一起而构成圆柱形状的第1鼓风机室31。此外，振动板41以及第1壳体17形成为使得第1鼓风机室31为半径a。在本实施方式中，第1鼓风机室31的半径a为6.1mm。

第1鼓风机室31是指当从正面观察振动板41的第1主面40A时，相比开口部62靠内侧的空间(更准确来说，相比连结全部的开口部62而构成的圆环靠内侧的空间)。因此，振动板41的第1主面40A中的相比开口部62靠内侧的区域(更准确来说，相比连结全部的开口部62而构成的圆环靠内侧的区域)构成第1鼓风机室31的底面。

第1壳体17具有：与振动板41的第1主面40A对置的圆板状的第1顶板部18；以及与第1顶板部18连接的圆环状的第1侧壁部19。第1顶板部18的一部分构成第1鼓风机室31的顶面。

第1顶板部18具有使第1鼓风机室31的中央部与第1鼓风机室31的外部连通的圆柱状的第1通风孔24。第1鼓风机室31的中央部是当从正面观察振动板41的第2主面40B时与压电元件42重叠的部分。在本实施方式中，第1通风孔24的直径为0.6mm。在第1顶板部18设置有第1阀80，该第1阀80防止气体从第1鼓风机室31的外部经由第1通风孔24朝内部流动。

第2壳体117形成为上方开口的剖面コ字状。第2壳体117的前端与振动板41的第2主面40B接合。第2壳体117例如由金属构成。

第2壳体117与致动器50从振动板41的厚度方向夹压在一起而构成圆柱形状的第2鼓风机室131。此外，振动板41以及第2壳体117形成为使得第2鼓风机室131为半径a。在本实施方式中，第2鼓风机室131的半径a也为6.1mm。

此外，第2鼓风机室131是指当从正面观察振动板41的第2主面40B时，相比开口部62靠内侧的空间(更准确来说，相比连结全部的开口部62而构成的圆环靠内侧的空间)。因此，致动器50的第2通风孔124侧的面中的相比开口部62靠内侧的区域(更准确来说，相比连结全部的开口部62而构成的圆环靠内侧的区域)构成第2鼓风机室131的底面。

第2壳体117具有：与振动板41的第2主面40B对置的圆板状的第2顶板部118；以及与第2顶板部118连接的圆环状的第2侧壁部119。第2顶板部118的一部分构成第2鼓风机室131的顶面。

第2顶板部118具有使第2鼓风机室131的中央部与第2鼓风机室131的外部连通的圆柱状的第2通风孔124。第2鼓风机室131的中央部是当从正面观察振动板41的第2主面40B时与压电元件42重叠的部分。在本实施方式中，第2通风孔124的直径为0.6mm。在第2顶板部118设置有第2阀180，该第2阀180防止气体从第2鼓风机室131的外部经由第2通风孔124朝内部流动。

此处，如图1、图2所示，第1壳体17、第3侧壁部143以及第2壳体117构成壳体90。因此，第1侧壁部19、第3侧壁部143以及第2侧壁部119的接合体将振动部141以及连结部142与第1顶板部18连接，并将振动部141以及连结部142与第2顶板部118连接。

此外，如图3、图4所示，振动板41具有使第1鼓风机室31的外周与第2鼓风机室131的外周连通的开口部62。开口部62遍及振动板41的大致整周而形成，以便包围第1鼓风机室31与第2鼓风机室131。

此外，如图3、图4所示，振动板41具有多个第3通风孔162。即，在第3侧壁部143设置有多个第3通风孔162。第3通风孔162使开口部62与壳体90的外部连通。因此，第3通风孔162使第1鼓风机室31的外周以及第2鼓风机室131的外周经由开口部62与壳体90的外部连通。

另外，在该实施方式中，压电元件42相当于本发明的“驱动体”。振动部141以及连结部142相当于本发明的“振动部”。第1侧壁部19、第3侧壁部143以及第2侧壁部119相当于本发明的“侧壁部”。

以下，对压电鼓风机100的动作时的空气的流动进行说明。

图5的(A)和(B)是使图1所示的压电鼓风机100以一阶模式的共振频率(基波)动作时的压电鼓风机100的S－S线的剖视图。图5的(A)是第1鼓风机室31的容积最大程度增大，第2鼓风机室131的容积最大程度减少时的图，图5的(B)是第1鼓风机室31的容积最大程度减少，第2鼓风机室131的容积最大程度增大时的图。此处，图中的箭头表示空气的流动。

此外，图6是示出图1所示的压电鼓风机100处于图5(B)所示的状态的瞬间的、从第1鼓风机室31的中心轴C至第1鼓风机室31的外周的第1鼓风机室31的各点的压力变化、与构成从第1鼓风机室31的中心轴C至第1鼓风机室31的外周的振动板41的各点的移位之间的关系的图。

