减震防漏油式真空泵的制作方法

本实用新型涉及工程机械领域，尤其涉及一种减震防漏油式真空泵。

背景技术：

单晶硅是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅一般采用直拉法在单晶炉中制备。直拉法的制备过程如下：把原料多晶硅块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热熔化,待温度稳定后,将一根棒状晶种浸入熔体中,在合适的温度梯度下,熔液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。晶种旋转并慢速向上提升,熔液中的硅原子会在固液界面上继续结晶,并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定,则可以持续不断地形成结晶,最后形成一根圆柱型的原子排列整齐的硅单晶体,即硅单晶锭。因直拉法易于拉制出大直径、高品质的硅单晶,用该法生长的晶体已经占到晶体生长总量的90%左右。

硅单晶的生长是在惰性气体保护下进行并且对单晶炉的真空度、漏气率都有较高要求，因此需要用真空泵对单晶炉进行抽气。真空泵在运转过程中产生的振动传导至地面，使得地面与单晶炉发生共振。传递到硅熔体的振动会影响硅单晶的品质。同时,机械振动增加了硅单晶的位错机率,影响了硅单晶的成晶率,从而影响到生产效益。

现有技术的单晶炉用真空泵，减震装置直接固定在地面上。这种方式存在以下问题：由于地面较硬并且真空泵的振动较大，减震装置向地面传导的振动并不能有效被地面吸收，从而导致真空泵自身依然存在较大振动。同时真空泵内的真空泵油在使用过程中会有部分流出，会对地面造成污染。

技术实现要素：

有鉴于此，有必要提供一种结构简单、可靠性高的带有接油功能的减震防漏油式真空泵。

一种减震防漏油式真空泵，包括真空泵、接油盘、第一减震机构、第二减震机构，接油盘设置在真空泵的底座下方，第一减震机构的固定端穿过接油盘并与真空泵的底座固定连接，第一减震机构和真空泵的底座共同作用，将接油盘夹紧，以使接油盘与第一减震机构密封，第一减震机构的下端设置在第二减震机构中；第二减震机构设置缓冲层，第一减震机构的下端设置在所述缓冲层中。

优选的，所述第一减震机构包括固定部、减震弹簧、减震底座，固定部的上端穿过接油盘并与真空泵的底座螺纹连接，固定部与真空泵共同作用，将接油盘夹紧，以使接油盘和固定部密封，固定部的下端与减震弹簧的上端固定连接，减震弹簧的下端与减震底座固定连接。

优选的，所述第二减震机构包括颗粒盛放盘、减震颗粒，减震底座设置在减震颗粒中，位于颗粒盛放盘中的减震颗粒构成了第二减震机构的缓冲层，以使减震底座的振动能够被减震颗粒吸收。

优选的，所述第二减震机构包括碎屑盛放盘、减震碎屑，减震底座设置在减震碎屑中，位于碎屑盛放盘中的减震碎屑构成了第二减震机构的缓冲层，以使减震底座的振动能够被减震碎屑吸收。

优选的，所述第二减震机构包括混合盛放盘、碎屑和颗粒混合物，减震底座设置在碎屑和颗粒混合物中，位于混合盛放盘中的碎屑和颗粒混合物构成了第二减震机构的缓冲层，以使减震底座的振动能够被碎屑和颗粒混合物吸收。

有益效果：上述减震防漏油式真空泵设置的第二减震机构能够缓冲真空泵的振动，同时接油盘将真空泵泄露出的真空泵油接住，从而避免污染地面。

附图说明

图1为减震防漏油式真空泵的结构示意图。

图2为减震防漏油式真空泵的第一减震装置的结构示意图。

图中：接油盘1、第一减震机构2、固定部21、减震弹簧22、减震底座23、第二减震机构3、缓冲层4、真空泵5。

具体实施方式

请参看图1，减震防漏油式真空泵包括真空泵5、接油盘1、第一减震机构2、第二减震机构3，接油盘1设置在真空泵5的底座下方，第一减震机构2的固定端穿过接油盘1并与真空泵5的底座固定连接，第一减震机构2和真空泵5的底座共同作用，将接油盘1夹紧，以使接油盘1与第一减震机构2密封，第一减震机构2的下端设置在第二减震机构3中；第二减震机构3设置缓冲层4，第一减震机构2的下端设置在所述缓冲层4中。

请参看图2，所述第一减震机构2包括固定部21、减震弹簧22、减震底座23，固定部21的上端穿过接油盘1并与真空泵5的底座螺纹连接，固定部21与真空泵5共同作用，将接油盘1夹紧，以使接油盘1和固定部密封21，固定部21的下端与减震弹簧22的上端固定连接，减震弹簧22的下端与减震底座23固定连接。

所述第二减震机构3包括颗粒盛放盘、减震颗粒，减震底座23设置在减震颗粒中，位于颗粒盛放盘中的减震颗粒构成了第二减震机构3的缓冲层4，以使减震底座23的振动能够被减震颗粒吸收。在一较佳实施方式中，减震颗粒为弹性胶粒。

所述第二减震机构3包括碎屑盛放盘、减震碎屑，减震底座23设置在减震碎屑中，位于碎屑盛放盘中的减震碎屑构成了第二减震机构3的缓冲层4，以使减震底座23的振动能够被减震碎屑吸收。在一较佳实施方式中，碎屑为锯末。

所述第二减震机构3包括混合盛放盘、碎屑和颗粒混合物，减震底座23设置在碎屑和颗粒混合物中，位于混合盛放盘中的碎屑和颗粒混合物构成了第二减震机构3的缓冲层4，以使减震底座23的振动能够被碎屑和颗粒混合物吸收。

现有技术的真空泵5的减震装置是通过弹簧、橡胶等整块阻尼减震材料制成，或是通过气动或液压的方式减小振动。这种减震方式的问题在于振动波还是能够通过阻尼减震材料向地面传导。而地面一般为水泥地面，水泥地面的硬度强，但是弹性很差。这会导致一部分振动波不被吸收，使真空泵5依然存在较大振动。

上述真空泵5减震装置碎块化的缓冲层4能够改变振动波的传播方向，同时振动会引起碎屑或颗粒的振动，振动过程中碎屑或颗粒间的位置关系会发生变化，从而使振动波形紊乱。波形紊乱更加有利于振动波的抵消。

真空泵底座上分布四个第一减震机构2，四个第一减震机构2的中心与真空泵5的重心在同一竖直线上。真空泵5在运作过程中，第一减震机构2会在缓冲层4中出现小幅下沉，由于四个第一减震机构2的中心与真空泵5的中心在同一竖直线上，四个第一减震机构2将同步下沉，以避免真空泵5倾斜，影响真空泵5的使用。

在实际缓冲层4的材料选取过程中，要根据实际情况选择碎屑或颗粒，或是碎屑和颗粒的结合。同时碎屑的种类、材质，颗粒的直径、材质，以及碎屑和颗粒的混合比例也会影响缓冲层4的防震效果，要根据实际情况具体选择。