此处，在图6中，第1鼓风机室31的各点的压力变化与振动板41的各点的移位由被按照位于第1鼓风机室31的中心轴C上的振动板41的中心的移位标准化后的值表示。

另外，后面对图6所示的压力变化分布u(r)进行说明。此外，图1所示的压电鼓风机100处于图5(A)所示的状态的瞬间的、从第2鼓风机室131的中心轴C至第2鼓风机室131的外周的第2鼓风机室131的各点的压力变化与第1鼓风机室31的各点的压力变化大致相同，并示于图6。

此外，图7是示出图1所示的压电鼓风机100的第1鼓风机室31的、半径a×共振频率f与压力振幅之间的关系的图。图7的虚线表示满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的范围的下限与上限。

另外，第2鼓风机室131的半径a×共振频率f与压力振幅之间的关系同第1鼓风机室31的半径a×共振频率f与压力振幅之间的关系大致相同，并示于图7。

在图4所示的状态下，当将一阶模式的频率(基波)的交流驱动电压施加于压电元件42的两主面的电极时，压电元件42进行伸缩，使振动板41以一阶模式的共振频率f呈同心圆状弯曲振动。

同时，第1顶板部18通过伴随着振动板41的弯曲振动的第1鼓风机室31的压力变动，伴随着振动板41的弯曲振动(在该实施方式中振动相位延迟180°)而以一阶模式呈同心圆状弯曲振动。

第2顶板部118也通过伴随着振动板41的弯曲振动的第2鼓风机室131的压力变动，伴随着振动板41的弯曲振动(在该实施方式中振动相位延迟180°)而以一阶模式呈同心圆状弯曲振动。

由此，如图5的(A)和(B)所示，第1鼓风机室31以及第2鼓风机室131的体积周期性地变化。

另外，第1鼓风机室31的半径a与振动板41的共振频率f满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系。进而，第2鼓风机室131的半径a与振动板41的共振频率f也满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系。

在本实施方式中，共振频率f为21kHz。空气的声速c为340m/s。k₀为2.40。第一类贝塞尔函数J₀(x)用以下的算式表示。

[算式1]

此外，当将相距第1鼓风机室31的中心轴C的距离设为r时，第1鼓风机室31的各点的压力变化分布u(r)用u(r)＝J₀(k₀r/a)的式表示。此外，第2鼓风机室131的各点的压力变化分布u(r)也用u(r)＝J₀(k₀r/a)的式表示。

如图5的(A)所示，当振动板41朝压电元件42侧弯曲时，第1顶板部18朝与压电元件42相反侧弯曲，第1鼓风机室31的容积增大。进而，第2顶板部118朝压电元件42侧弯曲，第2鼓风机室131的容积减少。

此时，第1鼓风机室31的中央部的压力降低，因此，第1阀80关闭，壳体90的外部的空气与第2鼓风机室131的空气经由第3通风孔162以及开口部62被吸引到第1鼓风机室31内。此外，此时，第2鼓风机室131的中央部的压力增加，因此，第2阀180打开，第2鼓风机室131的中央部的空气经由第2通风孔124朝第2壳体117的外部排出。

如图5的(B)所示，当振动板41朝第1鼓风机室31侧弯曲时，第1顶板部18朝压电元件42侧弯曲，第1鼓风机室31的容积减少。进而，第2顶板部118朝与压电元件42相反侧弯曲，第2鼓风机室131的容积增大。

此时，第1鼓风机室31的中央部的压力增加，因此，第1阀80打开，第1鼓风机室31的中央部的空气经由第1通风孔24朝第1壳体17的外部排出。此外，此时，第2鼓风机室131的中央部的压力降低，因此，第2阀180关闭，壳体90的外部的空气与第1鼓风机室31的空气经由第3通风孔162以及开口部62被吸引到第2鼓风机室131内。

在以上的压电鼓风机100的动作中，如图5的(A)和(B)所示，当第2鼓风机室131的容积减少时第1鼓风机室31的容积增大，当第1鼓风机室31的容积减少时第2鼓风机室131的容积增大。即，第1鼓风机室31的容积与第2鼓风机室131的容积以相反相位变化。

因此，当致动器50驱动时，第1鼓风机室31的外周的空气与第2鼓风机室131的外周的空气经由开口部62移动。因此，当致动器50驱动时，第1鼓风机室31的外周的压力与第2鼓风机室131的外周的压力经由开口部62相抵消，始终为大气压(波节)。

因此，尽管第1鼓风机室31的外周以及第2鼓风机室131的外周经由较大的开口部62以及第3通风孔162与壳体90的外部连通，压电鼓风机100却能够防止排出压力、排出流量降低。

并且，压电鼓风机100当致动器50驱动时，将从第3通风孔162吸引的第1鼓风机室31的空气经由第1通风孔24朝第1壳体17的外部排出，并将从第3通风孔162吸引的第2鼓风机室131的空气经由第2通风孔124朝第2壳体117的外部排出。

因而，压电鼓风机100与从一个通风孔(流出口)排出的专利文献1的泵的排出流量相比，能够大幅增大单位消耗电力内的排出流量。

此外，压电鼓风机100能够利用第2壳体117屏蔽从压电元件42照射的超声波。

此外，多个第3通风孔162设置于第3侧壁部143。

因此，从第1鼓风机室31的外周到第3通风孔162的最短距离与从第2鼓风机室131的外周到第3通风孔162的最短距离大致相等。因此，当致动器50驱动时，第1鼓风机室31的外周的压力与第2鼓风机室131的外周的压力的双方容易以大气压(波节)稳定。

此外，在压电鼓风机100中，设置有第1阀80以及第2阀180。因此，如图5的(A)和(B)所示，不从压电鼓风机100的外部经由第1通风孔24、124朝第1鼓风机室31、第2鼓风机室131吸入空气。即，在压电鼓风机100中，不产生经由第1通风孔24、第2通风孔124的反方向的气流。因此，压电鼓风机100能够将空气的流动形成为一个方向。

此外，在压电鼓风机100中，伴随着振动板41的振动，第1顶板部18与第2顶板部118振动，因此，实质上能够增大振动振幅。由此，本实施方式的压电鼓风机100能够增加排出压力与排出流量。

此外，在af＝(k₀c)/(2π)的情况下，振动板41的振动的波节F与第1鼓风机室31的压力振动的波节和第2鼓风机室131的压力振动的波节一致，产生压力共振。

进而，在满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的情况下，振动板41的振动的波节F也与第1鼓风机室31的压力振动的波节和第2鼓风机室131的压力振动的波节大致一致。

压电鼓风机100例如被用于吸引鼻涕、痰等的粘度较高的液体的用途。为了防止伴随着长期驱动的压电元件的破损，需要将压电元件的振动速度设为2m/s以下。

由于鼻涕、痰的吸引需要20kPa以上的压力，因此压电鼓风机100需要10kPa/(m/s)以上的压力振幅。如图7所示，压力振幅在af为130m/s时达到最大。即便从130m/s产生±20％偏差时，仍会得到10kPa/(m/s)以上的压力振幅。

因此，在满足0.8×(k₀c)/(2π)≤af≤1.2×(k₀c)/(2π)的关系的情况下，压电鼓风机100能够从第1通风孔24以及第2通风孔124的双方实现高的排出压力以及高的排出流量。

此外，如图5的(A)和(B)以及图6的虚线所示，构成从第1鼓风机室31的中心轴C至第1鼓风机室31的外周的振动板41的各点因振动而移位。并且，如图6的实线所示，从第1鼓风机室31的中心轴C至第1鼓风机室31的外周，第1鼓风机室31的各点的压力因振动板41的振动而变化。同样地，从第2鼓风机室131的中心轴C至第2鼓风机室131的外周，第2鼓风机室131的各点的压力也因振动板41的振动而变化。

如图6的虚线与实线所示，在从第1鼓风机室31的中心轴C至第1鼓风机室31的外周的范围内，振动板41的振动移位的零交叉点的个数为0个，第1鼓风机室31的压力变化的零交叉点的个数也为0个，第2鼓风机室131的压力变化的零交叉点的个数也为0个。

因此，振动板41的振动移位的零交叉点的个数与第1鼓风机室31的压力变化的零交叉点的个数和第2鼓风机室131的压力变化的零交叉点的个数一致。

因此，在压电鼓风机100中，当振动板41振动时，振动板41的各点的移位分布为接近第1鼓风机室31的各点的压力变化分布与第2鼓风机室131的各点的压力变化分布的分布。

因此，压电鼓风机100能够将振动板41的振动能量几乎无损耗地传递至第1鼓风机室31、第2鼓风机室131的空气。因而，压电鼓风机100能够实现高的排出压力以及高的排出流量。

《其他的实施方式》

在上述实施方式中，作为流体使用空气，但并不限定于此。该流体能够应用空气以外的气体。

此外，在上述实施方式中，振动板41由SUS构成，但并不限定于此。例如可也以由铝、钛、镁、铜等其他的材料构成。

此外，在上述实施方式中，作为鼓风机的驱动源设置了压电元件42，但并不限定于此。例如，也可以构成为通过电磁驱动进行泵送动作的鼓风机。

此外，在上述实施方式中，压电元件42由锆钛酸铅类陶瓷构成，但并不限定于此。例如也可以由铌酸钾钠类以及碱铌酸类陶瓷等非铅类压电体陶瓷的压电材料等构成。

此外，在上述实施方式中，使用单晶片型的压电振子，但并不限定于此。也可以使用在振动板41的两面粘贴有压电元件42的双晶片型的压电振子。

此外，在上述实施方式中，使用了圆板状的压电元件42、圆板状的振动板41、圆板状的第1顶板部18以及圆板状的第2顶板部118，但并不限定于这些。例如，它们的形状也可以是矩形、多边形。

此外，在上述实施方式中，振动板41呈同心圆状弯曲振动，但并不限定于此。当进行实施时，振动板41也可以呈同心圆状以外的形状弯曲振动。

此外，在上述实施方式中，第1顶板部18以及第2顶板部118伴随着振动板41的弯曲振动而呈同心圆状弯曲振动，但并不限定于此。当进行实施时，也可以仅振动板41弯曲振动，第1顶板部18以及第2顶板部118不伴随着振动板41的弯曲振动而弯曲振动。

此外，在上述实施方式中，使用了k₀为2.40、5.52的条件，但并不限定于此。只要k₀是8.65、11.79、14.93等的满足J₀(k₀)＝0的关系的值即可。

此外，在上述实施方式中，压电元件42与振动板41的第2鼓风机室131侧的第2主面40B接合，但并不限定于此。当实施时，例如，可以压电元件42与振动板41的第1鼓风机室31侧的第1主面40A接合，也可以2个压电元件42与振动板41的第1主面40A以及第2主面40B接合。

在该情况下，第1壳体17、第2壳体117与由至少1个压电元件42以及振动板41构成的致动器从振动板41的厚度方向夹压在一起而构成第1鼓风机室以及第2鼓风机室。

此外，在上述实施方式中，以一阶模式以及三阶模式的频率使压电鼓风机的振动板弯曲振动，但并不限定于此。当实施时，也可以以形成多个振动的波腹的三阶模式以上的奇数次的振动模式使振动板弯曲振动。

此外，在上述实施方式中，第1鼓风机室31、第2鼓风机室131的形状为圆柱形状，但并不限定于此。当实施时，鼓风机室的形状也可以为正棱柱形状。在该情况下，代替鼓风机室的半径a，转而使用从鼓风机室的中心轴至鼓风机室的外周的最短距离a。

此外，在上述实施方式中，在第1壳体17的第1顶板部18设置有一个圆形的第1通风孔24，在第2壳体117的第2顶板部118也设置有一个圆形的第2通风孔124，但并不限定于此。当实施时，例如可以如图8～图10所示那样设置多个通风孔524～724，例如也可以如图9～图11所示的通风孔624～824那样不是圆形。

此外，在上述实施方式中，在第1通风孔24设置第1阀80，在第2通风孔124设置第2阀180，但并不限定于此。当实施时，并不是一定要设置阀。

在不设置阀的情况下，当如图5的(A)、图11的(A)那样振动板41朝压电元件42侧弯曲时，产生与图5的(B)、图11的(B)相反方向的气流。因而，从第1通风孔24、124交替产生较大风速的排出流与吸入流，也就是说，能够得到较强的往复流。这样的较强的往复流例如能够用于发热元件的冷却。

此外，在上述实施方式中，在第3侧壁部143设置第3通风孔162，但并不限定于此。当进行实施时，也可以在第1侧壁部19、第2侧壁部119设置第3通风孔162。

最后，上述实施方式的说明在全部方面都只是例示而已，应当认为并不是限制性内容。本发明的范围并不由上述的实施方式而由权利要求诠释。进而，本发明的范围意图包括与权利要求等同的意思以及范围内的全部的变更。

其中，附图标记说明如下：

a：半径；C：中心轴；F：波节；17：第1壳体；18：第1顶板部；19：第1侧壁部；24：第1通风孔；31：第1鼓风机室；40A：第1主面；40B：第2主面；41：振动板；42：压电元件；50：致动器；62：开口部；80：第1阀；90：壳体；100：压电鼓风机；117：第2壳体；118：第2顶板部；119：第2侧壁部；124：第2通风孔；131：第2鼓风机室；141：振动部；142：连结部；143：第3侧壁部；162：第3通风孔；180：第2阀；517：壳体；524：通风孔；617：壳体；624：通风孔；717：壳体；724：通风孔；817：壳体；824：通风孔。